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Numerical Simulation of Characteristics of CEX Ions in Ion Thruster Optical System 被引量:6
1
作者 Zhong Lingwei Liu Yu +4 位作者 Li Juan Gu Zuo Jiang Haocheng Wang Haixing Tang Haibin 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第1期15-21,共7页
Charge exchange (CEX) ions could inflict severe damages on the ion thruster optical system. This article is aimed at investigating the characteristics of the CEX ions and their influences upon the optical system by ... Charge exchange (CEX) ions could inflict severe damages on the ion thruster optical system. This article is aimed at investigating the characteristics of the CEX ions and their influences upon the optical system by means of particle-incell(PIC) ion simulation and Monte Carlo collision(MCC) methods. The results from numerical simulation indicate that despite the fact that CEX ions appear in the entire beamlet region near the ion optical system, the ones that present themselves downstream of the accelerator grid have good reason for attracting more attention. As their trajectories are significantly affected by the local electric field, a great number of CEX ions are accelerated toward grids resulting in sputtering erosion. When the influences of the CEX ions are considered in the nulnerical simulation,there could hardly be observed augments in the screen grid current,but the accelerator grid current increases from zero to 1.4% of the beamlet current. It can be understood from the numerical simulation that the CEX ions formed in the region far downstream of the accelerator grid should be blamed for the erosion on the downstream surface of the accelerator grid. 展开更多
关键词 eleetric propulsion ion propulsion ion optical system particle simulation charge exchange collision
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电感耦合等离子体四极杆质谱离子光学系统的现状与进展 被引量:8
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作者 余兴 《冶金分析》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期23-29,共7页
简要地介绍了电感耦合等离子体四极杆质谱(Inductively Coupled Plasma Quadru-pole Mass Spectrometry,ICP-QMS)的离子光学系统。对各主要仪器厂商(如安捷伦、珀金埃尔默、赛默飞世尔、瓦里安)的ICP-QMS的离子光学系统进行了归纳,分为... 简要地介绍了电感耦合等离子体四极杆质谱(Inductively Coupled Plasma Quadru-pole Mass Spectrometry,ICP-QMS)的离子光学系统。对各主要仪器厂商(如安捷伦、珀金埃尔默、赛默飞世尔、瓦里安)的ICP-QMS的离子光学系统进行了归纳,分为光子挡板、离轴、90度偏转三种类型。分别对不同类型的离子光学系统的现状与进展进行了详细地评述。 展开更多
