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离子束修形技术 被引量:16
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作者 戴一帆 周林 +2 位作者 解旭辉 廖文林 沈永祥 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期753-760,805,共9页
离子束修形技术具有精度高、确定性好等优点,应用越来越广泛。介绍了离子束修形技术的原理和特点,以及国外离子束修形技术的发展历程和现状,并介绍了国内离子束修形技术的发展现状。针对当前离子束修形技术的研究热点,如中高频误差控制... 离子束修形技术具有精度高、确定性好等优点,应用越来越广泛。介绍了离子束修形技术的原理和特点,以及国外离子束修形技术的发展历程和现状,并介绍了国内离子束修形技术的发展现状。针对当前离子束修形技术的研究热点,如中高频误差控制技术、驻留时间求解算法和加工工艺等方面,综述了国内外的研究现状。 展开更多
关键词 离子束修形 抛光 驻留时间 光学加工
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Advances in the surface modification techniques of bone-related implants for last 10 years 被引量:14
2
作者 Zhi-Ye Qiu Cen Chen +1 位作者 Xiu-Mei Wang In-Seop Lee 《Regenerative Biomaterials》 SCIE 2014年第1期67-79,共13页
At the time of implanting bone-related implants into human body,a variety of biological responses to the material surface occur with respect to surface chemistry and physical state.The commonly used biomaterials(e.g.t... At the time of implanting bone-related implants into human body,a variety of biological responses to the material surface occur with respect to surface chemistry and physical state.The commonly used biomaterials(e.g.titanium and its alloy,Co–Cr alloy,stainless steel,polyetheretherketone,ultra-high molecular weight polyethylene and various calcium phosphates)have many drawbacks such as lack of biocompatibility and improper mechanical properties.As surface modification is very promising technology to overcome such problems,a variety of surface modification techniques have been being investigated.This review paper covers recent advances in surface modification techniques of bone-related materials including physicochemical coating,radiation grafting,plasma surface engineering,ion beam processing and surface patterning techniques.The contents are organized with different types of techniques to applicable materials,and typical examples are also described. 展开更多
关键词 surface modification physicochemical coating radiation grafting plasma surface engineering ion beam processing surface patterning bone-related materials
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光学镜面离子束加工去除函数工艺可控性分析 被引量:8
3
