高温超导多层薄膜布图布线技术 被引量：1

1

作者 王殿生 张正平 +1 位作者 傅兴华 杨健 《贵州科学》 2000年第4期241-248,共8页

本文简要地回顾了超导发展和应用的历史 ,概述了高温超导薄膜的制备工艺及其进展。对高温超导多层YBCO薄膜布图布线技术进行了综述 ,重点介绍了高温超导多层薄膜布图布线技术中的刻蚀法、激光退火法、水汽退火法和涂敷化学试剂法的基本... 本文简要地回顾了超导发展和应用的历史 ,概述了高温超导薄膜的制备工艺及其进展。对高温超导多层YBCO薄膜布图布线技术进行了综述 ,重点介绍了高温超导多层薄膜布图布线技术中的刻蚀法、激光退火法、水汽退火法和涂敷化学试剂法的基本原理、工艺特点和最新发展情况 ,其中包括了我们研究YBCO超导薄膜水汽退火布图技术的初步结果。 展开更多

关键词 高温超导薄膜 布图布线 水气退火法 制备工艺

下载PDF 职称材料

3英寸双面YBCO薄膜的MOCVD制备研究

2

作者 王其琛 夏钰东 +2 位作者 赵睿鹏 曾成 陶伯万 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2023年第12期1411-1415,共5页

制备大面积双面YBCO超导薄膜有助于器件集成的发展。基于自研金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统在3英寸铝酸镧基片上制备了性能优异的YBCO超导薄膜。使用扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜表面形貌和厚度,结果显示薄膜双面形貌一致,薄膜表... 制备大面积双面YBCO超导薄膜有助于器件集成的发展。基于自研金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统在3英寸铝酸镧基片上制备了性能优异的YBCO超导薄膜。使用扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜表面形貌和厚度,结果显示薄膜双面形貌一致,薄膜表面大部分平整,有少量孔洞。双面厚度接近,分别为533 nm和565 nm。X射线衍射(XRD)测试结果表明在大面积薄膜上成分分布均匀,除了(400)-Y_(2)O_(3)和LAO基片衍射峰以外,只存在尖锐的(00l)-YBCO衍射峰,薄膜双面面外扫描半峰宽低于0.3°,面内扫描半峰宽低于0.944°且仅有四个相距90°的独立尖峰,说明薄膜沿基片外延质量好。在77 K温度下分布式临界电流密度(Jc)测试结果表明薄膜具有良好载流能力,双面Jc>2.4 MA/cm^(2),面内均匀性和双面一致性高。在77 K,10 GHz的条件下,使用蓝宝石谐振器测试得到薄膜的微波表面电阻(Rs)为0.188 mΩ。结果表明自研MOCVD系统能够制备高质量、大面积的YBCO高温超导薄膜。 展开更多

关键词 MOCVD 铝酸镧 高温超导薄膜 YBCO

下载PDF 职称材料

1×8线阵高温超导远红外热型探测器研制 被引量：1

3

作者 杨德嘉 邵凯 +4 位作者 王吉云 经东 王子良 刘心田 石保安 《光电子技术》 CAS 1992年第4期303-307,共5页

采用高质量的 YBCO 高温超导薄膜,研制成1×8线阵超导远红外热型探测器。测量了线阵中各单元器件的性能,结果表明:NEP 在10^(-11)WHz^(-1/2),D~*在10~8m·Hz^(1/2)·W^(-1)的范围内。

关键词 高温超导 薄膜 远红外探测器

下载PDF 职称材料

可重构高温超导滤波器的研制

4

作者 季来运 《功能材料与器件学报》 CAS 2022年第1期29-35,共7页

本工作基于高温超导薄膜材料镝钡铜氧(DyBCO)和电可调电容技术,设计开发了工作于甚高频(VHF)频段的五阶可重构超导带通滤波器和超导带阻滤波器。采用协同仿真的设计方法,给出了两种设计方案的等效电路、理论曲线、物理电路的设计过程和... 本工作基于高温超导薄膜材料镝钡铜氧(DyBCO)和电可调电容技术,设计开发了工作于甚高频(VHF)频段的五阶可重构超导带通滤波器和超导带阻滤波器。采用协同仿真的设计方法,给出了两种设计方案的等效电路、理论曲线、物理电路的设计过程和可重构超导滤波器的仿真结果,最后给出了实际测试曲线。测试结果表明:可重构超导带通滤波器的可调频率范围为235~250 MHz,通带带宽为0.7 MHz,带外抑制度大于70 dB;可重构超导带阻滤波器的可调频率范围为220~267 MHz,阻带带宽为1.0 MHz,通带损耗小于0.1 dB。 展开更多

关键词 可重构滤波器 高温超导薄膜 可变电容器

原文传递

MOCVD－YBCO在多晶金属Ag基体上的生长特点

5

作者 袁凤池 谢义元 +3 位作者 陈继平 程彬吉 杨国文 崔炳 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 1995年第3期61-64,共4页