关键词 电感耦合等离子体四极杆质谱 离子光学系统 现状 进展
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电荷交换离子对栅极系统束流影响的数值研究 被引量:6
3
作者 钟凌伟 刘宇 +2 位作者 王海兴 汤海滨 任军学 《航空动力学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1911-1916,共6页
采用二维网格质点法(PIC)计算离子在离子发动机栅极系统中的运动,通过在模型中添加离子和中性粒子电荷交换的Monte Carlo碰撞模块,得到了电荷交换离子在栅极周围的分布及电荷交换离子的运动规律.计算结果表明:考虑电荷交换离子后,屏栅... 采用二维网格质点法(PIC)计算离子在离子发动机栅极系统中的运动,通过在模型中添加离子和中性粒子电荷交换的Monte Carlo碰撞模块,得到了电荷交换离子在栅极周围的分布及电荷交换离子的运动规律.计算结果表明:考虑电荷交换离子后,屏栅极电流较不考虑电荷交换离子情况时增大了1.42%,所受影响不大,加速栅极电流由0增大到主束流电流的1.41%.模拟结果表明:加速栅极下游较远处产生的电荷交换离子,是造成加速栅极下游面腐蚀及加速栅极电流的主要原因. 展开更多
关键词 离子发动机 栅极系统 电荷交换离子 网格质点法 MonteCarlo碰撞
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微尺度质谱仪离子源结构设计及离子光学系统仿真 被引量:4
4
作者 张浩 窦仁超 +6 位作者 刘坤 孟冬辉 巴德纯 杜广煜 巴要帅 孙立臣 闫荣鑫 《航天器环境工程》 2019年第1期83-88,共6页
文章针对多领域对便携式质谱仪的需求,对微尺度质谱仪的核心部件离子源进行结构设计,并利用离子光学模拟软件SIMION进行仿真,探究电极电压、透镜结构、电极结构等对离子传输的影响并进行优化,获取相关参数研究规律,为微尺度质谱仪的研... 文章针对多领域对便携式质谱仪的需求,对微尺度质谱仪的核心部件离子源进行结构设计,并利用离子光学模拟软件SIMION进行仿真,探究电极电压、透镜结构、电极结构等对离子传输的影响并进行优化,获取相关参数研究规律,为微尺度质谱仪的研制提供设计依据。 展开更多
关键词 微尺度质谱仪 离子源 离子光学系统 SIMion软件 仿真分析
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离子束刻蚀技术与设备常见故障分析 被引量:3
5
作者 程壹涛 刘成群 吴海 《电子工业专用设备》 2021年第5期33-38,共6页
介绍了离子束刻蚀技术的特点及其基本原理,并以某型号离子束刻蚀机为例,重点介绍了该设备组成结构与工作原理。同时,根据以往维修经验,总结归纳了该设备的常见故障,并对故障原因进行了深入分析,给出了相应的解决措施。
关键词 离子束刻蚀 射频离子源 中和器 离子光学系统
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基于PIC方法的离子发动机光学系统粒子模拟 被引量:2
6
作者 刘畅 汤海滨 +1 位作者 顾佐 江豪城 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期382-386,共5页
采用单元内粒子(PIC,Particle-In-Cell)方法对离子发动机光学系统进行了等离子体粒子模拟.PIC方法可有效地对等离子体进行粒子模拟,其中电场求解采用SOR(Succes-sive Over Relaxation)方法,离子加速方法采用蛙跳格式.推进剂采用氙,模拟... 采用单元内粒子(PIC,Particle-In-Cell)方法对离子发动机光学系统进行了等离子体粒子模拟.PIC方法可有效地对等离子体进行粒子模拟,其中电场求解采用SOR(Succes-sive Over Relaxation)方法,离子加速方法采用蛙跳格式.推进剂采用氙,模拟粒子为单核离子.模拟得到了栅极间电势分布、电场强度分布及栅极间氙离子数密度分布.计算结果表明,在所取的光学系统电压参数和几何参数下,粒子束能够顺利通过栅极孔,不会撞击到栅极孔壁上.粒子模拟为今后开展离子发动机光学系统腐蚀机理分析及寿命评估提供了有效的数值方法. 展开更多
关键词 离子发动机 光学系统 等离子体 粒子模拟
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扫描式氩离子枪的电子光学系统研究
7
作者 石晓倩 刘佳辉 +1 位作者 陈雪颖 郭方准 《真空》 CAS 2023年第1期71-75,共5页
扫描式离子枪是样品表面清洁、表面刻蚀和深度分析的常用部件,加速电压在500V到3kV之间可调,具有效率高、性能可靠等优点。电子光学系统是离子枪的重要组成部分,是决定离子束流品质的重要因素。本文利用计算机模拟软件CST对离子枪整体... 扫描式离子枪是样品表面清洁、表面刻蚀和深度分析的常用部件,加速电压在500V到3kV之间可调,具有效率高、性能可靠等优点。电子光学系统是离子枪的重要组成部分,是决定离子束流品质的重要因素。本文利用计算机模拟软件CST对离子枪整体结构进行建模,研究了离子枪聚焦系统不同结构和电压参数对离子束电流密度和束斑尺寸的影响,同时得到了离子枪偏转系统在不同电压分布下的离子分布情况,通过仿真分析确定了电子光学系统的设计方案,并进行了实验验证。结果表明:工作距离为25mm、氩气工作气压为6×10-3Pa、加速电压为3kV时,氩离子束的束流大小为3μA;束斑大小在7mm到12mm之间可调;当偏转电压为300V时,偏转角度为4.6°。实验与仿真结果基本对应,同时该离子枪的性能指标可获得表面原子精度构造。 展开更多
