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温差式热膜空气质量流量传感器 被引量:20
1
作者 吴克刚 《长安大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期86-88,共3页
论述了热膜式空气质量流量计的基本工作原理 ,通过对传感器单元的传热分析设计了一种温差式热膜空气质量流量传感器 ,试验结果表明 。
关键词 温差式热膜空气质量流量传感器 汽车 传热 工作原理 发动机 进气空气流量
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带分流叶片离心叶轮非定常流场的实验研究 被引量:13
2
作者 姜华 宫武旗 +1 位作者 张炜 席光 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期14-18,共5页
使用X热膜传感器,测量了带有分流叶片离心压缩机叶轮出口和扩压器进口3个叶高位置的流动,分析了沿叶高方向主叶片和分流叶片对非定常流动的影响.结果表明:该叶轮中间叶高处主叶片和分流叶片对流动影响的差别最大,叶轮出口主叶片尾迹区... 使用X热膜传感器,测量了带有分流叶片离心压缩机叶轮出口和扩压器进口3个叶高位置的流动,分析了沿叶高方向主叶片和分流叶片对非定常流动的影响.结果表明:该叶轮中间叶高处主叶片和分流叶片对流动影响的差别最大,叶轮出口主叶片尾迹区比分流叶片尾迹区的径向速度减小62%,切向速度增大2%,绝对气流角减小8°左右;扩压器进口两区域流动差别有所减弱,但仍较明显.各叶高处非定常流动以主叶片或分流叶片一次叶片通过频率为基频,基频和其二阶谐波的影响均较大,高于二阶以上谐波的影响很小.主叶片和分流叶片流动区域雷诺应力差别较大,在叶轮出口中间叶高处最大雷诺应力相差超过68%.通过实验发现,气流角沿叶高变化超过10°,表明二维叶片扩压器冲击分离等损失可能会较大,有必要设计三维叶片扩压器. 展开更多
关键词 离心压缩机 非定常 径向间隙 热膜
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微型热式液体流量传感器的设计 被引量:7
3
作者 段萱苡 谢海波 +1 位作者 傅新 杨华勇 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第8期83-85,共3页
设计了新型的微型热式液体流量传感器。它将测热式工作原理和热膜式工作原理结合起来,在精确测量小流量的同时,兼具较大的动态测量范围。该传感器利用MEMS工艺,在两层聚对二甲苯横膈膜中制作出极细的铂电阻丝,通过测量铂电阻丝随温度的... 设计了新型的微型热式液体流量传感器。它将测热式工作原理和热膜式工作原理结合起来,在精确测量小流量的同时,兼具较大的动态测量范围。该传感器利用MEMS工艺,在两层聚对二甲苯横膈膜中制作出极细的铂电阻丝,通过测量铂电阻丝随温度的变化来获得流量的信息。阐述了传感器的测量原理和微加工工艺流程,并对工作模式进行了流场温度场仿真,对该传感器的进一步优化提供了参考。 展开更多
关键词 微型 液体 流量传感器 热膜式 测热式
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MEMS热膜式微型流量传感器的研制 被引量:9
4
作者 徐永青 吕树海 +1 位作者 徐爱东 徐淑静 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第4期228-231,共4页
针对微型流量传感器的应用问题,提出了一种可以准确测量各种气体微型流量、基于MEMS工艺的新型MEMS热膜式传感器。基于热量传递原理的热膜式流量传感器由一个加热器和一对微型温度传感器组成,只要测得两个温度传感器的温度差值,就能得... 针对微型流量传感器的应用问题,提出了一种可以准确测量各种气体微型流量、基于MEMS工艺的新型MEMS热膜式传感器。基于热量传递原理的热膜式流量传感器由一个加热器和一对微型温度传感器组成,只要测得两个温度传感器的温度差值,就能得到气体的流量。分析了该器件的原理并进行了ANSYS仿真,设计了器件的结构,进行MEMS工艺开发,制作出可实用化的产品。测试表明,该器件的测量量程达到0.5~200m3/h,精度1.5级,响应时间20ms,量程比1:400,显示该器件测量流量的功能达到了实用化水平。 展开更多
关键词 MEMS 流量传感器 热膜式 加热器 温度传感器
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基于MEMS工艺的热膜式流量传感器芯片的研制 被引量:8
5
作者 李艳杰 齐虹 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第5期82-84,共3页
基于托马斯(Thomas)流量计原理,研制了热膜式流量传感器芯片。该敏感元件采用MEMS工艺,制作出了3μm厚度的带固支边的敏感膜结构,在膜上设计有一只加热电阻器和一组微型热敏电阻器。通过工艺研究,解决了膜上Pt电阻与基底的热匹配问题,... 基于托马斯(Thomas)流量计原理,研制了热膜式流量传感器芯片。该敏感元件采用MEMS工艺,制作出了3μm厚度的带固支边的敏感膜结构,在膜上设计有一只加热电阻器和一组微型热敏电阻器。通过工艺研究,解决了膜上Pt电阻与基底的热匹配问题,并将该芯片应用于汽车进气流量传感器研制中。测试结果表明:使用该芯片流量传感器的测量准确度为1%FS,满足发动机系统使用要求。 展开更多
关键词 芯片 热膜 流量传感器 微机电系统
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汽车用空气质量流量计的设计 被引量:5
6
作者 童建平 陈慧萍 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第12期80-81,84,共3页
