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题名基于FPGA激光清洗系统的设计与实现
被引量：4
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作者
戴金跃
汤发全
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机构
江苏航空职业技术学院航空工程学院
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第4期91-96,共6页
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基金
国家自然科学基金(51175233)。
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文摘
为实现激光在二维平面内高效、均匀烧蚀污渍、清洗靶材,更改激光逐行烧蚀扫描模式,设计了一种激光螺旋式填充路径,控制振镜电机偏转激光使其在平面内的烧蚀呈网状分布。结果表明:对于清洗区域内的任一点,相比于逐行烧蚀,螺旋烧蚀过程中该点区域获得冷却时间,激光热积累效应变弱。逐行扫描速度为单个振镜电机速度,螺旋扫描速度为两电机速度的矢量和。因此,相比于逐行扫描方式,激光螺旋式清洗的效果更加均匀,效率更高。
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关键词
激光光学
激光清洗
逐行烧蚀
螺旋式扫描
网状分布
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Keywords
laser optics
laser cleaning
line-by-line ablation
spiral scanning
network distribution
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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