关键词 离子枪 电子光学系统 静电聚焦 静电偏转
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离子推力器欠聚焦冲击电流的数值模拟 被引量:4
8
作者 李娟 刘洋 +1 位作者 楚豫川 曹勇 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期751-755,899,共6页
离子光学系统的离子束引出过程是离子推力器重要的物理过程,该过程直接关系到推力器的推力、比冲、效率等参数。为研究离子在离子推力器光学系统中的运动特性,使用了基于IFE-PIC(Immersed Finite Element Particle-In-Cell)的离子推力... 离子光学系统的离子束引出过程是离子推力器重要的物理过程,该过程直接关系到推力器的推力、比冲、效率等参数。为研究离子在离子推力器光学系统中的运动特性,使用了基于IFE-PIC(Immersed Finite Element Particle-In-Cell)的离子推力器光学系统离子束引出过程的三维数值计算模型,计算了栅极间电场分布、电荷密度,栅极冲击电流及欠聚焦极限。计算结果表明,当屏栅极电压不同时,发生欠聚焦的等离子束电流也不同。在欠聚焦工况下,一部分离子与栅极碰撞,产生冲击电流。冲击电流随电离室等离子体数密度增加而增大。 展开更多
关键词 离子推力器 光学系统 冲击电流 欠聚焦
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考虑电荷交换的三维离子发动机栅极粒子模拟 被引量:2
9
作者 刘畅 汤海滨 +2 位作者 顾佐 江豪城 刘宇 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期463-468,共6页
为了对离子发动机光学系统进行数值分析,开发了考虑电荷交换的三维离子发动机栅极粒子模拟程序。模拟程序采用单元内粒子(PIC)方法,光学系统为双栅极结构,推进剂采用氙,总加速电压为1600V,栅极间距为1mm,粒子之间的电荷交换碰撞模型采... 为了对离子发动机光学系统进行数值分析,开发了考虑电荷交换的三维离子发动机栅极粒子模拟程序。模拟程序采用单元内粒子(PIC)方法,光学系统为双栅极结构,推进剂采用氙,总加速电压为1600V,栅极间距为1mm,粒子之间的电荷交换碰撞模型采用蒙特卡洛方法。采用链式存储结构存储粒子信息,可以实现数组式存储方法所不能实现的功能。使用粒子模拟程序对离子发动机光学系统进行了粒子模拟,模拟得到了栅极间的电场分布和氙离子空间分布。模拟结果表明,在所取工作参数下氙离子全部通过了栅极孔,未撞击到栅极上,验证了参数的合理性。 展开更多
关键词 离子发动机 光学系统 粒子模拟 单链表
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Mechanical analysis of C/C composite grids in ion optical system 被引量:1
10
作者 Shuiqiang ZHANG Aijun LI +1 位作者 Yuqin ZHENG Dongsheng ZHANG 《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》 SCIE EI CSCD 2019年第11期1589-1600,共12页
The ion thruster is an engine with high specific impulse for satellites and spacecrafts,which uses electric energy to boost the spacecraft.The ion optical system,also known as gate assemblies which consist of accelera... The ion thruster is an engine with high specific impulse for satellites and spacecrafts,which uses electric energy to boost the spacecraft.The ion optical system,also known as gate assemblies which consist of acceleration and screen grids,is the key component of the ion thruster.In this paper,the static mechanical properties of the C/C composite grids are evaluated based on the structural