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大口径强激光光学元件超精密制造技术研究进展 被引量:12
1
作者 樊非 徐曦 +13 位作者 许乔 王健 钟波 谢瑞清 雷向阳 陈贤华 汪圣飞 侯晶 邓文辉 安晨辉 周炼 赵世杰 廖德锋 朱玉洁 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第8期1-13,共13页
惯性约束聚变高功率固体激光装置研制对大口径光学元件提出了全频段精度控制指标要求,以及高效率、批量化制造需求。本文围绕“超精密、确定性”强激光光学元件全流程制造方法,总结了近几年大口径强激光光学元件超精密制造技术取得的重... 惯性约束聚变高功率固体激光装置研制对大口径光学元件提出了全频段精度控制指标要求,以及高效率、批量化制造需求。本文围绕“超精密、确定性”强激光光学元件全流程制造方法,总结了近几年大口径强激光光学元件超精密制造技术取得的重要进展,重点介绍了单点金刚石超精密切削技术、非球面超精密数控磨削技术、确定性抛光技术等一系列关键技术,以及相关工艺及装备在强激光光学元件批量制造流程线中的应用情况。 展开更多
关键词 高功率固体激光装置 大口径光学元件 光学超精密制造技术 确定性抛光
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采用立体视觉实现子孔径拼接测量的工件定位 被引量:11
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作者 张鹏飞 赵宏 +1 位作者 周翔 李进军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期503-511,共9页
为了实现大口径光学元件的子孔径拼接干涉测量,提出了采用立体视觉进行光学元件位姿测量的方法,建立了基于双目视觉的子孔径拼接测量系统。介绍了圆形子孔径拼接干涉测量的原理,基于齐次坐标变换分析了其对工件定位的要求;引入了立体视... 为了实现大口径光学元件的子孔径拼接干涉测量,提出了采用立体视觉进行光学元件位姿测量的方法,建立了基于双目视觉的子孔径拼接测量系统。介绍了圆形子孔径拼接干涉测量的原理,基于齐次坐标变换分析了其对工件定位的要求;引入了立体视觉辅助测量系统,建立了通用测量模型,利用双目视觉获取不同子孔径测量时与工件刚性连接的特征点的三维全局坐标,在完成全部子孔径测量后利用四元数法求取各子孔径相对于全局坐标系的转换矩阵,然后利用优化拼接算法将各子孔径数据统一到全局坐标系下,完成大口径光学元件的全局测量。最后利用该系统实现了对口径为150mm平面和100mm球面的检测。实验结果证明,在本系统中,立体视觉系统平移定位精度优于0.1mm,转动测量精度优于0.01°,可为优化拼接算法提供一个有效的初始值,该方法能够快速给出各子孔径间的相对坐标变换且不产生误差累积方法简单且可靠。 展开更多
关键词 立体视觉 大口径光学元件 子孔径拼接 工件定位
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An accurate and stable method of array element tiling for high-power laser facilities
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作者 母杰 王逍 +7 位作者 景峰 李志林 程宁波 朱启华 粟敬钦 张军伟 周凯南 曾小明 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第7期275-278,共4页
Due to laser-induced damage, the aperture of optics is one of the main factors limiting the output capability of highpower laser facilities. Because of the general difficulty in achieving large-aperture optics, an alt... Due to laser-induced damage, the aperture of optics is one of the main factors limiting the output capability of highpower laser facilities. Because of the general difficulty in achieving large-aperture optics, an alternative solution is to