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题名微流体惯性开关用液态金属的精密操控与封装
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作者
刘瑞
商二威
谢晋
刘禹
熊壮
唐彬
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机构
江南大学机械工程学院
中国工程物理研究院电子工程研究所
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第8期25-28,共4页
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基金
中国工程物理研究院超精密重点实验室项目(ZM18006)
国家自然科学基金资助项目(51875253)。
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文摘
选择无毒的镓铟锡作为液态金属汞的替代品,研究微流体惯性开关的封装工艺。经酸性处理与搭建无氧试验环境,抑制镓铟锡氧化,提高液滴的流动性能。通过解析计算,为保证液滴体积偏差对于阈值的误差影响小于1%,需实现体积为0.1μL×(1±3.9%)导电液滴的精密操控。针对金属液滴摄入不精确、不稳定的问题,搭建撞针阀系统,通过对撞针行程、输入压力及开阀时间的调控,完成目标体积的精确摄入(误差范围±3%),实现体积偏差对于阈值的影响误差为0.75%。并结合直书写3D打印涂胶的方法,最终完成液态金属的精密操控与封装。
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关键词
惯性开关
微流体
液态镓铟锡
精密操控
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Keywords
inertial switch
micro-fluidic
liquid galinstan
precise control
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH706
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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