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1级(0.1μm)超级洁净室的设计分析
1
作者
吴杲
龚毅
《郑州纺织工学院学报》
1999年第3期83-85,共3页
通过对１ 级（０ ．１ μｍ ） 超级洁净 室的分 析比 较，认 为超 级洁 净室 设计 的关 键是 三个 方 面，即新风处 理系统 、末端超高 效过滤 器、正压控 制，并对 该设计 存在的问 题提出了 建议。
关键词
1级
超级洁净室
超大规模
集成电路
洁净室
下载PDF
职称材料
题名
1级(0.1μm)超级洁净室的设计分析
1
作者
吴杲
龚毅
机构
郑州纺织工学院
出处
《郑州纺织工学院学报》
1999年第3期83-85,共3页
文摘
通过对１ 级（０ ．１ μｍ ） 超级洁净 室的分 析比 较，认 为超 级洁 净室 设计 的关 键是 三个 方 面，即新风处 理系统 、末端超高 效过滤 器、正压控 制，并对 该设计 存在的问 题提出了 建议。
关键词
1级
超级洁净室
超大规模
集成电路
洁净室
Keywords
m
super
clean
room
primary
air
handling
fan
filter
unit
positive
pressure
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
1级(0.1μm)超级洁净室的设计分析
吴杲
龚毅
《郑州纺织工学院学报》
1999
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