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陶瓷基底薄膜热电偶的研究现状及发展趋势
被引量：
1
1
作者
张梅菊
蔡荣富
+3 位作者
黄漫国
梁晓波
张仲恺
田边
《测控技术》
2022年第3期1-6,共6页
随着航空发动机推重比的不断提升,发动机热端部件的工作温度也不断提高,对高温测量也提出了更高的要求。未来航空发动机将采用陶瓷基底复合材料制造叶片,因此以陶瓷为基底的高温薄膜热电偶成为当前的研究热点。介绍了国内外陶瓷基底高...
随着航空发动机推重比的不断提升,发动机热端部件的工作温度也不断提高,对高温测量也提出了更高的要求。未来航空发动机将采用陶瓷基底复合材料制造叶片,因此以陶瓷为基底的高温薄膜热电偶成为当前的研究热点。介绍了国内外陶瓷基底高温薄膜热电偶的研究现状以及工艺参数对薄膜制备过程的影响,并指出其存在的问题,最后对高温薄膜热电偶的发展方向进行了展望。
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关键词
陶瓷基底
高温薄膜热电偶
工艺参数
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职称材料
典型高温薄膜传感器的研究进展
被引量：
7
2
作者
孙道恒
崔在甫
+4 位作者
周颖锋
周排弟
易伟劲
林晓龙
王凌云
《电子机械工程》
2018年第1期1-7,共7页
随着航空发动机、燃气轮机、内燃机、石油化工设备等的设计、运行要求不断提高,对典型高温薄膜传感器如高温薄膜应变计、高温薄膜温度计、高温薄膜热流量计的需求越来越迫切。文中介绍了高温薄膜应变计、高温薄膜温度计、高温薄膜热流...
随着航空发动机、燃气轮机、内燃机、石油化工设备等的设计、运行要求不断提高,对典型高温薄膜传感器如高温薄膜应变计、高温薄膜温度计、高温薄膜热流量计的需求越来越迫切。文中介绍了高温薄膜应变计、高温薄膜温度计、高温薄膜热流量计以及多功能集成高温薄膜传感器等典型高温薄膜传感器的研究现状,分析了它们在敏感材料、材料体系、制造工艺和信号传输方面存在的主要问题,可为应用于更严酷环境的高温薄膜传感器的技术研究提供参考。
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关键词
高温薄膜传感器
应变计
热电偶
电阻温度检测器
热流量计
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职称材料
航空发动机高温壁面热电偶测温技术应用
被引量：
4
3
作者
寇志海
王清印
+1 位作者
李广超
张魏
《热能动力工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第1期202-210,共9页
高温壁面温度的准确测量是航空发动机研制过程中的重要环节。热电偶是航空发动机高温壁面测温领域中使用最为广泛的温度传感器。提高热电偶的测温极限、测温精确度以及测温可靠性,是航空发动机试验和测试领域迫切需要攻克和解决的技术...
高温壁面温度的准确测量是航空发动机研制过程中的重要环节。热电偶是航空发动机高温壁面测温领域中使用最为广泛的温度传感器。提高热电偶的测温极限、测温精确度以及测温可靠性,是航空发动机试验和测试领域迫切需要攻克和解决的技术难题。本文从铠装热电偶测温技术、薄膜热电偶测温技术和热电偶壁面测温技术修正3个方面,对航空发动机高温壁面热电偶测温技术的研究进展进行了综述。建立热电偶高温壁面测温修正方法将是今后航空发动机高温壁面测温领域需要重点关注的研究方向。
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关键词
航空发动机
高温壁面
铠装热电偶
薄膜热电偶
热电偶壁温修正
原文传递
高精度NiCr/NiSi薄膜热电偶高温测试系统
4
作者
阮勇
肖倩
+5 位作者
韩玉宁
刘海龙
李嘉恒
吴宇
石萌
董和磊
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024年第2期1-5,10,共6页
针对航空发动机涡轮叶片和燃烧室内壁等高温恶劣环境下对温度测量的迫切需求,提出了一种基于薄膜热电偶的高精度测温方法。采用磁控溅射法在SiC衬底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。完成了薄膜热电偶的设计与制备,并设计了一套高精度温度...
