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题名一种新型微机电系统扫描镜的谐振频率研究
被引量：8
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作者
燕斌
苑伟政
乔大勇
刘耀波
吴蒙
李昭
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机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期191-197,共7页
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基金
国家自然科学基金(50805123)
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0075)资助课题
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文摘
在微光机电系统(MOEMS)技术的基础上,采用绝缘体上硅(SOI)的体硅加工工艺,设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统(MEMS)扫描镜。介绍了其基本工作原理及结构设计特点;理论计算了圆形和方形两种结构的尺寸扫描镜的谐振频率,并利用ANSYS有限元软件进行仿真;设计并搭建了一个简单易操作的光学测试系统,对研制出的MEMS扫描镜(7.1mm×5.2mm)进行扫描角度测试。利用该器件参数激励的迟滞频率特性,对其谐振频率进行实际测量。同时,为验证其所测谐振频率的准确性,利用激光多普勒测振(LDV)系统对其进行测试。在工作电压10V,方形和圆形扫描镜的驱动频率分别为556Hz和596Hz时,机械扫描角度分别可达到约6°和5°,谐振频率分别约为300Hz和277Hz。并分析误差产生的原因及其结果。
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关键词
光学器件
微光学器件
扫描镜
绝缘体上硅
谐振频率
迟滞频率响应
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Keywords
optical devices
micro-optical devices
micro scanning mirror
silicon-on-insulator
resonant frequency
hysteretic frequency responses
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分类号
TN303
[电子电信—物理电子学]
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