基于超精密激光直写系统制作二维光栅 被引量：13

1

作者 李民康 向显嵩 +5 位作者 周常河 韦春龙 贾伟 项长铖 鲁云开 朱世曜 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期38-46,共9页

二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电镜结果表明,所制作的掩模轮廓清晰,空... 二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电镜结果表明,所制作的掩模轮廓清晰,空间分布均匀。实验结果证明了超精密激光直写系统能够制作出二维光栅掩模,在制作大尺寸、高精度二维计量光栅方面有着广阔的应用前景。 展开更多

关键词 光栅 超精密系统 激光直写 栅距测量

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激光直接写入工艺的研究 被引量：5

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作者 李凤友 卢振武 +4 位作者 张殿文 李红军 赵晶丽 丛小杰 翁志成 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期949-952,共4页

本文介绍了四轴激光直接写入系统 ,对激光直接在光刻胶上写入图形的工艺进行了研究 ,讨论了在不同离焦情况下 ,胶层内光斑的大小和强度分布 ,采用离焦的方法在光刻胶上刻画了周期为 2 0μm的线光栅和线宽为 10 μm的分划板 。

关键词 激光直接写入 离焦 光刻

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消除激光直写系统中声光调制器迟滞现象的方法 被引量：1

3

作者 吴剑 刘玉玲 +1 位作者 沈亦兵 李培勇 《光电工程》 CAS CSCD 2000年第6期69-72,共4页

激光直写是一种适用于衍射光学器件及掩模加工的方法。利用声光调制器对曝光功率进行精确控制对所制作器件的性能是至关重要的。首先描述了声光调制器的迟滞现象及其对曝光后掩模表面图形的不良影响。基于这一分析 ,提出了一种方法来克... 激光直写是一种适用于衍射光学器件及掩模加工的方法。利用声光调制器对曝光功率进行精确控制对所制作器件的性能是至关重要的。首先描述了声光调制器的迟滞现象及其对曝光后掩模表面图形的不良影响。基于这一分析 ,提出了一种方法来克服声光调制器迟滞现象所带来的问题。简述了此项技术的设计原理和实现。 展开更多

关键词 激光直写系统 声光调制器 光刻 迟滞

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临界角法激光直写聚焦伺服系统静态特性研究 被引量：3

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作者 梁凤超 《电光与控制》 北大核心 2011年第5期59-62,79,共5页

为同时提高金属网栅屏蔽效率及红外透过率,要求激光直写线条细且均匀。而工件面型误差、光刻胶涂布不均匀性、机械轴系误差等会造成写入焦斑离焦,影响线条线宽及均匀性。需引入聚焦伺服系统来实时探测并补偿离焦,确保写入光束实时聚焦... 为同时提高金属网栅屏蔽效率及红外透过率,要求激光直写线条细且均匀。而工件面型误差、光刻胶涂布不均匀性、机械轴系误差等会造成写入焦斑离焦,影响线条线宽及均匀性。需引入聚焦伺服系统来实时探测并补偿离焦,确保写入光束实时聚焦在光刻胶面上。给出了临界角法调焦的原理,搭建了由探焦光路、离焦信号前放、压电陶瓷微位移执行机构组成的聚焦伺服系统,进行了离焦误差静态特性实验研究。实验结果表明:系统的静态分辨力为±40 nm,线性范围为±5μm,均满足设计要求。 展开更多

关键词 隐身技术 激光直写 临界角法 自动调焦 伺服系统

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基于PZT微驱动的激光直写自动调焦系统动态特性分析 被引量：2

5

作者 闫玮 梁宜勇 杨国光 《光学仪器》 2006年第2期56-60,共5页

为提高激光直写调焦系统的稳定性和响应速度,从弹性力学角度出发,对调焦执行机构微动台进行了力和位移关系的建模,并全面分析了其动态响应特性,动态特性分析为P ID调节提供了理论依据。在P ID校正中着重加强微分超前调节作用,缓解了系... 为提高激光直写调焦系统的稳定性和响应速度,从弹性力学角度出发,对调焦执行机构微动台进行了力和位移关系的建模,并全面分析了其动态响应特性,动态特性分析为P ID调节提供了理论依据。在P ID校正中着重加强微分超前调节作用,缓解了系统相位滞后的问题,从而使系统得到较好的稳定度和响应速度。通过激光直写试验验证调焦系统的调焦精度为0.2μm。 展开更多