作者 焦长君 李圣怡 +2 位作者 解旭辉 王登峰 周林 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期651-654,658,共5页
实验分析了离子束加工去除函数的工艺可控性问题并进行了初步修形实验。从工艺实现的角度分析光学镜面离子束加工技术对去除函数的要求,以去除函数环半峰全宽、体积去除率和峰值去除率为评价指标研究去除函数的长时稳定性、线性性、小... 实验分析了离子束加工去除函数的工艺可控性问题并进行了初步修形实验。从工艺实现的角度分析光学镜面离子束加工技术对去除函数的要求,以去除函数环半峰全宽、体积去除率和峰值去除率为评价指标研究去除函数的长时稳定性、线性性、小扰动鲁棒性以及大参数调节变化等特征,以此分析结果为依据,对Φ100mm K4平面样件进行了修形,经过三次迭代面形RMS误差从0.149λ收敛到0.013λ。实验结果表明:离子束加工中的去除函数具有较长时稳定性,去除量对时间具有线性关系,对工艺参数小扰动的鲁棒性,可以通过调节离子源电源参数优化选取去除函数的宽度和幅值;利用离子束可以对镜面进行高效地修形。 展开更多
关键词 离子束加工 去除函数 稳定性 工艺可控性
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离子束表面加工设备及工艺研究
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作者 范江华 李勇 +3 位作者 袁祖浩 龚俊 胡凡 黄也 《中国集成电路》 2024年第9期87-91,共5页
本文介绍了一种用于红外芯片金属化与刻蚀工艺的离子束表面加工设备。通过实验探索不同工艺角度下薄膜沉积速率与均匀性及刻蚀速率与均匀性的影响,结果表明薄膜沉积均匀性与刻蚀均匀性均优于3%。同时经过产线流片,红外芯片表面薄膜均匀... 本文介绍了一种用于红外芯片金属化与刻蚀工艺的离子束表面加工设备。通过实验探索不同工艺角度下薄膜沉积速率与均匀性及刻蚀速率与均匀性的影响,结果表明薄膜沉积均匀性与刻蚀均匀性均优于3%。同时经过产线流片,红外芯片表面薄膜均匀性良好、一致性高,芯片电路图案刻蚀陡直性高、损伤低,满足红外芯片金属化与刻蚀工艺需求。 展开更多
关键词 离子束溅射沉积 离子束刻蚀 离子束加工 射频离子源
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半球谐振子超精密修调方法研究
5
作者 刘俊峰 王瑜 +3 位作者 杜春阳 赵羽乾 戴一帆 赖涛 《精密成形工程》 北大核心 2024年第1期158-166,共9页
目的研究因谐振子质量缺陷而引起的频率裂解机制,进而对刚性轴位置进行质量高分辨率可控去除,提高陀螺精度。方法首先基于多区域配合划分法建立半球谐振子高精度有限元仿真模型,分析质量大小与位置对谐振子频差的影响规律。其次搭建谐... 目的研究因谐振子质量缺陷而引起的频率裂解机制,进而对刚性轴位置进行质量高分辨率可控去除,提高陀螺精度。方法首先基于多区域配合划分法建立半球谐振子高精度有限元仿真模型,分析质量大小与位置对谐振子频差的影响规律。其次搭建谐振子振动特性检测平台,利用拍频法实现其频差值和刚性轴位置的精确辨识。最后结合仿真与辨识结果以及离子束加工方法确定谐振子超精密修调方案。结果优化网格划分方法后,谐振子有限元模型频差值小于0.0001Hz,当修调定位误差相同时,在一个范围内的质量去除比单点质量去除的修调效率更高;谐振子质量缺陷四次谐波刚性轴位置辨识精度可达0.1°,与常见的幅值法相比,其精度提高了一个数量级;通过三次点线结合方式进行质量修调后,谐振子频差值小于0.001Hz,修调效率与精度得到了提升。结论提出的谐振子仿真模型、振动特性测试方法以及离子束修调工艺精度较高且可行性较强,对实现半球谐振子性能高精度检测以及高质量加工具有重要意义。 展开更多
关键词 半球谐振子 频差 超精密修调 刚性轴位置 离子束加工
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Thermodynamic prediction of metastable phases of Ni-Ti system formed by ion beam mixing 被引量:3
6
作者 ZHAO ShiZhen LI JiaHao LIU BaiXin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2012年第4期921-926,共6页
