-
题名低g值MEMS惯性开关研究进展
- 1
-
-
作者
熊壮
张凤田
谢晋
张照云
杨杰
赵宝林
-
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
-
出处
《太赫兹科学与电子信息学报》
2024年第8期908-917,共10页
-
基金
某专项基金资助项目(7090104050101)。
-
文摘
微机电系统(MEMS)惯性开关是集传感与执行为一体的无源电子器件,具有体积小、重量轻、易集成、加工一致性好、免装配等优势,在汽车工业、航空航天、武器装备等领域具有广阔的应用前景。低g值MEMS惯性开关的应用场景主要为飞行器加/减速过程特定功能的触发,在设计时应保证弹簧刚度低,质量块体积大,在结构设计与加工工艺中存在一定难度。本文介绍了低g值MEMS惯性开关的基本物理模型和工作原理,对国内外研究现状进行了阐述,总结了现阶段迫切需要解决的关键问题,并提出相应解决思路,为后续研究提供有益参考。
-
关键词
微机电系统
惯性开关
低g值
微纳加工
-
Keywords
Micro-Electro-Mechanical System
inertial switch
low-gvalue
micro-fabrication
-
分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
-