tile some small-aperture ones together. We propose an accurate, stable, and automatic method of array element tiling and verify it on a double-pass 1 × 2 tiled-grating compressor in the XG-III laser facility. The test results show the accuracy and stability of the method. This research provides an efficient way to obtain large-aperture optics for high-power laser facilities. 展开更多
关键词 array element tiling large-aperture optics high-power laser facility
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大口径光学元件检测平台的模态分析及其实验研究
4
作者 廖然 李旦 +2 位作者 陈明君 张文明 肖勇 《航空精密制造技术》 2015年第3期1-4,31,共5页
针对大口径光学元件检测平台,利用ANSYS软件建立其有限元模型并进行模态仿真,获得前6阶固有频率与振型,并通过模态试验分析获得频域内传递函数。计算模态分析与试验模态分析结果基本一致,表明模型建立正确可靠。以建立的有限元模型为基... 针对大口径光学元件检测平台,利用ANSYS软件建立其有限元模型并进行模态仿真,获得前6阶固有频率与振型,并通过模态试验分析获得频域内传递函数。计算模态分析与试验模态分析结果基本一致,表明模型建立正确可靠。以建立的有限元模型为基础,选取气浮支撑刚度及柔性铰链结构参数作为变量,进行模态仿真,研究其对平台固有频率的影响。结果表明,气浮支撑刚度对平台整体固有频率影响小于1.5%,柔性铰链簧片厚度对其影响大于20%,可通过选择合理厚度改善平台的动态特性。 展开更多
关键词 大口径 检测平台 模态分析 气浮 柔性铰链
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大口径光学元件修复用精密二维运动装置的优化设计
5
作者 赵林杰 陈明君 +2 位作者 王娜君 廖然 李省伟 《航空精密制造技术》 2016年第4期10-13,共4页
为满足大口径光学元件精密修复用高精度二维运动装置的精度要求,利用ANSYS软件建立有限元模型,通过增加气浮支撑单元、肋板加强以及合理的减重处理,对龙门架中的承重板等薄弱环节进行优化设计。选取支撑气膜刚度作为变量,进行模态仿真,... 为满足大口径光学元件精密修复用高精度二维运动装置的精度要求,利用ANSYS软件建立有限元模型,通过增加气浮支撑单元、肋板加强以及合理的减重处理,对龙门架中的承重板等薄弱环节进行优化设计。选取支撑气膜刚度作为变量,进行模态仿真,研究其对装置固有频率的影响。结果表明结构形变降低到14μm、最大应力9.15MPa远低于2Cr13的屈服极限、一阶固有频率提升至48.974Hz,即改善气浮支撑单元结构和供气参数,可使装置刚度有效增加。 展开更多
关键词 大口径 优化设计 模态分析 气浮 气膜刚度
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基于高分辨力CCD的大口径光学元件疵病检测 被引量:11
6
作者 程晓锋 徐旭 +4 位作者 张林 贺群 袁晓东 蒋晓东 郑万国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1677-1680,共4页
介绍了一种利用高分辨力CCD快速检测大口径光学元件表面和体内疵病的方法。利用侧照明方式对大口径光学元件进行均匀掠射照明,表面和体内疵病因为散射在暗室成像过程中影像被放大。对比研究了疵病示踪尺寸和真实尺寸,得出近似数学关系,... 介绍了一种利用高分辨力CCD快速检测大口径光学元件表面和体内疵病的方法。利用侧照明方式对大口径光学元件进行均匀掠射照明,表面和体内疵病因为散射在暗室成像过程中影像被放大。对比研究了疵病示踪尺寸和真实尺寸,得出近似数学关系,利用高分辨力CCD,通过一次性成像获得光学元件疵病尺寸近似值、2维空间位置等定量描述表面特征的信息。 展开更多
关键词 ICF 大口径光学元件 疵病 快速检测
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大口径光学元件中频波前的检测 被引量:6
7
作者 邓燕 王翔峰 +1 位作者 嵇保建 石琦凯 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3333-3337,共5页