汽车功率、燃油消耗和排放取决于空燃比,电子燃油喷射系统使得空燃比调整到最佳状态。进入汽缸的空气质量必须准确测量,这样可以提供准确的燃油量。通过讨论热膜空气质量流量计的基本原理与热膜传感器的传热过程,设计了一种热膜空气质... 汽车功率、燃油消耗和排放取决于空燃比,电子燃油喷射系统使得空燃比调整到最佳状态。进入汽缸的空气质量必须准确测量,这样可以提供准确的燃油量。通过讨论热膜空气质量流量计的基本原理与热膜传感器的传热过程,设计了一种热膜空气质量流量计的电路,电路中通过调整起始电位与非线性曲线使得适应不同发动机的最佳功率曲线。根据汽车这一特定的环境,在设计热膜式空气质量流量计时采用了汽车级集成电路,贴片电阻防冲击保护。实验测试结果表明:精度与重复性都满足要求。 展开更多
关键词 空燃比 质量流量计 燃油喷射 热膜
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基于恒温差的热膜风速测量方法研究 被引量:5
7
作者 陈晨 丁喜波 +1 位作者 董珊珊 高双 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第2期20-22,27,共4页
风速测量是流体流速测量领域中的重要组成部分,对于保证产品质量、提高生产效率以及节约能源都具有非常重要的意义。针对热扩散原理进行了深入的研究,确定了在恒温差状态下风速和加热功率的关系,通过恒温差控制电路改变供电电流补充气... 风速测量是流体流速测量领域中的重要组成部分,对于保证产品质量、提高生产效率以及节约能源都具有非常重要的意义。针对热扩散原理进行了深入的研究,确定了在恒温差状态下风速和加热功率的关系,通过恒温差控制电路改变供电电流补充气流带走的热量,该测量方法消除了环境温度变化的影响。实测结果表明:本恒温差风速测量方法有效地增加了测量范围、提高了测量精度,为风速测量提供了新方法。 展开更多
关键词 风速 热膜 热传导 恒温差
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An improved wall shear stress measurement technique using sandwiched hot-film sensors 被引量:3
8
作者 Xuanhe Liu Zhuoyue Li Nan Gao 《Theoretical & Applied Mechanics Letters》 CAS CSCD 2018年第2期137-141,共5页
In this letter we present a novel wall shear stress measurement technique for a turbulent boundary layer using sandwiched hot-film sensors. Under certain conditions, satisfactory results can be obtained using only the... In this letter we present a novel wall shear stress measurement technique for a turbulent boundary layer using sandwiched hot-film sensors. Under certain conditions, satisfactory results can be obtained using only the heat generated by one of the hot-film and a calibration of the sensors is not required. Two thin Nickel films with the same size were used in this study, separated by an electrical insulating layer. The upper film served as a sensor and the bottom one served as a guard heater. The two Nickel films were operated at a same temperature, so that the Joule heat flux generated by the sensor film transferred to the air with a minimum loss or gain depending on the uncertainties in the film temperature measurements. Analytical solution of the shear stress based on the aforementioned heat flux was obtained. The preliminary results were promising and the estimated wall shear stresses agreed reasonablywell with the directly measured values (with errors less than 20%) in a fully developed turbulent pipe flow. The proposed technique can be improved to further increase precisions. 展开更多
关键词 Wall shear stress Skin friction hot-film MEMS Calibration-free
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基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计 被引量:4
9
作者 蔡春丽 刘志远 +2 位作者 王惠玲 于海超 王洪岩 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第6期104-106,109,共4页