By taking into account the valence electron number and periodic number of constituting metals, a new method is first proposed to calculate the structural enthalpy in the Miedema's model and the modified Miedema... By taking into account the valence electron number and periodic number of constituting metals, a new method is first proposed to calculate the structural enthalpy in the Miedema's model and the modified Miedema's model is then used to predict the formation of metastable phases in Ni-Ti system. To testify the relevance of the present prediction, the multilayered films of Ni1-xTix (x=27.3, 30.5, 42.4, 83.1, 89) are prepared and irradiated by 200 keV xenon ions. Experiment results reveal that uniform amorphous phases are obtained in the Ni72.7Ti27.3, Ni69.5Ti30.5, and Ni57.6Ti42.4 films by increasing the irradiation dose. While for the Ni16.9Ti83.1 and Ni11Ti89 films, an hcp Ti-based solid solution phase and a bcc Ti-rich solid solution phase coexist upon irradiation dose higher than 6×1014 Xe+/cm2. The predictions of relative stabilities of metastable phases in Ni-Ti system by the modified Miedema's model match well with IBM experiments, thus justifying the modification proposed in the present study. 展开更多
关键词 metallic glasses THERMODYNAMICS multilayer thin film ion-beam processing
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AuSi液态金属离子源
7
作者 董桂芳 康文运 +1 位作者 应根裕 汪健如 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第9期114-117,共4页
为了进行Si聚焦离子束微细加工技术的研究,研制了AuSi液态金属离子源制备设备及其分析设备,制成了实用化的AuSi合金源,得到了制备该合金源的成熟工艺,利用E×B质量分离器分离出Au和Si离子束,对源的一些特性如... 为了进行Si聚焦离子束微细加工技术的研究,研制了AuSi液态金属离子源制备设备及其分析设备,制成了实用化的AuSi合金源,得到了制备该合金源的成熟工艺,利用E×B质量分离器分离出Au和Si离子束,对源的一些特性如电流—电压曲线、加热功率—发射电流曲线、束流质谱及源的寿命作了分析。该源结构采取同轴针型,合金槽的材料为钼,发射尖为钨丝。源正常工作时的加热方式为间接加热式。该源与带质量分离器的聚焦离子束系统结合,将迈开亚微米Si离子束加工的第一步。并为今后研究其它合金源提供经验。 展开更多
关键词 液态金属离子源 离子源 聚焦离子束 微细加工
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大尺寸SIC空间反射镜离子束加工热效应分析与抑制 被引量:2
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作者 许艳军 赵宇宸 +1 位作者 沙巍 齐光 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第8期2556-2561,共6页
离子束加工中从离子源射出的高速离子撞击光学反射镜表面,离子的动能转化成热能以及中和灯丝的热辐射作用,使反射镜温度急剧升高。反射镜温升过快,会导致柔性连接结构胶结部位发生不可逆的非线性变化,并且热膨胀使实际加工位置和理想加... 离子束加工中从离子源射出的高速离子撞击光学反射镜表面,离子的动能转化成热能以及中和灯丝的热辐射作用,使反射镜温度急剧升高。反射镜温升过快,会导致柔性连接结构胶结部位发生不可逆的非线性变化,并且热膨胀使实际加工位置和理想加工位置发生偏移,增加了加工误差,因此需要对加工过程中产生的热效应进行抑制。提出了通过规划加工路径和增强散热的方法,增强加工过程的散热,控制反射镜的温度。针对600mm×260mm的某主反射镜,对增强散热前后不同加工路径的离子束加工进行了研究和有限元分析。分析表明:加工路径的选择、增强散热对反射镜的温度分布有较大影响,增强散热前,采用横栅格加工路径,反射镜最高温度为35.8℃,对应全口径PV=λ/5,采用分区纵栅格加工路径,反射镜最高温度则达到52℃,PV=λ/10。增强散热后,不同加工路径离子束加工中,反射镜温度均有所下降,采用横向栅格加工路径反射镜温度最高为28.2℃,对应全口径PV=λ/20,采用分区纵栅格加工路径反射镜温度最高为41℃,PV=λ/7。通过对比,最终采用增强散热的横栅格加工路径的加工方式。对优选的加工路径进行了试验验证,试验结果与仿真结果一致。结果表明:优化加工路径,增强散热措施能够抑制离子束加工的热效应,为离子束加工热效应抑制提供理论基础。 展开更多