大口径光学元件中频波前的准确评价已成为高功率激光系统中关注的焦点,元件中频波前均方根值是重要评价指标之一。根据波前中频检测频段及波前检测设备频响特性,将波前的中频区域分为两个检测频段,分别采用干涉仪和光学轮廓仪实现了中... 大口径光学元件中频波前的准确评价已成为高功率激光系统中关注的焦点,元件中频波前均方根值是重要评价指标之一。根据波前中频检测频段及波前检测设备频响特性,将波前的中频区域分为两个检测频段,分别采用干涉仪和光学轮廓仪实现了中频波前均方根值的检测。采用大口径干涉仪可实现全口径波前中频区域低频段波前的检测,通过比对大口径干涉仪和采用小口径干涉仪结合分块融合平均方法的检测结果,提出采用分块融合平均方法也可检测相应频段全口径波前均方根。采用光学轮廓仪通过离散采样的方法检测大口径元件中频区域高频段波前均方根,针对不同离散采样方式的实验结果表明:3×3的采样方式能满足对410mm×410mm口径元件中频区域高频段波前均方根的检测。 展开更多
关键词 大口径光学元件 中频波前 波前均方根 带通滤波 子孔径 离散采样
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大口径光学元件透射率全口径检测系统研究 被引量:4
8
作者 刘旭 任寰 +8 位作者 巴荣声 杨一 陈波 汤晓青 袁静 郑芳兰 马玉荣 于德强 马可 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期907-910,共4页
提出了利用双光束分光光度和扩束系统相结合方法实现光学元件透射率全口径检测,建立了相应的检测系统,通过实验对系统的透射率检测精度进行分析和验证。结果表明,系统透射率检测精度优于±0.05%,并具有很好的重复性,能够用于ICF系... 提出了利用双光束分光光度和扩束系统相结合方法实现光学元件透射率全口径检测,建立了相应的检测系统,通过实验对系统的透射率检测精度进行分析和验证。结果表明,系统透射率检测精度优于±0.05%,并具有很好的重复性,能够用于ICF系统中大口径光学元件透射率的高精度、全口径检测。 展开更多
关键词 测量 大口径光学元件 透射率 全口径检测 ICF系统
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基于压力分布的环摆式双面抛光去除均匀性研究
9
作者 毛晨 肖博 +3 位作者 王春阳 白祎凡 黄思玲 王大森 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第16期278-291,共14页
构建了一种基于速度和压力分布模型的材料去除量分布计算模型。建立了环摆式双面抛光的有限元模型,对5种半径的上抛光盘在不同加工压力下与元件接触面的压力分布进行分析,通过拟合得到压力分布特性模型。根据Preston方程,将压力分布模... 构建了一种基于速度和压力分布模型的材料去除量分布计算模型。建立了环摆式双面抛光的有限元模型,对5种半径的上抛光盘在不同加工压力下与元件接触面的压力分布进行分析,通过拟合得到压力分布特性模型。根据Preston方程,将压力分布模型与速度分布模型耦合,得到材料去除量分布计算模型。通过模拟加工计算,研究加工压力和上抛光盘尺寸对去除量分布及均匀性的影响,发现去除量分布主要受上抛光盘尺寸和摆动距离的影响,去除均匀性主要受加工压力的影响。通过加工实验,对所得到的材料去除量分布计算模型的准确性进行验证,并研究了加工压力和上盘尺寸对材料去除量分布及均匀性的影响。实验结果表明,上抛光盘的直径越大,则加工压力越小,材料去除的均匀性越好。基于去除量分布预测模型,利用得到的规律指导实际加工,选取初始表面面型峰谷(PV)值为2.09λ(λ=632.8 nm)、均方根(RMS)值为0.464λ的熔石英样件,通过材料去除量预测模型得到工艺参数的最优解。加工后元件表面面型PV值降至0.85λ,RMS值降至0.137λ。所提模型将元件表面PV值降低到λ以下的时间缩短至原来的50%,实现了元件表面面型的快速收敛。 展开更多
关键词 大口径平面光学元件 环摆式双面抛光法 压力分布特性 去除均匀性 材料去除量计算模型
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平面反射镜反射率检测系统研究
10
作者 刘旭 于德强 +8 位作者 任寰 杨一 汤晓青 郑芳兰 马玉荣 冯晓璇 马可 柴立群 陈波 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期397-400,共4页
