极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析 被引量：24

1

作者 卢增雄 金春水 +1 位作者 张立超 王丽萍 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2849-2854,共6页

相移点衍射干涉仪中参考球面波的质量取决于小孔的直径、圆度和厚度,其中小孔的直径是最主要的因素,在实际加工前,需给出小孔直径的要求。基于矢量衍射理论,分析计算了三维结构小孔的衍射。分析了在均匀的TE偏振光和TM偏振光入射情况下... 相移点衍射干涉仪中参考球面波的质量取决于小孔的直径、圆度和厚度,其中小孔的直径是最主要的因素,在实际加工前,需给出小孔直径的要求。基于矢量衍射理论,分析计算了三维结构小孔的衍射。分析了在均匀的TE偏振光和TM偏振光入射情况下,小孔直径大小对衍射波面质量的影响。入射光的线性偏振,给衍射波面中引入了像散和彗差。分析计算得出,为了获得数值孔径(NA)为0.1,相对于理想球面波的均方根(RMS)偏差不大于0.005λ(λ=13.55 nm),强度均匀性为0.4的参考球面波,对90 nm厚的小孔选择直径大小为70 nm较为适宜。 展开更多

关键词 光学检测 相移点衍射干涉仪 矢量衍射 三维小孔 波面误差 强度均匀性

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照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析 被引量：6

2

作者 卢增雄 金春水 马冬梅 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期74-80,共7页

点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论,分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的... 点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论,分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的影响,确定了PDI检测极紫外光刻(EUVL)元件和系统时的最佳直径大小。分析计算得出,当用PDI检测数值孔经(NA)为0.3的系统时,采用直径大小为800nm的小孔较为适宜,其衍射波前均方根(RMS)偏差为6.51×10-5λ,强度均匀性为0.812。当用PDI检测NA为0.3的元件时,采用直径大小为500nm的小孔较为适宜,其衍射波前的RMS非对称偏差为8.40×10-5λ,强度均匀性为0.664。 展开更多

关键词 光学设计 点衍射干涉仪 矢量衍射 照明物镜像差 波面偏差 强度均匀性

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基于匀光管的极紫外消相干和光强均匀化仿真研究

3

作者 李慧 谭芳蕊 +2 位作者 尹皓玉 马钺洋 吴晓斌 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期133-144,共12页

自由电子激光光源(free electron laser,FEL)可发出波长为13.5 nm的极紫外(extreme ultra-violet,EUV)辐射,在EUV光刻领域能够发挥重要作用.但FEL自身的高相干特性以及类高斯光强轮廓分布特征,会对成像带来不利影响,无法满足EUV光刻领... 自由电子激光光源(free electron laser,FEL)可发出波长为13.5 nm的极紫外(extreme ultra-violet,EUV)辐射,在EUV光刻领域能够发挥重要作用.但FEL自身的高相干特性以及类高斯光强轮廓分布特征,会对成像带来不利影响,无法满足EUV光刻领域成像应用需求.本文通过计算模拟的方法,设计了一种匹配FEL应用的、用于EUV波段去相干和光强均匀化的新型匀光管结构.模拟结果显示,针对波长为13.5 nm、直径200μm、发散度20 mrad的FEL-EUV高斯光束,采用新型匀光管结构,与常规匀光管结构相比,在同等长度和内径时,具有更显著的去相干能力和光场均匀化作用.当新型匀光管内径为1 mm、总长度不低于0.6 m、倾斜角度为10 mrad时,高相干光场完全被扰乱,实现低相干光输出.并可获得均匀照明光场,光强分布不均匀性数值从常规圆柱型匀光管的28.38降低至0.97.同时,相应能量传输效率为37.6%,最大传输效率达到44.58%.结果表明,新型匀光管结构能够满足EUV辐射去相干应用需求,同时可提高照明视场光强分布均匀性,在EUV光刻领域及其他成像应用具有很大应用前景. 展开更多

关键词 极紫外光源 自由电子激光 匀光管 相位 光强均匀性

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点衍射干涉系统光学结构参数优化研究 被引量：5

4

作者 邵卫红 杨甬英 +2 位作者 陈晓钰 刘东 沈亦兵 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期10-16,共7页

采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干... 采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干涉仪对球面镜的测量结果,得到测量面形误差的均方根之差为波长的1/1000,且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度,验证了光学结构参数选择的合理性。 展开更多

关键词 点衍射干涉检测 时域有限差分方法 衍射波前误差 衍射光强 光强均匀度

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光强均匀度对GaAs电池组光电转换效率的影响 被引量：5

