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两米光栅—线纹自动测量仪(一) 被引量：2
1
作者 牛立新 任冬梅 +2 位作者 王晓炜 曹航 亓爱会 《航空计测技术》 1997年第5期3-5,共3页
描述了一台能够对长度达1m的线织尺和长度达2m的光栅尺（线位移传感器）进行测量的激光干涉仪，干涉议设计成了双干涉光路系统，以消除光栅尺安装引入的阿贝误差。这台测量仪采用干涉条纹计数原理，对光栅尺和线组尺的线值精度进行检测... 描述了一台能够对长度达1m的线织尺和长度达2m的光栅尺（线位移传感器）进行测量的激光干涉仪，干涉议设计成了双干涉光路系统，以消除光栅尺安装引入的阿贝误差。这台测量仪采用干涉条纹计数原理，对光栅尺和线组尺的线值精度进行检测，并能对光机信号的质量进行评价。测量过程中，对空气折射率实现了实时修正。 展开更多
关键词 光栅线 位移传感器 线纹尺 干涉仪 计量光栅
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两米光栅—线纹自动测量仪测量不确定度的评定(一) 被引量：2
2
作者 任冬梅 牛立新 +2 位作者 王晓炜 亓爱会 曹航 《航空计测技术》 1998年第3期24-26,共3页
以不确定度的概念对两米光栅—线纹自动测量仪的测量质量、水平进行了评定，给出了该仪器测量光栅尺和线纹尺的不确定度指标。
关键词 不确定度 光栅 线纹尺 自动测量仪
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双向对接曝光法复制光栅尺的研究
3
作者 赵泽宇 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期926-929,共4页
提出了光栅尺复制工艺中一种新的曝光方法———双向对接曝光法。根据光刻胶的曝光量与曝光时间成正比的关系,推导出光栅尺对接重合处任意一点的曝光量与其它各处的曝光量相同,由此提出采用双向对接曝光技术来解决曝光设备的导轨有效行... 提出了光栅尺复制工艺中一种新的曝光方法———双向对接曝光法。根据光刻胶的曝光量与曝光时间成正比的关系,推导出光栅尺对接重合处任意一点的曝光量与其它各处的曝光量相同,由此提出采用双向对接曝光技术来解决曝光设备的导轨有效行程过短的问题。实验中,利用导轨有效行程为1.6m的曝光设备复制出测长为2.0 m的光栅尺,其最大线性误差为±17.0μm,完全满足使用要求。实验表明,采用双向对接曝光技术,曝光重合处的光栅线条完全满足测量要求,大幅度提高了曝光的有效行程,解决了曝光机导轨行程短的问题。 展开更多
关键词 光栅尺 曝光 复制 双向对接曝光
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六轴并联机床运动精度的标定研究 被引量：6
4
作者 魏世民 周晓光 廖启征 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第23期1981-1985,共5页
在对六轴并联机床进行运动精度标定的过程中,采用光栅球杆仪对并联机床运动平台的位置和姿态进行间接测量;针对实际标定过程中由于测量仪器自身精度产生的量测噪声造成最终辨识结果严重失真的问题,采用矩阵重构的方法来加以克服。仿真... 在对六轴并联机床进行运动精度标定的过程中,采用光栅球杆仪对并联机床运动平台的位置和姿态进行间接测量;针对实际标定过程中由于测量仪器自身精度产生的量测噪声造成最终辨识结果严重失真的问题,采用矩阵重构的方法来加以克服。仿真和实验结果表明上述方法可以有效地提高并联机床的运动精度,为并联机床的标定探索了一条切实可行的途径。 展开更多
关键词 六轴并联机床 运动精度 标定 光栅球杆仪 间接测量 矩阵重构法
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X-Y工作台定位误差动态测量与补偿的研究 被引量：4
5
作者 丁海峰 路长厚 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2007年第4期29-31,共3页
在详细论述了精密长光栅与激光测振仪OFV-5000的测量原理和方法之后,将二者结合设计了一种X-Y工作台定位误差的动态测量与补偿方法,并且通过实验验证了该方法的有效性。
关键词 X-Y工作台 精密长光栅 激光测振仪OFV-5000 定位误差 动态测量
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2m测长机光栅数显装置
6
作者 黄健 沈景鹏 +1 位作者 张继伟 樊洁 《宇航计测技术》 CSCD 2006年第2期8-12,共5页
介绍了在2 m测长机上安装光栅和数显装置的目的、装置的构成、主要技术指标、技术途径及其问题的解决办法,最后阐明了对其装置的技术性能考核结果和应用的实际意义。
关键词 测长机 光栅测量 数显装置
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