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题名26GHz波段毫米波放大器空气腔型封装设计
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作者
张晓朋
吴兰
高博
邢浦旭
崔培水
谷江
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机构
河北新华北集成电路有限公司
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第7期550-556,570,共8页
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基金
国家科技重大专项资助项目(2017ZX030121010)。
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文摘
针对毫米波频段放大器芯片,提出了一种基于有机封装基板和液晶聚合物盖帽的空气腔型封装结构,解决了塑封器件在毫米波频段阻抗失配、插入损耗大和热阻高等问题,且降低了封装成本。通过电磁场仿真,优化了封装管脚在毫米波频段的阻抗特性,降低了射频管脚的阻抗失配,优化了芯片焊盘与封装基板之间的键合方案,降低了封装整体的插入损耗。采用条状通孔和基板减薄方法,降低了封装结构的热阻。在24~30 GHz,封装芯片小信号增益达到21 dB,饱和输出功率达到26 dBm。与裸芯片相比,封装芯片的饱和输出功率仅损失了1 dB。芯片封装后的整体热阻为28℃/W,满足芯片可靠性应用的需求。
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关键词
毫米波芯片
空气腔型封装
低损耗封装
低成本封装
液晶聚合物
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Keywords
millimeter wave chip
air-cavity package
low-loss package
low-cost package
liquid crystal polymer
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分类号
TN305.94
[电子电信—物理电子学]
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