5

作者 吴政南 谢江容 杨雁南 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第6期44-49,共6页

为了研究激光光强均匀度对GaAs电池转换效率的影响,基于单结GaAs电池的工作原理,利用等效电路对其在受到不同光强激光照射时的光电转换效率进行分析,并通过实验测量不同光强均匀度情况下GaAs串联电池组的光电转换效率。结果表明,光强均... 为了研究激光光强均匀度对GaAs电池转换效率的影响,基于单结GaAs电池的工作原理,利用等效电路对其在受到不同光强激光照射时的光电转换效率进行分析,并通过实验测量不同光强均匀度情况下GaAs串联电池组的光电转换效率。结果表明,光强均匀度对GaAs电池组的光电转换效率有很大影响。在极限条件下,由光强不匀均性引起的热斑效应还会造成电池片的损毁。 展开更多

关键词 光强均匀度 单结GaAs光电池 转换效率 等效电路

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正交偏振板对聚焦光斑偏振特性的影响 被引量：1

6

作者 李泽龙 钟哲强 张彬 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期134-138,共5页

在间接驱动的惯性约束聚变(ICF)驱动器中,为控制靶腔入口及其附近光场的偏振特性及辐照均匀性,采用二维光谱角色散(2D-SSD)、随机相位板(RPP)和正交偏振板(OPCP)联用的束匀滑方案,数值模拟和理论分析了OPCP对焦面及离焦面处光场偏振特... 在间接驱动的惯性约束聚变(ICF)驱动器中,为控制靶腔入口及其附近光场的偏振特性及辐照均匀性,采用二维光谱角色散(2D-SSD)、随机相位板(RPP)和正交偏振板(OPCP)联用的束匀滑方案,数值模拟和理论分析了OPCP对焦面及离焦面处光场偏振特性以及强度均匀性的影响,并讨论了正交偏振板单元数的选取问题。结果表明,不同单元数正交偏振板对焦面及其附近光场偏振特性和强度均匀性的影响程度不同,且光场偏振特性对离焦并不敏感。此外,离焦会使强度均匀性变差,适当增加正交偏振板单元数可以在一定程度上减弱这种影响。 展开更多

关键词 正交偏振板 焦面 离焦 偏振特性 强度均匀性

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太阳辐照试验用大型室内光照环境模拟系统光学设计 被引量：1

7

作者 许杰 蒋山平 +1 位作者 杨林华 李晖 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期756-760,共5页

为满足某深空探测器的室内太阳辐照试验需求,研制大型室内光照环境模拟系统。采用大功率金属卤化物灯、卤钨灯,配套高精度、小发散角投光灯具,在试验场内单面墙体前垂直布置,实现20m×20m超大辐照面积内与太阳光谱相匹配的均匀照明... 为满足某深空探测器的室内太阳辐照试验需求,研制大型室内光照环境模拟系统。采用大功率金属卤化物灯、卤钨灯,配套高精度、小发散角投光灯具,在试验场内单面墙体前垂直布置,实现20m×20m超大辐照面积内与太阳光谱相匹配的均匀照明。设计结果表明,辐照面内平均辐照度为400.4W/m2,600~700nm和965~995nm两个谱段内辐照度分别为48.5W/m2和5.1W/m2,光线入射角连续可调,在15°、30°和45°时,辐照不均匀性分别达到±12.4%、±8.1%和±14.9%,被照明物体阴影清晰。经过验收测试,光照系统各项实测指标与仿真计算结果吻合,完全满足设计要求,已成功应用于型号试验。 展开更多

关键词 光学设计 光照系统 辐照不均匀性 光谱匹配

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面曝光3D打印机光强均匀性校正技术研究

8

作者 荣左超 王金成 赖永辉 《现代机械》 2023年第6期32-35,共4页

为了提高面曝光3D打印机出光的光强均匀性,设计一套带有多个光功率传感器、可以沿着打印机成像幅面长度方向移动的工装。使用该工装采集成像幅面不同区域的光功率,建立光功率拟合曲面,并以测量的最小光功率为基准计算得到一张灰度掩膜... 为了提高面曝光3D打印机出光的光强均匀性,设计一套带有多个光功率传感器、可以沿着打印机成像幅面长度方向移动的工装。使用该工装采集成像幅面不同区域的光功率,建立光功率拟合曲面,并以测量的最小光功率为基准计算得到一张灰度掩膜图像。光功率较大区域对应的灰度掩膜图像像素的灰度值较小。打印机在后续投影图像时,使用该掩膜图像对投影图像进行灰度值修改操作,使得打印机投影成像图像的各个区域光强趋于一致。实验结果表明,提出的光强均匀性校正技术能够将打印机的光强均匀性(最小值/最大值)由81.3%提升至93.0%。 展开更多

