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基于微波原理的高精度液位传感器
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作者 崔志刚 刘锦程 +2 位作者 鲁恩龙 赵绪新 张琦 《应用科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期262-268,共7页
本文提出并演示了一种基于微波谐振原理的带有电阻消能结构的高精度液位传感器,在0~50 mm的量程范围内,分辨率可达微米级。微波谐振原理传感器第一反射点是传感器自带的固定点,第二反射点为液面,即为可变点,两反射点之间形成谐振腔结构... 本文提出并演示了一种基于微波谐振原理的带有电阻消能结构的高精度液位传感器,在0~50 mm的量程范围内,分辨率可达微米级。微波谐振原理传感器第一反射点是传感器自带的固定点,第二反射点为液面,即为可变点,两反射点之间形成谐振腔结构。当液面的高度发生变化时,第二反射点发生移动,会导致两个反射点之间的距离发生变化,因此改变谐振腔长,通过测量谐振腔长的大小即可确定液位的变化量。同时,所加入的电阻在提高量程范围的基础上,还大幅提升了频谱质量和测量精度。实验结果表明,该液位传感器在0~50 mm的量程范围内具有1μm数量级的分辨率和-1.927 2 mm/mm(谐振波长变化/液位)的灵敏度。该新型微波液位传感器具有机械鲁棒性强、易于制造、成本低和高分辨率等优点,有望应用于水利水电的量水堰监测等领域。 展开更多
关键词 微波 谐振腔 内外导体 反射点 液位传感器
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一种基于微波法珀谐振腔的高精度位移传感器 被引量:1
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作者 赵刚 马畅 +3 位作者 张琦 陈静 向芸芸 王一燚 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第11期105-108,共4页
提出了一种基于微波谐振原理的高精度位移传感器。位移传感器由内导体、外导体、第一反射点、第二反射点和谐振腔构成。两个高反射点构成谐振腔,位移变化改变了谐振腔的腔长,进而改变了谐振波长和谐振频率,通过测量谐振波长大小即可确... 提出了一种基于微波谐振原理的高精度位移传感器。位移传感器由内导体、外导体、第一反射点、第二反射点和谐振腔构成。两个高反射点构成谐振腔,位移变化改变了谐振腔的腔长,进而改变了谐振波长和谐振频率,通过测量谐振波长大小即可确定位移。此外,弹簧和顶珠结构使得位移在缓慢变化过程中,传感器可达到全量程没有跳数。实验结果表明:在30 mm量程范围内,传感器分辨率1μm,谐振波长变化量与位移的比值为-1.9287。同时研究了位移传感器的温度影响。传感器具有机械鲁棒性强、低温度依赖性、低成本、高精度等优点。 展开更多
关键词 位移传感器 谐振腔 内外导体 反射点 谐振波长
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