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适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法 被引量:5
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作者 姚东 李钰鹏 +3 位作者 赵亚 王智 沙巍 王永宪 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期1945-1953,共9页
空间干涉测量系统是空间引力波探测的重要组成部分。本文介绍了一种全玻璃材料的差频激光干涉仪的组成结构和工作原理,对差频干涉仪中双相干光束的匹配对准难题,介绍了一种适用于光黏装配工艺的角度公差和位置公差保证方法。这种方法采... 空间干涉测量系统是空间引力波探测的重要组成部分。本文介绍了一种全玻璃材料的差频激光干涉仪的组成结构和工作原理,对差频干涉仪中双相干光束的匹配对准难题,介绍了一种适用于光黏装配工艺的角度公差和位置公差保证方法。这种方法采用了监测系统和微量调整机构相结合的方式,首先,监控系统可以实现光线相对位置的实时测量,给出被调整光线的调整方向和调整量;然后,微量调整机构可以在平面移动和轴向转动3个自由度上,对目标器件实现微米量级的微量调整;监控过程和调整过程反复迭代,可实现对光学元器件的高精度位置控制和角度控制。实验结果表明,在调整方向上角度公差优于80μrad,位置公差优于85μm。本方案基本满足差频激光干涉仪的装配精度需求,为后续更高精度的装配奠定基础。 展开更多
关键词 激光干涉仪 氢氧离子催化黏接 高精度测量 高精度装配 空间太极计划
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基于氢氧催化键合的石英光学真空腔体低温封装工艺研究
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作者 祝东方 林文豫 +1 位作者 王宗林 王旭迪 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期848-855,共8页
文章提出了一种基于氢氧催化键合技术制作小型光学石英真空腔体的低温封装工艺。通过预实验探讨了键合溶液、固化温度、稳定时间等因素对石英玻璃键合的影响,优选出一套当前实验条件下的最佳键合方案。研究表明,两种实验浓度下的Na_(2)S... 文章提出了一种基于氢氧催化键合技术制作小型光学石英真空腔体的低温封装工艺。通过预实验探讨了键合溶液、固化温度、稳定时间等因素对石英玻璃键合的影响,优选出一套当前实验条件下的最佳键合方案。研究表明,两种实验浓度下的Na_(2)SiO_(3)溶液键合强度普遍高于NaOH;1:6的Na_(2)SiO_(3)溶液键合在80℃下加速固化能够实现不低于12 MPa的抗拉强度,并将固化时间缩短至1天;Na_(2)SiO_(3)溶液键合的稳定时间比NaOH溶液更短,大概只有30 s但这也足够完成某些应用的对准操作。基于优化方案设计并制作出一种双面通光石英光学真空腔体,测试表明其整体漏率优于5.66×10^(−12)Pa·m^(3)·s^(−1)并且热稳定性良好。本研究可以为小型化的石英光学真空腔体的制造提供了一种低成本、工艺简单且性能优越的可行方案。 展开更多
关键词 光学真空腔体 氢氧催化键合 石英玻璃
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新一代单体月球激光角反射器方案设计 被引量:1
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作者 何芸 胡泽主 +2 位作者 黎明 刘祺 叶贤基 《深空探测学报(中英文)》 CSCD 北大核心 2021年第4期416-422,共7页
设计了用于新一代月球激光测距(Lunar Laser Ranging,LLR)的单体大孔径激光角反射器,在分析当前国内外研究进展及发展趋势基础上,介绍了所设计的单体大孔径激光角反射器的整体设计方案,具体包括:角反射器的设计和月面安置方案、地面测... 设计了用于新一代月球激光测距(Lunar Laser Ranging,LLR)的单体大孔径激光角反射器,在分析当前国内外研究进展及发展趋势基础上,介绍了所设计的单体大孔径激光角反射器的整体设计方案,具体包括:角反射器的设计和月面安置方案、地面测试方案。验证结果表明:所设计的单体170 mm孔径空心角反射器,在532 nm波长的反射光强可达到理想“阿波罗11”(Apollo 11)角反射器阵列的68.5%。该研究预期可将月球激光测距的单个接收光子对应的内符合精度提升至毫米量级。 展开更多
关键词 月球激光测距 激光角反射器 碱性催化粘结 环境试验
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