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题名一种非接触式光学微腔液压测量系统
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作者
魏鹤鸣
侯林嵩
丁武成
殷瑞雪
任冬妮
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机构
上海大学特种光纤与光接入网重点实验室
华东理工大学机械与动力工程学院
明澈生物科技(苏州)有限公司
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出处
《电子测量技术》
北大核心
2024年第7期42-48,共7页
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文摘
为满足在狭小腔室中测量液体压强的需求,设计了一种非接触式光学法布里珀罗微腔液压测量系统,其中,光学微腔采用双光子三维打印技术制备,膜结构尺寸仅为350μm,设计的膜厚分别为4μm和6μm。系统主要采用嵌入式设计与衍射光栅光谱模块互联,实时采集光学微腔干涉光谱信号,实现了高精度光谱动态解调。实验结果表明,室温(25℃)下,4μm膜厚的微腔液压灵敏度高达398 pm/kPa,系统分辨率可达35.5 Pa,重复性较好,有望用于生物医学眼压等应用场景。
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关键词
微腔压力传感
双光子三维打印技术
非接触式光学传感
液体压强测量系统
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Keywords
microcavity pressure sensing
two-photon 3D printing technology
non-contact optical sensing
liquid pressure measurement system
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分类号
TN219
[电子电信—物理电子学]
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