design.Representative volume element (RVE) is adopted to simplify the braded composite structure as a continuum material.The dynamical behavior of the 100 mm ion thruster optics in the launch environment (1000g shock-load) is numerically modeled and simulated with the half-sine pulse method.The impact response of the C/C and molybdenum gate assemblies on the stress distribution and deformation is investigated.The simulated results indicate that the magnitudes of the normal displacement of the composite grids subject to the uniformly distributed load are on the same level as molybdenum grids although the normal stiffness of the composite grids is much smaller.When subject to impact loading,the stress distribution in the C/C composite grids is similar to molybdenum grids while the stress magnitude is much smaller.This finding shows that the C/C gate assemblies outperform molybdenum grids and meet the requirement of long lifetime service in space travel. 展开更多
关键词 ion optical system C/C COMPOSITE GRID MECHANICAL analysis
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光学元件离子束修形去除效率分析 被引量:1
11
作者 尹国举 李圣怡 +2 位作者 解旭辉 周林 戴一帆 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2014年第5期351-357,共7页
离子束修形(IBF)技术成为光学零件获得超高面形必不可少的加工工艺.修形过程中采用光阑获取小的束径、稳定的去除函数是获得超高面形精度的前提.不同材料和工艺参数等不同条件下获得的去除函数都不相同,每次修形前都要重新测量去除函数... 离子束修形(IBF)技术成为光学零件获得超高面形必不可少的加工工艺.修形过程中采用光阑获取小的束径、稳定的去除函数是获得超高面形精度的前提.不同材料和工艺参数等不同条件下获得的去除函数都不相同,每次修形前都要重新测量去除函数.研究了不同入射能下、不同靶距下以及有无光阑时去除函数的变化.发现在离子光学系统几何参数一定的条件下,离子束去除函数的效率变化与入射能量、离子体浓度引起的离子鞘形状、束散角、温度、靶距、净加速电压与总加速电压之比的变化等因素都有关.当增大入射能量时,去除效率随之增加,但当入射能量大于一定值后就会出现随着入射能量增加而去除效率降低的"拐点"现象.有无光阑只改变去除效率的大小而不会改变"拐点"现象.因此不选用入射能量增大而去除效率减小的"拐点"之后的入射能量修形. 展开更多
关键词 离子束修形 去除效率 入射能量 离子光学系统
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离子推力器栅极系统仿真典型验证技术研究现状 被引量:1
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作者 王聪 郭宁 +1 位作者 刘超 贾艳辉 《真空与低温》 2020年第2期144-151,共8页
栅极系统是影响离子推力器性能和寿命的重要组件之一,数值仿真建模方法是研究栅极系统失效机理的重要手段。为了提高数值仿真模型运算结果的置信度,需要对栅极系统仿真模型开展试验验证研究。本文在对栅极系统工作物理过程、失效模式和... 栅极系统是影响离子推力器性能和寿命的重要组件之一,数值仿真建模方法是研究栅极系统失效机理的重要手段。为了提高数值仿真模型运算结果的置信度,需要对栅极系统仿真模型开展试验验证研究。本文在对栅极系统工作物理过程、失效模式和失效机理分析的基础上,系统调研了国内外离子推力器栅极系统仿真的研究进展,并重点对栅极系统仿真模型验证技术研究进展开展了调研,为离子推力器栅极系统仿真模型验证研究提供了参考。 展开更多
关键词 离子推力器 栅极系统 仿真模型 验证技术
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曲面栅极朝向对离子推力器影响的试验研究
