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题名脉冲激光沉积低内应力多层类金刚石膜
被引量：1
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作者
陆益敏
郭延龙
黄国俊
黎伟
万强
唐璜
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机构
武汉军械士官学校光电技术研究所
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017年第9期275-280,共6页
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基金
国家部委预先研究项目(51318060212)
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文摘
为解决类金刚石膜内应力极大的问题,利用很薄的岛状结构锗层与较厚的类金刚石层循环,设计并制备了具有低内应力的多层类金刚石膜。其中,类金刚石层为主要功能膜层,起到硬质保护和光学增透的作用;而锗层作为缓冲层,起到缓解纯类金刚石膜内应力过大的问题,同时由于锗层很薄,对整个膜层的机械性能和红外特性的影响很小。测试表明,制备的多层类金刚石膜内应力为2.14 GPa,比纯类金刚石膜降低了39%,通过了GJB2485-95《光学膜层通用规范》中的重摩擦测试;同时,其纳米硬度仍保持在47 GPa的高水平。该多层类金刚石膜可以作为实际应用的红外窗口保护膜。
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关键词
脉冲激光沉积
多层类金刚石膜
锗缓冲层
低内应力
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Keywords
pulsed laser deposition
multilayers diamond-like carbon film
germanium buffer layers
low inner-stress
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分类号
TN304
[电子电信—物理电子学]
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题名片式元件三层端电极技术
被引量：3
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作者
罗维
张学军
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机构
成都开华化工研究所
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出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期30-32,共3页
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文摘
研制出了ZF410低应力镀镍、ZF305中性纯锡电镀液和添加剂,并在片式元件三层端电极上获得成功应用。介绍了该工艺的主要性能及具体工艺配方。该工艺解决了片式元件基材腐蚀问题,所镀产品质量稳定可靠,各项指标均符合IEC—384—10标准;实现了片式元件无损电镀工艺的国产化,降低了生产成本。
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关键词
片式元件
三层端电极技术
低应力镀镍
中性纯锡电镀
电镀液
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Keywords
chip components
tri-layer terminal electrode technology
low inner stress nickel electroplating
neutral pure tin electroplating
plating solution
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分类号
TN6
[电子电信—电路与系统]
TN605
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