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题名光学三维扫描仪光强传递函数的测量和校正
被引量：12
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作者
张旭
邵双运
祝祥
宋志军
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机构
北京交通大学理学院
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第1期123-131,共9页
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基金
国家自然科学基金项目(No.51275035)~~
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文摘
由于数字光栅投影仪的光强传递函数对于正弦投影条纹的质量以及相位测量精度起着至关重要的作用,本文提出了一种校正光学三维扫描仪光强传递函数的新方法。首先,分析了由于投影仪非线性响应引起的光栅谐波的相位测量误差;然后,通过投影一组不同灰度级的图像,并利用光功率计测出数字投影仪投出图像的亮度。接着,通过分析得到数字投影仪的非线性响应特性曲线,再经过数据处理,即可获得投影仪的光强传递函数;最后,对光强传递函数进行反函数逆变换,得到一个校正后的非正弦光栅,利用投影仪对该光栅的投影即可在被测物体表面上获得一个正弦光栅。数字投影仪对标准平板的测量结果表明,校正前平均误差为0.71 mm,校正后为0.55 mm;对于标准量块的测量,校正前的平均误差为0.62 mm,校正后为0.15 mm。上述结果表明,本文提出的方法可以减小由于系统非线性响应引起的测量误差并提高测量精度。
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关键词
相位测量
光强传递函数
非线性
校正
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Keywords
phase measurement
intensity transform function
nonlinear
calibration
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分类号
TH744
[机械工程—光学工程]
TP391.4
[机械工程—仪器科学与技术]
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