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题名靶材用氧化铌粉体的制备及表征
被引量：3
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作者
高远
彭能
金明亚
唐仁衡
肖世文
王亮亮
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机构
广东省稀有金属研究所广东省稀土开发及应用重点实验室
广州市尤特新材料有限公司
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出处
《粉末冶金工业》
CAS
北大核心
2019年第2期16-20,共5页
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基金
广州市科技创新委员会产学研协同创新重大专项(201604016099)
广东省省级科技计划项目(2017A010103012)
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文摘
采用酸洗除杂、氢氟酸溶解、氨水沉淀、水洗过滤、喷雾干燥,然后在氢气气氛中高温煅烧的还原脱氧工艺,制备出可用于制备靶材的铌氧化物粉体,通过差热分析、XRD、TEM、粒度分布测试等方法对产物脱水、脱氧情况,物相、颗粒大小及微观形貌进行研究,同时对粉体纯度、振实密度及氧含量进行测试。结果表明:产品颗粒呈球形,流动性好,纯度达到99.96%(质量分数)以上,振实密度1.88 g/cm^3,失氧量为粉末中总氧含量(质量)的3.3%,达到靶材原料质量要求,证明了该工艺的可行性。
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关键词
高纯氧化铌
氢化脱氧
振实密度
靶材
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Keywords
high purity niobium oxide
hydrogenation dehydration
tap density
target material
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分类号
TB383.3
[一般工业技术—材料科学与工程]
TQ135.12
[化学工程—无机化工]
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