关键词 面曝光 3D打印 光强均匀性 掩膜图像 DLP

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超磁致伸缩驱动微泵的磁场优化分析与实验验证 被引量：2

9

作者 钟长鸣 喻曹丰 +1 位作者 王传礼 冒鹏飞 《科学技术与工程》 北大核心 2017年第11期208-212,共5页

为使超磁致伸缩驱动微泵中超磁致伸缩材料(GMM)棒获得最佳的磁致伸缩性能,在ANSYS Maxwell软件中建立双线圈式驱动磁场、外线圈内永磁体式驱动磁场、内线圈外永磁体式驱动磁场模型,进行仿真分析,得到三种情况下微泵轴线上平均磁场强度... 为使超磁致伸缩驱动微泵中超磁致伸缩材料(GMM)棒获得最佳的磁致伸缩性能,在ANSYS Maxwell软件中建立双线圈式驱动磁场、外线圈内永磁体式驱动磁场、内线圈外永磁体式驱动磁场模型,进行仿真分析,得到三种情况下微泵轴线上平均磁场强度和磁场均匀度,并通过试验验证优选结构的磁场强度和均匀度。结果表明:外线圈长度L_(q1)=104 mm,厚度d_(q1)=12.5 mm;内线圈长度L_(q2)=104 mm,厚度d_(q2)=12.5 mm的双线圈式驱动磁场相对于外线圈内永磁体式和内线圈外永磁体式平均磁场强度提高了117%和8.6%,磁场均匀度下降4%。试验结果与仿真结果基本吻合,验证了仿真模型的正确性。 展开更多

关键词 超磁致伸缩微泵 超磁致伸缩材料( GMM) 棒 磁场强度 均匀度 实验验证

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一种新型的高性能近红外平行光管的研究

10

作者 叶海水 高志山 +1 位作者 巴荣声 罗婷 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1763-1767,共5页

采用长焦距单透镜方案,研制了一种新型的高性能近红外平行光管。以单模光纤导出的近红外激光(λ=1053nm)为光源,设计了满足光强均匀性要求的准直物镜焦距,使用新型的近红外消光涂料消除了杂散光的影响,并运用双平板剪切干涉技术完成了... 采用长焦距单透镜方案,研制了一种新型的高性能近红外平行光管。以单模光纤导出的近红外激光(λ=1053nm)为光源,设计了满足光强均匀性要求的准直物镜焦距,使用新型的近红外消光涂料消除了杂散光的影响,并运用双平板剪切干涉技术完成了平行光管的不可见光束调校。采用自制的1053nm近红外干涉系统测试了平行光管的光学质量,结果表明,准直后的出射光束波面峰谷值(PV)达到0.045λ,光强的均匀性达79.2%。 展开更多

关键词 激光技术 近红外平行光管 波前误差 光强均匀性 杂散光分析

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LightTools软件在均匀光分布的照明系统设计中的应用 被引量：8

11

作者 胡志威 彭润玲 +1 位作者 秦汉 林朋飞 《光学仪器》 2012年第4期49-53,共5页

以模拟单颗LED的均匀配光为例,介绍了LightTools软件在照明系统设计中的应用,以便更进一步地掌握和使用LightTools软件。文中借助LightTools软件,在单颗LED上建立反光杯模型,在反光杯出光口建立透镜阵列,并在目标照射面上建立目标区域... 以模拟单颗LED的均匀配光为例,介绍了LightTools软件在照明系统设计中的应用,以便更进一步地掌握和使用LightTools软件。文中借助LightTools软件,在单颗LED上建立反光杯模型,在反光杯出光口建立透镜阵列,并在目标照射面上建立目标区域的强度网格,通过LightTools软件的优化模块进行优化后,可在目标区域得到均匀的光强分布。利用LightTools软件进行辅助设计和优化模拟,具有很高的可信度,也可以大大缩短照明设计的周期。 展开更多

关键词 均匀光强 透镜阵列 照明设计 LightTools

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利用相位光阑实现高斯光束均匀化 被引量：1

12

作者 蒋志平 陆启生 刘泽金 《光学技术》 EI CAS CSCD 1995年第6期24-25,28,共3页

高斯光束均匀化是许多应用所要求的。本文提出只用一个简单的相位光阑实现高斯光束强度均匀化的新方法，给出了计算结果。这是一种简单、高效和均匀化程度好的高斯光束均匀化方法。

关键词 高斯光束 强度均匀化 相位光阑 激光光学

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用于钢管缺陷检测的电磁超声传感器优化设计研究 被引量：17

