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压电陶瓷驱动器的迟滞非线性规律 被引量：11
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作者 范伟 傅雨晨 于欣妍 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期1793-1799,共7页
探究压电陶瓷的迟滞非线性规律,为进一步修正迟滞非线性提供参考依据和理论基础。通过实验测量得到迟滞模型并对实验数据分析,拟合出上升轨迹的修正直线,求出其在相同位移下与上升、下降轨迹的电压差作为补偿电压,发现两条轨迹采样点上... 探究压电陶瓷的迟滞非线性规律,为进一步修正迟滞非线性提供参考依据和理论基础。通过实验测量得到迟滞模型并对实验数据分析,拟合出上升轨迹的修正直线,求出其在相同位移下与上升、下降轨迹的电压差作为补偿电压,发现两条轨迹采样点上的输入电压与补偿电压满足近似多项式关系;分别选定5,10和15 V不同步长进行驱动实验。实验结果:上升轨迹(下降轨迹)多项式参数R-square=0.999 2(0.999 9),RMSE=0.083(0.080 86);R-square=0.999 7(0.999 9),RMSE=0.057 39(0.094 99);R-square=0.995 2(0.999 8),RMSE=0.291 6(0.165 5)。实验结论:两条轨迹的R-square近似为1,RMSE较接近0,重复性误差在1.13%~2.63%,输入电压与补偿电压满足近似多项式关系,拟合程度和匹配性较高,且重复性较好,具有可预测性,从而为进一步修正压电陶瓷驱动器的迟滞非线性提供了参考依据和理论基础。 展开更多
关键词 压电陶瓷驱动器 迟滞非线性规律 多项式关系 重复性 可预测
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