关键词 微动台 动态响应 调焦系统 激光直写

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高精度微光学器件激光直写光刻系统研究 被引量：2

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作者 杨特育 《现代电子技术》 2008年第24期20-23,共4页

设计一套高精度激光直写光刻系统,它采用带17位增量式编码器的松下MINAS A系列交流伺服马达,同时还采用基于高精密滚珠丝杆和超精密线性滑轨导向的x-y运动平台,可以实现约30 nm的运动控制灵敏度。针对该系统开发一套基于ISA总线的三维... 设计一套高精度激光直写光刻系统,它采用带17位增量式编码器的松下MINAS A系列交流伺服马达,同时还采用基于高精密滚珠丝杆和超精密线性滑轨导向的x-y运动平台,可以实现约30 nm的运动控制灵敏度。针对该系统开发一套基于ISA总线的三维运动控制卡。实验表明该激光直写光刻系统完全能够满足光刻精度的要求,并且具有控制简单、行程轨迹精确等特点,适用于许多微光学器件加工领域。 展开更多

关键词 激光直写系统 光刻 交流伺服电机 ISA

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全数字化激光直写转台系统

7

作者 梁宜勇 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期1-3,10,共4页

为提高极坐标激光直写设备的性能,设计成全数字化的转台系统,增强了与平台、调焦、 光强系统的同步。提出数字锁相积分、可编程PID控制及变周期稳速判据等概念,并应用于转台控制器设计。配合改进的快速光强调制系统,使极坐标激光直写设... 为提高极坐标激光直写设备的性能,设计成全数字化的转台系统,增强了与平台、调焦、 光强系统的同步。提出数字锁相积分、可编程PID控制及变周期稳速判据等概念,并应用于转台控制器设计。配合改进的快速光强调制系统,使极坐标激光直写设备具备制作精确环、任意弧和变宽线条的能力。 展开更多

关键词 激光直写 转台系统 微光学

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离焦激光直写光刻工艺研究 被引量：18

8

作者 李凤友 卢振武 +3 位作者 谢永军 张殿文 裴苏 赵晶丽 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期850-854,共5页

采用理论计算和光线追迹分析了激光直写光刻中离焦对写入焦斑光场分布的影响;使用四轴激光直写设备开展了离焦激光直写光刻工艺实验,实验和理论计算及光线追迹的结果吻合得很好。利用离焦激光直写光刻方法制作了光栅和分划版,测得实验... 采用理论计算和光线追迹分析了激光直写光刻中离焦对写入焦斑光场分布的影响;使用四轴激光直写设备开展了离焦激光直写光刻工艺实验,实验和理论计算及光线追迹的结果吻合得很好。利用离焦激光直写光刻方法制作了光栅和分划版,测得实验结果达到工艺要求。 展开更多

关键词 激光直写光刻 离焦写入 四轴激光直写系统

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极坐标激光直写系统光轴和转轴对准的光栅反射对准法

9

作者 张涛 杨国光 粱宜勇 《光学仪器》 2004年第1期15-18,共4页

提出一种光栅反射对准法:在极坐标激光直写系统中利用光栅反射聚焦光斑来校准光轴和工件台的转动轴;被光栅反射的聚焦光斑成像在CCD上。当聚焦透镜的光轴和工件台的转动轴存在对准误差时,如果转动光栅,激光光斑将在光栅上扫描出一个圆... 提出一种光栅反射对准法:在极坐标激光直写系统中利用光栅反射聚焦光斑来校准光轴和工件台的转动轴;被光栅反射的聚焦光斑成像在CCD上。当聚焦透镜的光轴和工件台的转动轴存在对准误差时,如果转动光栅,激光光斑将在光栅上扫描出一个圆形轨迹。通过观测这个轨迹,能估算出光轴和转轴的对准误差并相应地做出调整减小对准误差。采用光栅反射法,现将光轴和转轴的对准误差减少到小于0.5μm。 展开更多