13

作者 朱红秀 吴淼 刘卓然 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1734-1737,共4页

电磁铁是电磁超声传感器的重要组成部分,它与钢管构成的磁场是电磁超声传感器产生超声波的基础。本文建立磁感应强度与分子振动幅值的关系函数,用均匀实验设计对电磁超声传感器进行优化设计,实现了电磁超声传感器的小型化。实验研究证明... 电磁铁是电磁超声传感器的重要组成部分,它与钢管构成的磁场是电磁超声传感器产生超声波的基础。本文建立磁感应强度与分子振动幅值的关系函数,用均匀实验设计对电磁超声传感器进行优化设计,实现了电磁超声传感器的小型化。实验研究证明,优化设计方法是正确的。 展开更多

关键词 电磁超声传感器 钢管 磁感应强度 均匀试验设计

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MRI评价药物投递性能方法研究 被引量：1

14

作者 李建奇 舒婕 +3 位作者 罗淑芳 余磊 杜冰 陈群 《波谱学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期420-425,共6页

采用MRI评价自制肝组织特异性非离子型高分子磁共振造影剂在小鼠体内药物投递效果.分别在注射造影剂后0.1h、6h、12h、24h及7天采集磁共振T1加权图像.所有扫描均在1.5T临床磁共振成像仪上完成,以固定体线圈为射频发射线圈,三英寸圆形表... 采用MRI评价自制肝组织特异性非离子型高分子磁共振造影剂在小鼠体内药物投递效果.分别在注射造影剂后0.1h、6h、12h、24h及7天采集磁共振T1加权图像.所有扫描均在1.5T临床磁共振成像仪上完成,以固定体线圈为射频发射线圈,三英寸圆形表面线圈为信号接收线圈.数据分析前采用线圈非均匀性校正和信号非稳定性校正进行预处理.实验结果显示,线圈空间敏感性校正使得小鼠组织图像信号强度空间更加均匀,稳定性校正后使得图像数据更加准确可靠,MRI是一种在体评价顺磁性标记高分子化合物药物投递效果的有效方法. 展开更多

关键词 磁共振成像 非均匀性校正 药物投递 造影剂

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基于MICO+FCM的MRI脑组织分割

15

作者 姜虎成 林科 《计算机仿真》 北大核心 2020年第3期238-242,共5页

针对MRI中存在的强度不均匀问题以及颅骨组织对于脑部组织提取所造成的影响,为了解决对特定脑部组织的研究问题,提出一个MICO+FCM脑组织分割算法。算法首先利用基于MICO的能量最小化算法对脑部MRI进行强度不均匀性估计和矫正,并且通过... 针对MRI中存在的强度不均匀问题以及颅骨组织对于脑部组织提取所造成的影响,为了解决对特定脑部组织的研究问题,提出一个MICO+FCM脑组织分割算法。算法首先利用基于MICO的能量最小化算法对脑部MRI进行强度不均匀性估计和矫正,并且通过该算法完成对图像的初步分割,然后通过区域生长算法对图像中的颅骨组织进行去除,再利用FCM算法完成脑部组织中脑白质和脑灰的分割提取。通过仿真表明,相对于传统FCM算法及其它图像分割算法,提出的MICO+FCM脑组织分割算法在分割准确率和分割效率上均有所提升。 展开更多

关键词 脑部图像分割 强度不均匀性 乘法内部组件

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激光光束的整形技术 被引量：24

16

作者 林勇 胡家升 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1-4,共4页

本文简要概括了激光光束整形技术的发展和研究现状。就几种典型的光束整形技术,如非球面透镜组整形、微透镜阵列整形、衍射光学元件整形、双折射透镜组整形、液晶空间光调制器和圆锥镜等整形技术作了分类评述和讨论。介绍了各种整形的... 本文简要概括了激光光束整形技术的发展和研究现状。就几种典型的光束整形技术,如非球面透镜组整形、微透镜阵列整形、衍射光学元件整形、双折射透镜组整形、液晶空间光调制器和圆锥镜等整形技术作了分类评述和讨论。介绍了各种整形的技术特点和实现方法,指出了这些整形技术尚待解决的一些问题,并展望了它们的可能应用领域和发展前景。 展开更多

关键词 光束整形 高斯光束 强度分布均匀化 长焦深

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一道经典高考试题的多解赏析及追问

17

作者 王胜华 陈向正 《物理通报》 2021年第2期68-69,73,共3页

已知匀强电场中某些点的电势求解场强的大小和方向,是高中物理教学中广泛出现的一类匀强电场典型问题.文章从多解赏析的角度,做了分析和比较研究.

关键词 匀强电场 电场强度 空间向量法

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