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作者 郭德洲 胡竟 +4 位作者 杨福全 耿海 李娟 赵以德 李建鹏 《真空与低温》 2022年第1期115-121,共7页
离子推力器主要有两种构型的曲面栅极:凸面和凹面。为了研究曲面栅极朝向对离子推力器工作特性的影响,采用兰州空间技术物理研究所自研的LIPS-100离子推力器,开展了20 mN推力工况下两种构型栅极的放电损耗、束流密度分布和低温启动等工... 离子推力器主要有两种构型的曲面栅极:凸面和凹面。为了研究曲面栅极朝向对离子推力器工作特性的影响,采用兰州空间技术物理研究所自研的LIPS-100离子推力器,开展了20 mN推力工况下两种构型栅极的放电损耗、束流密度分布和低温启动等工作特性对比试验。结果表明:与凸面栅极相比,凹面栅极的放电特征尺寸小、热态栅间距大;采用凹面栅极的推力器可在-90℃极限温度环境下10 s内满功率启动,但放电损耗增加了5.3%;同时,凹面栅极引出的离子更为聚焦,束流发散角减小了18.6%,引出束流平直度下降了19.6%。研究结果可为国内离子推力器研制中栅极构型的选择和优化提供依据。 展开更多
关键词 离子推力器 栅极组件 凸面 凹面 工作特性
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辉光放电飞行时间质谱仪离子光学系统的改进及其性能的初步测试
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作者 苏永选 周振 +2 位作者 杨芃原 王小如 黄本立 《质谱学报》 EI CAS CSCD 1997年第3期13-19,共7页
本文介绍一种经过改进的离子光学系统,并用于垂直引出式辉光放电飞行时间质谱仪。初步研究了它的性能,包括吸引锥、透镜、直流四极杆、狭缝电位变化时对仪器灵敏度与分辨率的影响,并检测了黄铜样品谱图。结果表明,该系统不仅能有效... 本文介绍一种经过改进的离子光学系统,并用于垂直引出式辉光放电飞行时间质谱仪。初步研究了它的性能,包括吸引锥、透镜、直流四极杆、狭缝电位变化时对仪器灵敏度与分辨率的影响,并检测了黄铜样品谱图。结果表明,该系统不仅能有效地提高离子的传输效率,提高灵敏度,而且能减少高手的空间分散,改善分辨本领,同时对于质谱仪的真空系统性能的提高也有很大的作用。 展开更多
关键词 辉光放电质谱 飞行时间质谱 离子光学系统 GDMS
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求解离子光学系统高阶轨迹方程的新方法
15
作者 陈仁术 西门纪业 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1992年第4期41-51,共11页
本文讨论求解离子光学系统高阶轨迹方程的逐次积分方法。计算轨迹方程齐次解的积分,可以直接建立轨迹方程非齐次项的G矩阵与该非齐次方程的特解轨迹S矩阵的转换关系。把这个关系归结为特解生成矩阵。按照这种改进的理论方法,高阶轨迹的... 本文讨论求解离子光学系统高阶轨迹方程的逐次积分方法。计算轨迹方程齐次解的积分,可以直接建立轨迹方程非齐次项的G矩阵与该非齐次方程的特解轨迹S矩阵的转换关系。把这个关系归结为特解生成矩阵。按照这种改进的理论方法,高阶轨迹的求解简化成为G矩阵与L矩阵的相乘,S矩阵各元素间的某些相互关系亦同时被清晰显示。 展开更多
关键词 离子光学系统 轨迹方程 高阶轨迹
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离子推力器光学系统的二维PIC粒子模拟
16
作者 陈琳英 宋仁旺 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2010年第17期216-219,共4页
建立了双栅离子光学系统的数理模型及其边界条件,采用PIC(Particle-In-Cell)方法,对双栅离子光学系统栅间的电位分布和粒子运动轨迹进行了模拟计算;其中双栅离子光学系统粒子运动轨迹采用蛙跳法进行模拟;栅间电位分布采用超松弛迭代法,... 建立了双栅离子光学系统的数理模型及其边界条件,采用PIC(Particle-In-Cell)方法,对双栅离子光学系统栅间的电位分布和粒子运动轨迹进行了模拟计算;其中双栅离子光学系统粒子运动轨迹采用蛙跳法进行模拟;栅间电位分布采用超松弛迭代法,优化结构后,可以大大减少撞击加速栅的粒子数。 展开更多
关键词 离子推力器 光学系统 质点网格法(PIC) 数值模拟
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面向微型光谱仪在线检测的光学系统误差校正方法 被引量:4
17
作者 周风波 朱红求 李长庚 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2022年第3期115-123,共9页