设计了一种新的基于恒温法的热膜式气体流量传感器,介绍了该传感器的建模过程及其敏感元件的结构设计,并给出了流量传感器的详细设计方案。仿真和实测结果表明:该流量传感器既能对小流量信号敏感又能准确地反映大流量的输出,功耗低于0.... 设计了一种新的基于恒温法的热膜式气体流量传感器,介绍了该传感器的建模过程及其敏感元件的结构设计,并给出了流量传感器的详细设计方案。仿真和实测结果表明:该流量传感器既能对小流量信号敏感又能准确地反映大流量的输出,功耗低于0.1W,响应时间小于50m s,精度可达到0.6%FS,能够满足低功耗、快响应、高精度等性能技术指标的要求。 展开更多
关键词 传感器 气体流量 热膜
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航空发动机进口支板外部热气膜对水滴撞击特性的影响 被引量:4
10
作者 柯鹏 张韵 +1 位作者 于广锋 杨春信 《航空动力学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期621-629,共9页
设计了4种不同气膜缝角度的防护结构,发展并验证了基于欧拉法框架的水滴撞击算法,针对直径为20μm的过冷小水滴,定量分析了气膜缝角度和吹风比对支板壁面水滴撞击特性的影响规律.研究结果表明,外部热气膜射流对水滴有明显吹袭作用,导致... 设计了4种不同气膜缝角度的防护结构,发展并验证了基于欧拉法框架的水滴撞击算法,针对直径为20μm的过冷小水滴,定量分析了气膜缝角度和吹风比对支板壁面水滴撞击特性的影响规律.研究结果表明,外部热气膜射流对水滴有明显吹袭作用,导致壁面平均局部水收集系数和撞击极限减小,而且气膜缝开孔位置越靠近支板前缘,吹袭水滴效果越明显.4种结构的平均局部水收集系数与无气膜缝结构相比分别下降了82%,8%,1%和0.5%.此外,吹风比增大会导致前缘最大局部水收集系数和撞击极限的减小变明显,尤其是气膜缝角度为5°结构的水滴撞击特性受吹风比影响最显著.前缘区域局部水收集系数呈现了相似的分布规律;支板后部区域,当吹风比增大到一定程度时,水滴被完全吹除. 展开更多
关键词 航空发动机进口支板 热气膜 防冰 水滴撞击 欧拉法
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MEMS热膜式微流量传感器 被引量:3
11
作者 侍艳华 何秀丽 +2 位作者 高晓光 贾建 李建平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第7期434-441,共8页
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响。当热敏电阻间距为200μm、工作温度为150℃以及气体流量在-5~5 mL/min时... 针对气体红外吸收的气动探测应用,设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响。当热敏电阻间距为200μm、工作温度为150℃以及气体流量在-5~5 mL/min时,微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系,灵敏度约为299 mV/(mL/min)。微流量传感器气体流量理论检测下限约为1.7μL/min,在气体流量为6μL/min时,响应时间(90%)和恢复时间(90%)分别为16和34 ms。研究了微流量传感器温度补偿方法,消除了环境温度对灵敏度的影响。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 微流量传感器 热膜式 温度补偿 Pt薄膜电阻
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Comparison between Doppler echocardiography and hot-film anemometry in measuring the turbulent shear stress downstream of artificial mitral valves: a methodological study 被引量:2
12
作者 SUN Yi LI Rui-jie +6 位作者 LI Gan-niu LI Bin WANG Yu MA Run-wei YANG Bai-hui LU Sen-lin ZHANG Gui-min 《Chinese Medical Journal》 SCIE CAS CSCD 2013年第11期2174-2178,共5页
Background Turbulent shear stress (TSS) plays an important role in the research of fluid dynamics of heart valves. This study aimed to perform a quantitative study of TSS downstream of porcine artificial mitral valv... Background Turbulent shear stress (TSS) plays an important role in the research of fluid dynamics of heart valves. This study aimed to perform a quantitative study of TSS downstream of porcine artificial mitral valves in order to verify the correlation of hot-film anemometry (HFA) and Doppler echocardiography combined with computer-aided image analysis for the detection of TSS. Methods A porcine model of mitral valve replacement was established. HFA and Doppler ultrasound techniques were used