为实现在高功率激光装置中对平面反射镜反射率的高精度测量,提出了将双光束分光光度法与VW测量法相结合,利用扩束后的测量光束测量被测元件的反射率。推导了计算公式,搭建了测量光束口径为50mm的检测系统,通过对标准吸收玻璃吸收值的测... 为实现在高功率激光装置中对平面反射镜反射率的高精度测量,提出了将双光束分光光度法与VW测量法相结合,利用扩束后的测量光束测量被测元件的反射率。推导了计算公式,搭建了测量光束口径为50mm的检测系统,通过对标准吸收玻璃吸收值的测试验证了系统对光束能量测试的准确性。利用该系统对高功率激光装置使用的反射镜的反射率进行了测量,并将其测量结果与用lambda900分光光度计测量的结果进行了比对。结果表明:该方法的测量精度优于0.1%。 展开更多
关键词 光学测量 反射率 高功率激光系统 大口径光学元件 双光束分光光度法
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瞬态温度变化对大口径光学元件的影响 被引量:5
11
作者 张军伟 周忆 +4 位作者 周海 林东晖 冯斌 景峰 王时龙 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期333-337,共5页
温度瞬变是影响惯性约束聚变(ICF)驱动器中大口径光学元件结构稳定性的一个重要的激励因素。采用多通道高精度温度监测仪对原型装置中编组站大口径光学元件环境温度进行了24 h监测,得到了编组站光学元件环境温度24 h温度变化曲线;采用... 温度瞬变是影响惯性约束聚变(ICF)驱动器中大口径光学元件结构稳定性的一个重要的激励因素。采用多通道高精度温度监测仪对原型装置中编组站大口径光学元件环境温度进行了24 h监测,得到了编组站光学元件环境温度24 h温度变化曲线;采用有限元分析软件建立了光学元件的有限元模型,把温度监测结果作为载荷,对光学元件进行了热结构耦合分析。分析得到了大口径光学元件面形在24 h内的变化曲线,光学元件环境温度24 h内最大变化范围为0.45 ℃,24 h光学元件最大转角变化为1.12μrad。分析结果表明,光学元件转角最大变化已超过打靶对光学元件稳定性的要求,但通过调整打靶时间,缩短光路准直之后打靶的等待时间可有效提高打靶的成功率。 展开更多
关键词 光学器件 惯性约束聚变驱动器 大口径光学元件 温度瞬变 稳定性
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大口径光学元件精密加工温差分析及控制方法 被引量:5
12
作者 焦翔 朱健强 +1 位作者 樊全堂 李养帅 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期285-292,共8页
针对大口径光学元件精密加工时上下表面存在温差的问题,以环形抛光系统为例,对抛光盘和工件温度特性进行了研究。在1.6m环形抛光机上对工件温度进行了测定,结果表明即使在低速抛光情况下工件上下表面也会产生较大的温差。提出了合理搭... 针对大口径光学元件精密加工时上下表面存在温差的问题,以环形抛光系统为例,对抛光盘和工件温度特性进行了研究。在1.6m环形抛光机上对工件温度进行了测定,结果表明即使在低速抛光情况下工件上下表面也会产生较大的温差。提出了合理搭配工艺参数和对工件非加工面绝热两种温差控制方法。通过采用控制变量法和对工件绝热抛光法进行测温实验验证了方案的可行性,为高精度面形加工奠定了基础。 展开更多
关键词 光学制造 温差控制 大口径光学元件 环形抛光 精密加工 绝热
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一种用于大型光学仪器的自动检焦装置 被引量:1
13
作者 李宇航 谷凤安 李朝鹏 《物理实验》 北大核心 2004年第2期23-25,共3页
介绍了一种小型化的自动检焦装置 ,该装置用 2块小口径五棱镜对径放置在镜筒前 ,用半导体激光器做光源 ,用CCD作为光电转换器件 ,通过测量两光斑在CCD上的移动量 ,从而计算出离焦量 .采用相关法处理数据 ,实现了亚像素测量精度 .实验结... 介绍了一种小型化的自动检焦装置 ,该装置用 2块小口径五棱镜对径放置在镜筒前 ,用半导体激光器做光源 ,用CCD作为光电转换器件 ,通过测量两光斑在CCD上的移动量 ,从而计算出离焦量 .采用相关法处理数据 ,实现了亚像素测量精度 .实验结果表明检焦分辨率力≤ 10 μm . 展开更多
关键词 大口径光学仪器 自动检焦装置 光电转换器件 五棱镜 CCD 离焦量 检焦分辨率 误差分析
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大口径光学系统测试用双回转子孔径扫描装置设计与误差分析 被引量:3
14
作者 赫英威 李平 +6 位作者 冯国进 王煜 刘子龙 郑春弟 吴厚平 李成 沙定国 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期116-122,共7页