关键词 光栅反射对准法 极坐标激光直写系统 光轴 工件台 对准 转轴

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飞秒激光系统图像调焦装置以及方法

10

作者 寇千慧 刘华 +3 位作者 谭明月 陆子凤 张有旋 王雨时 《空间控制技术与应用》 CSCD 北大核心 2020年第6期37-42,共6页

飞秒激光直写技术在复杂三维微结构加工领域具有显著优势,而调焦是否精准直接影响了所加工结构的完整度.提出了在光路中临时置入调焦光源和物的图像调焦技术,通过调节物的位置使其成像面与激光聚焦面一致,从而通过清晰可分辨的成像状态... 飞秒激光直写技术在复杂三维微结构加工领域具有显著优势,而调焦是否精准直接影响了所加工结构的完整度.提出了在光路中临时置入调焦光源和物的图像调焦技术,通过调节物的位置使其成像面与激光聚焦面一致,从而通过清晰可分辨的成像状态间接反映激光聚焦状态.利用Zemax软件模拟分析了原飞秒激光光路与加入调焦光源和物的调焦光路,二者可实现相同加工物镜后工作距离与良好成像质量,证明了该方法的可行性.通过分析得到该过程的成像误差主要由成像镜头焦深(3.9μm)引起,我们获得的理想调焦精度可达到1/2焦深以内.设计了单层高度为5μm的二层圆柱结构,通过多次实验验证了所加工元件高度误差在1.5μm范围以内,与理论分析一致,满足飞秒激光系统的调焦要求. 展开更多

关键词 飞秒激光直写系统 调焦技术 光学设计 模拟分析 加工精度

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人工仿生复眼的研究进展 被引量：12

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作者 张红鑫 卢振武 李凤有 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2006年第2期4-7,共4页

人工仿生复眼的发展历史虽然时间不长,但由于它具有体积小、重量轻、视场大、灵敏度高等优点,已经引起了人们的广泛重视,成为新的研究热点。本文介绍了复眼的研究历史,详细阐述了人工仿生复眼系统的最新研究进展及其在各个领域中的应用... 人工仿生复眼的发展历史虽然时间不长,但由于它具有体积小、重量轻、视场大、灵敏度高等优点,已经引起了人们的广泛重视,成为新的研究热点。本文介绍了复眼的研究历史,详细阐述了人工仿生复眼系统的最新研究进展及其在各个领域中的应用状况和应用前景,分析了目前人工复眼研制中存在的问题,并提出了改进的方法。 展开更多

关键词 并列型复眼 重叠型复眼 微透镜阵列 激光直写

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曲面激光直写中的光焦点定位控制

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作者 王俊茹 罗剑波 +1 位作者 赵新龙 王惠姣 《浙江理工大学学报（自然科学版）》 2013年第3期336-339,共4页

探讨了曲面激光直写系统中的光焦点定位控制方法。曲面激光直写中光焦点的定位控制要求定位范围毫米级,而定位精度则在亚微米级,因此选用了宏/微双驱动系统。对宏/微双驱动系统进行了动力学建模,并进行了分析。探讨宏/微双驱动系统在直... 探讨了曲面激光直写系统中的光焦点定位控制方法。曲面激光直写中光焦点的定位控制要求定位范围毫米级,而定位精度则在亚微米级,因此选用了宏/微双驱动系统。对宏/微双驱动系统进行了动力学建模,并进行了分析。探讨宏/微双驱动系统在直写光刻中的控制方法,对所设计的宏/微双驱动系统进行了实际的测试实验。结果表明:所设计的宏/微双驱动系统在曲面激光直写系统中是可行且有效的。 展开更多

关键词 曲面激光直写 定位控制 宏 微双驱动系统

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