针对航空发动机涡轮叶片和燃烧室内壁等高温恶劣环境下对温度测量的迫切需求,提出了一种基于薄膜热电偶的高精度测温方法。采用磁控溅射法在SiC衬底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。完成了薄膜热电偶的设计与制备,并设计了一套高精度温度数据采集系统,主控芯片采用STM32,数据采集芯片采用16位高精度芯片ADS1118,实现了对高温恶劣环境下温度数据的实时采集。结果表明:设计制备的NiCr/NiSi薄膜热电偶能够实现-40~1000℃温度区间稳定测温,高精度测温系统与标准温度测量系统相比误差优于±0.4%,为高温恶劣环境下温度测量提供了有效且可靠的解决方法。
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关键词
高温
高精度
薄膜热电偶
测温电路
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职称材料
题名
陶瓷基底薄膜热电偶的研究现状及发展趋势
被引量：
1
1
作者
张梅菊
蔡荣富
黄漫国
梁晓波
张仲恺
田边
机构
航空工业北京长城航空测控技术研究所
状态监测特种传感技术航空科技重点实验室
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
出处
《测控技术》
2022年第3期1-6,共6页
文摘
随着航空发动机推重比的不断提升,发动机热端部件的工作温度也不断提高,对高温测量也提出了更高的要求。未来航空发动机将采用陶瓷基底复合材料制造叶片,因此以陶瓷为基底的高温薄膜热电偶成为当前的研究热点。介绍了国内外陶瓷基底高温薄膜热电偶的研究现状以及工艺参数对薄膜制备过程的影响,并指出其存在的问题,最后对高温薄膜热电偶的发展方向进行了展望。
关键词
陶瓷基底
高温薄膜热电偶
工艺参数
Keywords
ceramic
substrate
high
-
temperature
film
thermocouple
process
parameters
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
典型高温薄膜传感器的研究进展
被引量：
7
2
作者
孙道恒
崔在甫
周颖锋
周排弟
易伟劲
林晓龙
王凌云
机构
厦门大学机电工程系
出处
《电子机械工程》
2018年第1期1-7,共7页
文摘
随着航空发动机、燃气轮机、内燃机、石油化工设备等的设计、运行要求不断提高,对典型高温薄膜传感器如高温薄膜应变计、高温薄膜温度计、高温薄膜热流量计的需求越来越迫切。文中介绍了高温薄膜应变计、高温薄膜温度计、高温薄膜热流量计以及多功能集成高温薄膜传感器等典型高温薄膜传感器的研究现状,分析了它们在敏感材料、材料体系、制造工艺和信号传输方面存在的主要问题,可为应用于更严酷环境的高温薄膜传感器的技术研究提供参考。
关键词
高温薄膜传感器
应变计
热电偶
电阻温度检测器
热流量计
Keywords
high
-
temperature
thin
film
sensor
strain
gauge
thermocouple
resistance
temperature
detector
heat
flux
gauge
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
航空发动机高温壁面热电偶测温技术应用
被引量：
4
3
作者
寇志海
王清印
李广超
张魏
机构
沈阳航空航天大学航空发动机学院
出处
《热能动力工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第1期202-210,共9页
基金
国家自然科学基金(51406124)
辽宁省教育厅科学研究项目(JYT19060)。
文摘
高温壁面温度的准确测量是航空发动机研制过程中的重要环节。热电偶是航空发动机高温壁面测温领域中使用最为广泛的温度传感器。提高热电偶的测温极限、测温精确度以及测温可靠性,是航空发动机试验和测试领域迫切需要攻克和解决的技术难题。本文从铠装热电偶测温技术、薄膜热电偶测温技术和热电偶壁面测温技术修正3个方面,对航空发动机高温壁面热电偶测温技术的研究进展进行了综述。建立热电偶高温壁面测温修正方法将是今后航空发动机高温壁面测温领域需要重点关注的研究方向。
关键词
航空发动机
高温壁面
铠装热电偶
薄膜热电偶
热电偶壁温修正
Keywords
aero-engine
high
temperature
wall
sheathed
thermocouple
thin-
film
thermocouple
thermocouple
wall
temperature
correction
分类号
V231.1 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
原文传递
题名
高精度NiCr/NiSi薄膜热电偶高温测试系统
4
作者
阮勇
肖倩
韩玉宁
刘海龙
李嘉恒
吴宇
石萌
董和磊
机构
清华大学精密仪器系
北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院
启元实验室
淄博高新技术产业开发区MEMS研究院
中北大学半导体与物理学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024年第2期1-5,10,共6页
基金
国家重点研发计划(2020YFB2009103)。
文摘
针对航空发动机涡轮叶片和燃烧室内壁等高温恶劣环境下对温度测量的迫切需求,提出了一种基于薄膜热电偶的高精度测温方法。采用磁控溅射法在SiC衬底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。完成了薄膜热电偶的设计与制备,并设计了一套高精度温度数据采集系统,主控芯片采用STM32,数据采集芯片采用16位高精度芯片ADS1118,实现了对高温恶劣环境下温度数据的实时采集。结果表明:设计制备的NiCr/NiSi薄膜热电偶能够实现-40~1000℃温度区间稳定测温,高精度测温系统与标准温度测量系统相比误差优于±0.4%,为高温恶劣环境下温度测量提供了有效且可靠的解决方法。
关键词
高温
高精度
薄膜热电偶
测温电路
Keywords
high
temperature
high
precision
thin
film
thermocouple
temperature
measurement
circuit
分类号
TH811 [机械工程—仪器科学与技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
陶瓷基底薄膜热电偶的研究现状及发展趋势
张梅菊
蔡荣富
黄漫国
梁晓波
张仲恺
田边
《测控技术》
2022
1
下载PDF
职称材料
2
典型高温薄膜传感器的研究进展
孙道恒
崔在甫
周颖锋
周排弟
易伟劲
林晓龙
王凌云
《电子机械工程》
2018
7
下载PDF
职称材料
3
航空发动机高温壁面热电偶测温技术应用
寇志海
王清印
李广超
张魏
《热能动力工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023
4
原文传递
4
高精度NiCr/NiSi薄膜热电偶高温测试系统
阮勇
肖倩
韩玉宁
刘海龙
李嘉恒
吴宇
石萌
董和磊
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
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