关键词 空间反射镜 离子束加工 热效应 抑制
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主、三镜离子束一体化加工散热方法研究 被引量:1
9
作者 许艳军 赵宇宸 +1 位作者 沙巍 张帆 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2014年第4期28-31,共4页
离子束加工过程中,由于热能的传递会导致光学元件内部产生热应力和热变形,影响加工精度,严重时甚至会导致光学元件的损坏。本文提出了一种新型的主、三镜一体化离子束加工方式。在一体化加工的基础上利用UG/TMG有限元分析软件,对无散热... 离子束加工过程中,由于热能的传递会导致光学元件内部产生热应力和热变形,影响加工精度,严重时甚至会导致光学元件的损坏。本文提出了一种新型的主、三镜一体化离子束加工方式。在一体化加工的基础上利用UG/TMG有限元分析软件,对无散热和铜带散热两种加工状态下的光学元件表面温度场的分布进行了仿真分析。对比结果数据可以看出铜带散热可以使加工过程中最高温度降低10℃。最后通过实际加工过程,对热分析进行了验证。 展开更多
关键词 离子束 一体化加工 有限元 散热
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纳米多孔型碳基铂铜合金薄膜催化剂的结构及析氢性能表征 被引量:1
10
作者 赵之婧 杨滨 赵钰萌 《燃料化学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期483-488,共6页
采用离子束溅射(Ion Beam Sputtering,IBS)与Pt、Cu移动双靶技术,结合真空退火及酸蚀处理等后处理工艺,制备出PtCu/C薄膜催化剂。采用高分辨透射电镜(HRTEM&STEM)、原子力显微镜测试(AFM)、X射线衍射(XRD)测试薄膜催化剂的表面形貌... 采用离子束溅射(Ion Beam Sputtering,IBS)与Pt、Cu移动双靶技术,结合真空退火及酸蚀处理等后处理工艺,制备出PtCu/C薄膜催化剂。采用高分辨透射电镜(HRTEM&STEM)、原子力显微镜测试(AFM)、X射线衍射(XRD)测试薄膜催化剂的表面形貌及组织结构。通过循环伏安法(CV)和线性扫描伏安法(LSV)测试薄膜催化剂的电化学析氢性能。结果表明,经过真空退火(400℃保温1 h)及酸蚀处理(1 mol/L HNO3,50℃,120 h)后的薄膜催化剂出现类蜂窝状纳米多孔结构,其电化学析氢交换电流密度达到0.004 27 A/cm2,相较于未后处理样品的铂载量降低8.77%,催化性能提升20.62%。 展开更多
关键词 IBS PtCu/C 薄膜 后处理 催化活性
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基于离子束辅助激光的硬质合金表面微织构制备方法研究 被引量:9
11
作者 刘峰 郭旭红 +4 位作者 韩玉杰 王呈栋 刘同舜 董帮柱 张克栋 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期103-112,共10页
目的解决纳秒激光所制备的硬质合金表面微织构尺寸不可控且质量较差的问题。方法提出了离子束刻蚀与纳秒激光复合加工技术。首次采用离子束辅助激光加工在WC/Co硬质合金表面制备凹坑型微织构,研究了激光扫描速度、重复频率、脉冲宽度和... 目的解决纳秒激光所制备的硬质合金表面微织构尺寸不可控且质量较差的问题。方法提出了离子束刻蚀与纳秒激光复合加工技术。首次采用离子束辅助激光加工在WC/Co硬质合金表面制备凹坑型微织构,研究了激光扫描速度、重复频率、脉冲宽度和刻蚀时间4种不同加工参数对微凹坑表面形貌及结构尺寸的影响,并初步预测和建立了复合加工过程中微凹坑轮廓演变模型。结果凹坑型微织构边缘熔融物堆积量随激光重复频率的增加而增加,与扫描速度和脉冲宽度成反比,其中激光重复频率的影响最大。制备的微凹坑直径和深度可以通过改变激光重复频率和刻蚀时间来调节,使用纳秒激光以20、25、30、35 kHz重复频率加工的微凹坑经离子束刻蚀150 min后,边缘的不规则凸起高度分别由1.112、1.675、2.951、3.235μm降低至0.222、0.689、0.976、1.364μm,且刻蚀速率与激光重复频率成正比。离子束刻蚀150 min后,抛光硬质合金表面粗糙度由0.022μm增加至0.079μm,而激光织构化硬质合金表面粗糙度随刻蚀时间的增加均有所降低。结论建立了基于离子束辅助激光的表面微织构轮廓演变模型,实现了硬质合金表面微织构的高质量可控制备。 展开更多