设计了一种新颖的双回转子孔径扫描装置,得到了可以覆盖大口径光学系统全口径的子孔径扫描光斑,从而满足了大口径光学系统光谱透射特性的测试需求。结合双回转扫描装置的结构参数误差,基于齐次坐标变换矩阵原理,建立了双回转扫描装置的... 设计了一种新颖的双回转子孔径扫描装置,得到了可以覆盖大口径光学系统全口径的子孔径扫描光斑,从而满足了大口径光学系统光谱透射特性的测试需求。结合双回转扫描装置的结构参数误差,基于齐次坐标变换矩阵原理,建立了双回转扫描装置的数学模型,提出了一套分析子孔径扫描精度的方法,并且在设计双回转子孔径扫描装置中实现了应用。分析结果表明,当双回转子孔径扫描装置的回转半径rη≤400mm时,子孔径扫描精度Δrη为-0.007~0.028mm。提出的子孔径扫描误差估计方法、建立的扫描运动坐标转换模型和得到的误差数据结果可作为类似回转扫描机构的设计参考,也为基于双回转子孔径扫描方法的大口径光学系统光谱透射特性测试的深入研究提供了理论依据和数据基础。 展开更多
关键词 光学测量 双回转子孔径扫描 齐次坐标变换矩阵 大口径光学系统 透射比
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基于权重的子孔径拼接优化算法研究 被引量:3
15
作者 田爱玲 吴世霞 +1 位作者 刘丙才 张鹏飞 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期943-949,共7页
为了提高大口径光学元件面形拼接检测准确度,减少传统子孔径拼接算法带来的误差传递和积累,并在原有全局优化拼接算法的基础上引入权重系数,使全口径内各相邻子孔径之间的重叠区域达到最优匹配,使拼接误差最小化.利用该优化算法对平面... 为了提高大口径光学元件面形拼接检测准确度,减少传统子孔径拼接算法带来的误差传递和积累,并在原有全局优化拼接算法的基础上引入权重系数,使全口径内各相邻子孔径之间的重叠区域达到最优匹配,使拼接误差最小化.利用该优化算法对平面进行了多孔径拼接仿真模拟,在此基础上对150mm口径的平面镜进行了实验,并提出基于图像边缘轮廓特征提取的子孔径定位新方法,分析了影响拼接误差的因素.仿真和实验结果均证明了基于权重的全局优化拼接算法的有效性和可行性. 展开更多
关键词 光学面形检测 子孔径拼接 全局优化算法 大口径光学元件
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加工误差引入的薄型KDP晶体附加面形 被引量:3
16
作者 熊召 崔凯洪 +3 位作者 张彬 贾凯 徐攀 袁晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期343-348,共6页
针对惯性约束聚变(ICF)驱动装置中口径为400mm×400mm薄型频率转换KDP晶体在45°放置状态下产生的附加面形问题,采用有限元分析软件ANSYS,建立了以实测数据为基础的大口径薄型KDP晶体的应变模型和有加工误差的夹具模型,仿真分析... 针对惯性约束聚变(ICF)驱动装置中口径为400mm×400mm薄型频率转换KDP晶体在45°放置状态下产生的附加面形问题,采用有限元分析软件ANSYS,建立了以实测数据为基础的大口径薄型KDP晶体的应变模型和有加工误差的夹具模型,仿真分析了KDP晶体的加工误差和夹具的加工误差对KDP晶体附加面形的影响,给出了KDP晶体附加面形变化的P-V值和RMS值。在此基础上,通过对KDP晶体的加工误差及夹具支撑表面不同类型和不同大小加工误差的分析和比较,得出:KDP晶体边缘的加工误差和夹具支撑表面的凹型加工误差是引起较大附加面形的原因之一,KDP晶体的加工误差也会导致其面形变化不均匀,而夹具支撑表面的凸型、波浪形加工误差和压条表面的随机加工误差对KDP晶体附加面形的影响相对较小,且支撑表面的随机加工误差引起的附加面形变化介于其他两者之间。 展开更多
关键词 大口径光学元件 薄型KDP晶体 加工误差 附加面形 夹具 支撑表面 压条
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支撑力非均匀性对大口径光学镜片面形的影响 被引量:2
17
作者 罗欣 刘远 +1 位作者 沈意平 周蕾 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期1-5,共5页
