期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到3篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
光电测量设备光学系统的像面照度均匀性检测 被引量：15
1
作者 沈湘衡 杨亮 +1 位作者 贺庚贤 王力 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2531-2536,共6页
提出了一种光电测量设备光学系统像面照度均匀性的检测方法。该方法首先对被检设备的CCD进行标定,然后用给出的均匀性检测系统对整机光学系统进行检测。该检测系统利用积分球产生均匀背景光信号,将光测设备置于积分球通光口处,利用计算... 提出了一种光电测量设备光学系统像面照度均匀性的检测方法。该方法首先对被检设备的CCD进行标定,然后用给出的均匀性检测系统对整机光学系统进行检测。该检测系统利用积分球产生均匀背景光信号,将光测设备置于积分球通光口处,利用计算机采集CCD图像。根据CCD的标定结果,用两点多段校正算法对采集到的图像进行校正,通过对校正后的图像进行分析,得到像面照度的不均匀度。此外,将图像分为多个区域,计算各个区域的灰度与像面中心区域灰度的比值,得出图像的灰度分布,实现了光电测量设备光学系统像面照度均匀性的室内检测。利用研制的光电测量设备光学系统像面照度均匀性检测系统对某型号光电测量设备进行了检测,得到了该设备光学系统像面照度不均匀度达到18.7%,不满足不均匀度≤10%的要求,应对该光测设备进行重新装调。在重新装调后对该设备进行复检,得到重新装调后的不均匀度为6.7%,像面照度均匀性得到了提高,验证了该方法的有效性。 展开更多
关键词 像面照度不均匀度 光学镜头 CCD校正 积分球 光电测量设备
下载PDF
多光谱图像获取中光照不均匀性的非线性校正算法 被引量：4
2
作者 刘振 《中国印刷与包装研究》 CAS 2013年第1期23-27,32,共6页
为降低多光谱图像数据获取过程中光照不均匀性造成的影响,本研究对多光谱成像系统中获取设备——多光谱相机的CCD响应特性进行了分析,建立非线性光照不均匀性校正算法。针对大尺度物体表面光照特性,通过Cheby-shev多项式对光照分布曲面... 为降低多光谱图像数据获取过程中光照不均匀性造成的影响,本研究对多光谱成像系统中获取设备——多光谱相机的CCD响应特性进行了分析,建立非线性光照不均匀性校正算法。针对大尺度物体表面光照特性,通过Cheby-shev多项式对光照分布曲面进行非线性拟合,进而对光照不均匀性造成的CCD响应误差进行了校正。实验结果表明:本研究提出的非线性校正方法可以很好地降低光照不均匀性的影响,在目前的校正方法中,效果最理想。 展开更多
关键词 多光谱图像 获取 非线性校正 光照不均匀性 CHEBYSHEV多项式
下载PDF
多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计
3
作者 赵可为 谭艾英 +4 位作者 尹韶云 蔡文涛 杨若夫 陈建军 佟首峰 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第6期218-223,共6页
提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法,该方法利用紫外增强PIN光电二极管,同时快速测量曝光机照面多点的光强,通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进,同时使用复合放大的方法,大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性... 提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法,该方法利用紫外增强PIN光电二极管,同时快速测量曝光机照面多点的光强,通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进,同时使用复合放大的方法,大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性,使每一测量单点测量重复性控制在0.02mW/cm2。利用紫外增强PIN光电二极管光刻机光源进行实验,结果表明,多点测量一致性小于0.1mW/cm2,且检测的照度均匀性符合要求。 展开更多
关键词 测量 照度均匀度 多点测量 光刻技术 光刻机 实时检测
原文传递
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部