to directly and indirectly measure TSS-relevant parameters of the artificial mitral valve following different mitral valve replacements: different approaches were used to reserve the subvalvular apparatus of the mitral valve. A correlation analysis was then carried out. Results There was a significant correlation between the HFA and Doppler ultrasound combined with computer-aided image analysis of the TSS at the same time and at the same site. No significant difference was found in the TSS measured by the two methods. Conclusions Compared with HFA, Doppler echocardiography combined with computer-aided image analysis is a safe, non-invasive, and real-time method that enables accurate and quantitative detection of TSS downstream in vivo, objectively reflecting the flow field downstream of the artificial mitral valve. Doppler ultrasound combined with computer- aided image analysis can be employed for quantitatively evaluating the downstream hemodynamic performance of the mitral valve. 展开更多
关键词 PORCINE mitral valve replacement turbulent shear stress Doppler echocardiography hot-film anemometry
原文传递
Experimental Research on Boundary Shear Stress in Typical Meandering Channel 被引量:1
13
作者 CHEN Kai-hua XIA Yun-feng +2 位作者 ZHANG Shi-zhao WEN Yun-cheng XU Hua 《China Ocean Engineering》 SCIE EI CSCD 2018年第3期365-373,共9页
A novel instrument named Micro-Electro-Mechanical System(MEMS) flexible hot-film shear stress sensor was used to study the boundary shear stress distribution in the generalized natural meandering open channel, and the... A novel instrument named Micro-Electro-Mechanical System(MEMS) flexible hot-film shear stress sensor was used to study the boundary shear stress distribution in the generalized natural meandering open channel, and the mean sidewall shear stress distribution along the meandering channel, and the lateral boundary shear stress distribution in the typical cross-section of the meandering channel was analysed. Based on the measurement of the boundary shear stress, a semi-empirical semi-theoretical computing approach of the boundary shear stress was derived including the effects of the secondary flow, sidewall roughness factor, eddy viscosity and the additional Reynolds stress, and more importantly, for the first time, it combined the effects of the cross-section central angle and the Reynolds number into the expressions. Afterwards, a comparison between the previous research and this study was developed. Following the result, we found that the semi-empirical semi-theoretical boundary shear stress distribution algorithm can predict the boundary shear stress distribution precisely. Finally, a single factor analysis was