微型光纤光谱仪由于具有小型化、集成化、检测速度快等特点,适合用于工业现场多组分物质的在线检测。针对微型光谱仪由于受到仪器杂散光、光度噪声和光源波动等因素的影响,导致测量光谱信号精度差的问题,提出了一种面向微型光谱仪在线... 微型光纤光谱仪由于具有小型化、集成化、检测速度快等特点,适合用于工业现场多组分物质的在线检测。针对微型光谱仪由于受到仪器杂散光、光度噪声和光源波动等因素的影响,导致测量光谱信号精度差的问题,提出了一种面向微型光谱仪在线检测的光学系统误差校正方法。该方法首先使用光谱仪在线测量光谱强度,并通过参考溶液和待测溶液获取光谱信号;其次,通过提出的自适应小波阈值去噪法,消除光谱信号的光度噪声,提升光谱信号的灵敏度;然后,提出了一种基于双波长光强比值不变性的光源稳定方法,动态消除光源误差;最后,对铜钴离子的光谱信号进行动态校正,并对校正曲线进行性能分析。结果表明,所提出的方法简单快速,适用于光谱信号的动态校正,以满足多金属杂质离子在线检测的需求。 展开更多
关键词 微型光纤光谱仪 多金属离子检测 光学系统误差校正 自适应小波阈值法
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日本电子JMS-S3000的开发——具有螺旋状离子轨道的MALDI-TOF/TOF-MS
18
作者 李群 佐藤贵弥 《现代科学仪器》 2011年第5期178-181,共4页
日本电子开发了一种具有螺旋状离子轨道的新型离子光学系统,它超越了现在市场上多数采用的反射式离子光学系统的基本性能;而且还开发了MALDI-TOF/TOF-MS(型号为JMS-S3000),在第1个TOF MS中采用螺旋状轨道离子光学系统,第2个TOF MS中采... 日本电子开发了一种具有螺旋状离子轨道的新型离子光学系统,它超越了现在市场上多数采用的反射式离子光学系统的基本性能;而且还开发了MALDI-TOF/TOF-MS(型号为JMS-S3000),在第1个TOF MS中采用螺旋状轨道离子光学系统,第2个TOF MS中采用反射式离子光学系统,从而实现了以前的质谱仪器达不到的高质量分辨率和高母离子选择性。JMS-S3000质谱图显示:在m/z2093质量分辨率不仅超过60,000(FWHM),而且在很宽的质量范围也能达到高质量分辨率。JMS-S3000具有高母离子选择性,只选择母离子的单一同位素离子,所以各个断裂途径的峰在子离子谱图上能够清晰地被看到其对应的信号峰,使得子离子谱图的解析变的更加简单明确。 展开更多
关键词 螺旋轨道型离子光学系统 反射式离子光学系统 母离子 子离子 选择性 多重反射型 多重盘旋型 MALDI-TOF/TOF MS
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加速栅电压对双级加速离子光学系统栅极性能的影响 被引量:2
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作者 贾连军 张天平 +2 位作者 刘明正 陈娟娟 贾艳辉 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第5期225-232,共8页
离子推力器的加速栅电压对加速栅截获电流的大小有影响。目前,离子推力器加速栅电压值是通过实验多次调节确定的,理论计算只能给出加速栅电压最大值。针对兰州空间技术物理研究所研制的双级加速离子推力器开展了加速栅电压的优化设计,... 离子推力器的加速栅电压对加速栅截获电流的大小有影响。目前,离子推力器加速栅电压值是通过实验多次调节确定的,理论计算只能给出加速栅电压最大值。针对兰州空间技术物理研究所研制的双级加速离子推力器开展了加速栅电压的优化设计,利用质点网格法和蒙特卡洛碰撞法(PIC-MCC)开展了8000s比冲条件下5种加速栅电压(-150,-180,-200,-250,-300V)对离子运动轨迹、束流发散角、交换电荷(CEX)截获的数量和能量以及加速栅溅射速率的影响研究,根据研究结果确定了最佳加速栅电压为-250V。最后开展了验证实验,结果表明加速栅电压为-250V左右时,加速栅电流较小,验证了数值仿真的正确性。 展开更多
关键词 测量 双级加速离子光学系统 加速栅电压 质点网格法和蒙特卡洛碰撞法 交换电荷
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超高精度离子束抛光工具设计与性能分析
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作者 鹿迎 解旭辉 +1 位作者 周林 彭文强 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期17-20,共4页
为了解决高精度光学修形问题,进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系统结构设计和离子束流特性的分析,进行计算机仿真研究和中和器一体化设计;研制聚焦离子光学系统和中和器,... 为了解决高精度光学修形问题,进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系统结构设计和离子束流特性的分析,进行计算机仿真研究和中和器一体化设计;研制聚焦离子光学系统和中和器,并采用15mm和10mm的聚焦离子光学系统进行修形加工实验,将口径150mm的熔石英平面镜从初始面形误差RMS15.58nm修正到RMS0.79nm。结果证明了聚焦离子光学系统设计的有效性,一体化离子束抛光工具具有亚纳米精度的修形能力。 展开更多
关键词 离子束修形 聚焦离子光学系统 离子束特性
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