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低温ITO薄膜制备及其在TOLED中的应用
被引量：
8
1
作者
林慧
蒋亚东
+3 位作者
于军胜
李军建
王军
邓建芳
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期1068-1070,共3页
通过在直流磁控溅射过程中加入微量水蒸气的方法,在低于60℃温度条件下制备了具有优良光电性能的透明导电ITO薄膜,并探讨了溅射功率、基板温度对ITO薄膜光电性能的影响。利用制得的ITO薄膜作电极,制作了结构为ITO/CuPc/NPB/Alq3/BCP/Mg...
通过在直流磁控溅射过程中加入微量水蒸气的方法,在低于60℃温度条件下制备了具有优良光电性能的透明导电ITO薄膜,并探讨了溅射功率、基板温度对ITO薄膜光电性能的影响。利用制得的ITO薄膜作电极,制作了结构为ITO/CuPc/NPB/Alq3/BCP/Mg∶Ag/ITO的透明有机电致发光器件(TOLEDs),结果表明,器件的平均透过率达到45%;在驱动电压15V的条件下,发光亮度达到了3000cd/m2。
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关键词
ito
薄膜
直流磁控溅射
透明有机电致发光器件(TOLEDs)
光电性能
原文传递
题名
低温ITO薄膜制备及其在TOLED中的应用
被引量：
8
1
作者
林慧
蒋亚东
于军胜
李军建
王军
邓建芳
机构
电子科技大学光电信息学院
出处
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期1068-1070,共3页
基金
电子科技大学“中青年学术带头人”项目的资助.
文摘
通过在直流磁控溅射过程中加入微量水蒸气的方法,在低于60℃温度条件下制备了具有优良光电性能的透明导电ITO薄膜,并探讨了溅射功率、基板温度对ITO薄膜光电性能的影响。利用制得的ITO薄膜作电极,制作了结构为ITO/CuPc/NPB/Alq3/BCP/Mg∶Ag/ITO的透明有机电致发光器件(TOLEDs),结果表明,器件的平均透过率达到45%;在驱动电压15V的条件下,发光亮度达到了3000cd/m2。
关键词
ito
薄膜
直流磁控溅射
透明有机电致发光器件(TOLEDs)
光电性能
Keywords
indiurrrtin
oxide
（
ito
）
thin
films
DC
magnetron
sputtering
transparent
organic
light
emitting
diods
（TOLEDs）
optical
and
electrical
performance
分类号
O484 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低温ITO薄膜制备及其在TOLED中的应用
林慧
蒋亚东
于军胜
李军建
王军
邓建芳
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
8
原文传递
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参考文献
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