关键词 离子束辅助激光加工 WC/Co硬质合金 凹坑型微织构 加工参数 表面形貌 轮廓演变模型
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聚焦离子束显微镜技术在锂离子电池领域的研究进展
12
作者 杨妮 苏岳锋 +3 位作者 王联 李宁 马亮 朱晨 《储能科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期1283-1294,共12页
电极材料作为锂离子电池的关键结构组成部分,其结构稳定性直接决定着锂离子电池的电化学性能。由于电极材料具有对空气、水分敏感,不耐电子束辐照等特性,且在充放电过程中,电极本身及其所处化学环境不断变化,表征其微观组织形貌和结构... 电极材料作为锂离子电池的关键结构组成部分,其结构稳定性直接决定着锂离子电池的电化学性能。由于电极材料具有对空气、水分敏感,不耐电子束辐照等特性,且在充放电过程中,电极本身及其所处化学环境不断变化,表征其微观组织形貌和结构具有挑战性。聚焦离子束-扫描电子显微镜作为重要的微纳米尺度精细加工设备,是制备透射样品的重要手段,已广泛应用于半导体、生物等领域。本文通过对近年来相关文献的探讨,综述了聚焦离子束基于锂离子电池领域的解决方案,着重阐述了聚焦离子束在三维重构、冷冻加工、构建单颗粒电池方面的最新进展,采用三维重构技术可以获取电极材料中的孔隙网络、多相结构、体积变化等三维特征信息,进行定量评估,建立微观结构模型对电池性能进行预测。基于冷冻加工技术,将液态电解质、Li金属等束流敏感材料冷冻,保持其原始形貌和化学性质,可以有效表征Li金属阳极以及固液界面的本征信息。构建单颗粒微型电池可以实现原位观察单粒子循环过程中的微观结构演化,避免黏结剂、导电添加物等对材料本征性能的影响,确定电极材料的内在特性。本文详细介绍了聚焦离子束在这3个方面的加工过程,并分析加工过程中存在的不足,提出目前面临的主要挑战。本文从锂离子电池材料特性和聚焦离子束实验方法出发,为该领域科研人员提供便利。 展开更多
关键词 锂离子电池 聚焦离子束 三维重构 冷冻加工技术
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纳米孔阵列加工技术研究进展 被引量:2
13
作者 张鹏程 温秋玲 +2 位作者 姜峰 沈少鑫 陆静 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期223-233,共11页
纳米孔阵列在生物检测、传感器、发光器件、光学调制和新能源等领域具有重要的应用。综述了目前几种主流的纳米孔阵列加工技术的基本原理、研究进展、加工效率、加工精度、加工质量、适用范围,并比较了这几种加工方法各自的优势及其局... 纳米孔阵列在生物检测、传感器、发光器件、光学调制和新能源等领域具有重要的应用。综述了目前几种主流的纳米孔阵列加工技术的基本原理、研究进展、加工效率、加工精度、加工质量、适用范围,并比较了这几种加工方法各自的优势及其局限性。最后指出了纳米孔阵列加工技术当前所面临的挑战和今后的发展方向,以期为大面积纳米孔阵列的高效率、高精度、高质量、低成本制造提供新思路。 展开更多
关键词 纳米孔阵列 阳极氧化法 激光制孔 聚焦离子束加工 电子束加工 图形复制技术
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基于聚焦离子束的微米铝粉界面结构制备和氧化特性研究
14
作者 王敬凯 陈捷 +3 位作者 刘帅 睢贺良 索志荣 银颖 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第10期904-913,共10页
为直观地研究金属铝核/氧化层的界面结构,以聚焦离子束微纳加工技术为基础,成功建立了2~8μm铝粉颗粒的切片方法。对于尺寸2~8μm的铝粉颗粒,可通过结合聚焦离子束(FIB)直接切割与剖面减薄获得切片。所制备的切片样品的界面结构清晰完整... 为直观地研究金属铝核/氧化层的界面结构,以聚焦离子束微纳加工技术为基础,成功建立了2~8μm铝粉颗粒的切片方法。对于尺寸2~8μm的铝粉颗粒,可通过结合聚焦离子束(FIB)直接切割与剖面减薄获得切片。所制备的切片样品的界面结构清晰完整,氧化层未被破坏;通过进一步联用扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜、能谱线扫描及元素面分布等多种表征手段,获得了不同老化条件下铝颗粒“核‐壳”界面的微观结构、结晶性和元素分布等信息。发现铝颗粒表面氧化层中Al和O元素的化学计量比偏离于标准Al2O3,呈现梯度分布特征;定量地获得了铝颗粒氧化层厚度与老化温度之间的正相关关系,未经热老化样品的氧化层厚度约5.4 nm,75℃和95℃老化样品的氧化层厚度分别增加至(34.1±2.1)nm和(51.3±2.2)nm。 展开更多
关键词 聚焦离子束(FIB) 微纳加工技术 高分辨透射电镜 梯度分布 氧化层厚度 微末铝粉
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