针对大口径光学镜片支撑点底面周向均布的柔性支撑系统,采用随机分析方法分析其支撑点上支撑力的随机不均匀性对镜片面形的影响规律.将柔性支撑系统的各点支撑力视为服从均匀分布的独立随机变量,随机产生多组支撑力数据,利用有限元方法... 针对大口径光学镜片支撑点底面周向均布的柔性支撑系统,采用随机分析方法分析其支撑点上支撑力的随机不均匀性对镜片面形的影响规律.将柔性支撑系统的各点支撑力视为服从均匀分布的独立随机变量,随机产生多组支撑力数据,利用有限元方法分别计算镜片在每组支撑力作用下的镜片变形,求解相应的泽尼克多项式系数,进而对镜片面形变化的峰-谷值及泽尼克多项式系数进行概率密度估计和柯尔莫哥洛夫检验方法检验.实例分析结果表明:采用参数估计方法,镜片在随机支撑力作用下,面形峰-谷值较好地服从正态分布,泽尼克系数较好地服从正态分布;采用非参数估计方法,核概率密度估计的结果可较好反映面形峰-谷值及泽尼克系数的分布特性. 展开更多
关键词 大口径光学镜片 柔性支撑系统 支撑力随机波动 镜片面形 泽尼克多项式 统计假设检验
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大型环抛机抛光盘初始型面质量检测技术研究 被引量:1
18
作者 王伟峰 齐建伟 +1 位作者 张丹 谢磊 《黄河水利职业技术学院学报》 2022年第3期37-43,共7页
为提高大型环抛机的抛光质量和效率,提出在产品抛光前,采用工业摄影测量技术对抛光盘初始型面质量进行检测。通过仿真校正板与抛光盘各部位的压强分布,分析了校正板与抛光盘之间的作用机理。结合抛光盘初始型面的分布趋势,发现校正板虽... 为提高大型环抛机的抛光质量和效率,提出在产品抛光前,采用工业摄影测量技术对抛光盘初始型面质量进行检测。通过仿真校正板与抛光盘各部位的压强分布,分析了校正板与抛光盘之间的作用机理。结合抛光盘初始型面的分布趋势,发现校正板虽然能在很大程度上修正抛光盘的面型,促进被抛光产品的型面快速收敛,但是如果抛光盘存在“天然缺陷”,校正板的修正作用就达不到预期效果,进而导致产品抛光周期长、产品面型不理想等问题。 展开更多
关键词 大型环抛机 工业摄影测量 型面质量 大口径光学元件 测量原理 精度评定 压强分布
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“高分四号”卫星相机热控系统设计及验证 被引量:19
19
作者 于峰 徐娜娜 +2 位作者 赵宇 徐先锋 封艳广 《航天返回与遥感》 北大核心 2016年第4期72-79,共8页
"高分四号"卫星搭载的相机具有较高的分辨率和指向精度,需相机光学系统及主承力结构在全寿命周期内保持高温度稳定性,且该相机工作于地球静止轨道,所处空间热环境更为复杂,给热控设计带来极大挑战。文章结合相机在轨成像需求... "高分四号"卫星搭载的相机具有较高的分辨率和指向精度,需相机光学系统及主承力结构在全寿命周期内保持高温度稳定性,且该相机工作于地球静止轨道,所处空间热环境更为复杂,给热控设计带来极大挑战。文章结合相机在轨成像需求和空间热流特点,详细分析了相机热控设计的重点与难点,并创新性的采用了遮光罩开设散热面、间接辐射控温、南北耦合散热面等热控措施,实现了高轨相机的高精度温度控制。热平衡试验与在轨飞行温度数据表明,相机的热控设计合理可行,能够满足相机在轨成像的温度要求,为未来高轨大口径光学相机高精度、高稳定性热控设计奠定了良好的基础。 展开更多
关键词 地球静止轨道 热控设计 热平衡试验 在轨验证 大口径光学相机 “高分四号”卫星
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大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正 被引量:15
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作者 王长军 熊胜明 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1153-1157,共5页
研究了2.2 m高真空箱式镀膜机镀膜时的实际膜厚分布情况。对非球面和平面光学元件,分别采用行星夹具和平面公转夹具并利用修正板调节膜厚均匀性。从实验上实现了大口径薄膜均匀性的调节,并获得较为理想的结果。口径在700 mm范围内,对于... 研究了2.2 m高真空箱式镀膜机镀膜时的实际膜厚分布情况。对非球面和平面光学元件,分别采用行星夹具和平面公转夹具并利用修正板调节膜厚均匀性。从实验上实现了大口径薄膜均匀性的调节,并获得较为理想的结果。口径在700 mm范围内,对于凹面均匀性可以控制在0.7%以内,平面均匀性在1%以内;口径在1 200 mm范围内凹面元件均匀性可控制在1%以内,平面1 300 mm口径以内窗口均匀性可控制在1%以内。镀制了口径在400~1 300 mm的多种天文观测上使用的反射镜、增透膜等,获得了理想的光谱曲线与较好的使用效果。 展开更多
关键词 大口径光学元件 薄膜 均匀性 修正板 修正
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