conducted on the relationship between the average sidewall shear stress on the convex and concave bank and the flow rate, water depth, slope ratio,or the cross-section central angle of the open channel bend. The functional relationship with each of the above factors was established, and then the distance from the location of the extreme sidewall shear stress to the bottom of the open channel was deduced based on the statistical theory. 展开更多
关键词 boundary shear stress flume physical model river bend MEMS flexible hot-film shear stress sensor
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Turbulent boundary layer control with a spanwise array of DBD plasma actuators 被引量:2
14
作者 Yueqiang LI Chao GAO +4 位作者 Bin WU Yushuai WANG Haibo ZHENG Ming XUE Yuling WANG 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第2期30-37,共8页
The turbulent boundary layer control on NACA 0012 airfoil with Mach number ranging from 0.3 to 0.5 by a spanwise array of dielectric barrier discharge(DBD)plasma actuators by hot-film sensor technology is investigated... The turbulent boundary layer control on NACA 0012 airfoil with Mach number ranging from 0.3 to 0.5 by a spanwise array of dielectric barrier discharge(DBD)plasma actuators by hot-film sensor technology is investigated.Due to temperature change mainly caused through heat produced along with plasma will lead to measurement error of shear stress measured by hot-film sensor,the correction method that takes account of the change measured by another sensor is used and works well.In order to achieve the value of shear stress change,we combine computational fluid dynamics computation with experiment to calibrate the hot-film sensor.To test the stability of the hot-film sensor,seven repeated measurements of shear stress at Ma=0.3 are conducted and show that confidence interval of hot-film sensor measurement is from−0.18 to 0.18 Pa and the root mean square is 0.11 Pa giving a relative error 0.5%over all Mach numbers in this experiment.The research on the turbulent boundary layer control with DBD plasma actuators demonstrates that the control makes shear stress increase by about 6%over the three Mach numbers,which is thought to be reliable through comparing it with the relative error 0.5%,and the value is hardly affected by burst frequency and excitation voltage. 展开更多
关键词 turbulent boundary layer control DBD plasma actuators hot-film sensor
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基于PIC单片机的热膜式空气流量计设计 被引量:2
15
作者 黄修铜 王婷旺 +1 位作者 杨文涛 王鲜 《传感器世界》 2013年第11期15-19,共5页
介绍了一种基于PIC单片机的数字输出型热膜空气流量计,用于汽车进气流量的检测。首次提出以PIC单片机为流量计控制核心,充分利用单片机内部的ADC、CCP、PSMC等硬件资源,实现了热膜传感单元输出模拟信号的采集、模数转化,以及流量信号、... 介绍了一种基于PIC单片机的数字输出型热膜空气流量计,用于汽车进气流量的检测。首次提出以PIC单片机为流量计控制核心,充分利用单片机内部的ADC、CCP、PSMC等硬件资源,实现了热膜传感单元输出模拟信号的采集、模数转化,以及流量信号、温度信号的输出控制等功能。针对热膜传感单元流量信号存在对环境温度交叉敏感等问题,提出一种基于二元回归分析法的热膜式流量计的校准方法,并详细介绍了流量计的自校准过程。 展开更多
关键词 PIC 空气流量计 热膜式 校准
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MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测 被引量:2
16
作者 孙海浪 田于逵 +2 位作者 金磊 张璇 谢华 《实验流体力学》 CSCD 北大核心 2017年第2期39-43,共5页
MEMS热膜式壁面剪应力传感器的输出信号是带有基础电压的微弱电压信号,无法通过放大器直接放大的方法实现高精度测量。文章提出在输出信号放大前增加信号平衡环节,在保留有效信号的前提下减小基础电压,再通过放大的方法实现其高精度测量... MEMS热膜式壁面剪应力传感器的输出信号是带有基础电压的微弱电压信号,无法通过放大器直接放大的方法实现高精度测量。文章提出在输出信号放大前增加信号平衡环节,在保留有效信号的前提下减小基础电压,再通过放大的方法实现其高精度测量,有效解决了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的难题。文章介绍了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的技术方案、关键技术、测试检验及试验应用实例。 展开更多
关键词 微机电系统 热膜 壁面剪应力 传感器 微弱信号检测
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基于STM8的热膜式流量计信号处理和自动标定系统
17
作者 刘伟 王德福 《计算机与网络》 2014年第6期66-69,共4页
热膜式空气流量计具有尺寸小、灵敏性好、可靠性高、响应时间短等优点。它采用热膜传感单元与外围电路协同工作的模式。采用stm8l151单片机为核心的数字化电路能够很好的控制热膜上加热器的工作温度,将热膜产生的信号进行滤波和放大。... 热膜式空气流量计具有尺寸小、灵敏性好、可靠性高、响应时间短等优点。它采用热膜传感单元与外围电路协同工作的模式。采用stm8l151单片机为核心的数字化电路能够很好的控制热膜上加热器的工作温度,将热膜产生的信号进行滤波和放大。配合采用LabVIEW编制的上位机控制界面,实现流量计的快速自动标定。 展开更多
关键词 热膜 流量计 STM8 人机界面 STM8
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基于复合热膜技术的低风速及湍流测量
18
作者 宋巍巍 韩杰 +1 位作者 陈天毅 周平 《实验流体力学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期70-74,共5页
针对复合热膜应用于低风速和湍流强度测量方法进行了研究。风洞在进行低风速测量时普遍存在输出灵敏度不高的问题,采用增加热膜与环境温度差的方法,提高了热膜敏感探头在低速范围的输出灵敏度,实现了2m/s内的风速和湍流准确测量。考虑... 针对复合热膜应用于低风速和湍流强度测量方法进行了研究。风洞在进行低风速测量时普遍存在输出灵敏度不高的问题,采用增加热膜与环境温度差的方法,提高了热膜敏感探头在低速范围的输出灵敏度,实现了2m/s内的风速和湍流准确测量。考虑到气体温度对热膜探头输出信号的影响,对温度补偿方法和补偿电路进行了研究,通过对电路的合理设计,实现了温差的精确控制。对热膜结构、尺寸和器件进行合理匹配,实现了复合热膜敏感探头的微型化设计。采用MEMS技术,通过最大限度减小加热电阻和测量电阻的尺寸,达到了较好的响应频率。测试结果表明,该复合热膜敏感探头可以满足低风速和湍流度的测试需求。 展开更多
关键词 热膜 敏感探头 温度补偿 湍流强度 动态特性
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X型热膜探头的标定
19
作者 周建和 孙葵花 舒玮 《实验力学》 CSCD 北大核心 1994年第2期91-97,共7页
本文研究了X型热膜探头的两种主要标定方法,有效角法和全速度偏航法,对两种方法使用时可能引入的误差进行了讨论,并对给定的同一流场用不同方法进行了计算。
关键词 标定 热膜探头 测速仪 流速测量
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2种角度横向紊动射流的实验分析 被引量:20
20
作者 郭婷婷 徐忠 李少华 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1207-1210,共4页
对射入均匀横流中的单股紊动射流流场进行了实验研究.利用IFA300型热膜风速仪系统测量了对称面内的流动,射流入射方向与横向主气流之间的角度为90°和60°,得到了射流与主气流速度比R为2和4的速度场和湍动能分布,并给出了不同... 对射入均匀横流中的单股紊动射流流场进行了实验研究.利用IFA300型热膜风速仪系统测量了对称面内的流动,射流入射方向与横向主气流之间的角度为90°和60°,得到了射流与主气流速度比R为2和4的速度场和湍动能分布,并给出了不同工况下的射流轴线轨迹.结果表明:射流入射角与速度比对流场影响很大;射流对横向主气流的影响主要集中在射流发生弯曲直至与主气流平行的区域内,当射流垂直入射时,射流背风侧存在流动分离现象,当射流倾斜入射时,分离现象基本消失;当R值增大时,射流轨迹起始段的长度增加,对主流场影响的范围增大,射流入射方向与主气流之间的角度值减小,射流轨迹的垂直高度降低,射流对主流场影响的区域减小. 展开更多
关键词 横流 紊动射流 热膜风速仪 流场
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