本文采用ＭＯＣＶＤ技术，以Ｙ（ＴＭＨＤ）３，Ｂａ（ＴＭＨＤ）２和Ｃｕ（ＴＭＨＤ）２为挥发源，高纯Ａｒ和Ｏ２分别为载流气体和反应剂，金属Ａｇ带为基体，在沉积温度为８５０℃，沉积过程中系统总压低于１．３３ｋＰａ的条件下，... 本文采用ＭＯＣＶＤ技术，以Ｙ（ＴＭＨＤ）３，Ｂａ（ＴＭＨＤ）２和Ｃｕ（ＴＭＨＤ）２为挥发源，高纯Ａｒ和Ｏ２分别为载流气体和反应剂，金属Ａｇ带为基体，在沉积温度为８５０℃，沉积过程中系统总压低于１．３３ｋＰａ的条件下，研究了４种情况的ＹＢＣＯ生长特点；４种沉积方式所制样品成分的均匀性、沿ｃ－轴取向情况以及表面形貌均存在较大的差别。４种沉积方式所制样品获得的最高Ｊｃ（７８Ｋ，０Ｔ）值分别为１．０４×１０￣４，２．２×１０￣４，１．７×１０￣４和１．４×１０￣４Ａ／ｃｍ￣２。本文还对产生上述结果的原因进行了分析，对有关的工艺问题进行了讨论。 展开更多

关键词 YBCO超导带 超导薄膜 化学气相沉积法

下载PDF 职称材料

准分子激光溅射法制备高温超导薄膜机理研究的新进展

6

作者 范永昌 安承武 +1 位作者 李再光 陆冬生 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1991年第4期8-12,共5页

本文简要介绍准分子激光溅射法制备高温超导薄膜的实验技术。重点阐述了近年来由大量实验研究所揭示出的激光溅射及成膜过程的一些基本特点和规律。同时,对准分子激光制膜保成份蒸镀这一独特优点的机制进行了深入的讨论。

关键词 超导薄膜 高温 溅射法 准分子激光

下载PDF 职称材料

高温超导薄膜微细图形制备工艺的研究进展

7

作者 张黄莉 赵高扬 +1 位作者 彭海军 刘晓梅 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期96-99,共4页

高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用。概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展,重点介绍了高温超导薄膜微细图形制备方法中的光刻法、改性工艺、耐熔微掩膜制备法和Sol-gel法与化学修... 高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用。概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展,重点介绍了高温超导薄膜微细图形制备方法中的光刻法、改性工艺、耐熔微掩膜制备法和Sol-gel法与化学修饰法相结合的基本原理、工艺特点及最新研究进展。首次把Sol-gel法与化学修饰法相结合制备薄膜的微细图形的工艺用于高温超导薄膜微细图形的制备中。 展开更多

关键词 高温超导薄膜 微细图形 溶胶-凝胶法 化学修饰

下载PDF 职称材料

激光化学刻蚀YBCO高温超导薄膜进程中电流与红外特性

8

作者 羊恺 刘娟秀 +3 位作者 刘霖 叶玉堂 补世荣 罗正祥 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期132-135,共4页

利用自行研制的电流与红外实时监测系统,研究了YBCO高温超导薄膜激光辅助化学刻蚀进程中溶液腐蚀电流与红外辐射的变化规律,为YBCO激光化学刻蚀技术中激光功率选择,腐蚀液配比,温度控制以及刻蚀时间的掌握提供了重要的实验依据。主要研... 利用自行研制的电流与红外实时监测系统,研究了YBCO高温超导薄膜激光辅助化学刻蚀进程中溶液腐蚀电流与红外辐射的变化规律,为YBCO激光化学刻蚀技术中激光功率选择,腐蚀液配比,温度控制以及刻蚀时间的掌握提供了重要的实验依据。主要研究结论包括:YBCO薄膜激光化学刻蚀中溶液腐蚀电流初始值较大,增长速率相对稳定,观察到“陡降峰”的出现,并与无激光辐照下的溶液腐蚀电流变化曲线进行对比,分析了可能的原因;通过对腐蚀溶液的侧面红外实时监测,观察化学热的生成及其对流情况,发现激光辐照使YBCO薄膜刻蚀速率加快,而且除激光化学作用外,腐蚀液自身温度升高也是导致刻蚀速率加快的重要因素。 展开更多

关键词 激光辅助化学刻蚀 高温超导薄膜 钇钡铜氧 红外特性

下载PDF 职称材料

高温超导体非线性特性对微带天线性能的影响 被引量：1

9

作者 刘淑芳 官伯然 《微波学报》 CSCD 北大核心 2004年第2期67-69,76,共4页

主要研究了高温超导 (HTS)薄膜非线性特性对微带天线性能的影响。首先介绍了高温超导薄膜的非线性特性现象 ,以及产生该现象的可能的机理 ,在此基础上以矩形微带贴片天线为例 ,采用谱域矩量法对微带天线的辐射效率和输入阻抗进行了计算... 主要研究了高温超导 (HTS)薄膜非线性特性对微带天线性能的影响。首先介绍了高温超导薄膜的非线性特性现象 ,以及产生该现象的可能的机理 ,在此基础上以矩形微带贴片天线为例 ,采用谱域矩量法对微带天线的辐射效率和输入阻抗进行了计算。结果表明输入功率增大到一定值时 ,将使天线的辐射效率下降 。 展开更多

关键词 高温超导薄膜 非线性特性 微带天线 辐射效率 输入阻抗

下载PDF 职称材料

8mm波段Fabry-Perot谐振腔及其在约瑟夫森结特性测量中的应用 被引量：2

10

作者 岳宏卫 阎少林 +6 位作者 王争 游峰 宋凤斌 季鲁 何明 赵新杰 方兰 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2405-2409,共5页

通过三维电磁仿真技术设计并制作了8mm波段Fabry-Perot谐振腔,并建立起一套Fabry-Perot谐振腔高温超导约瑟夫森结特性测试系统.用它测量了Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)高温超导薄膜双晶约瑟夫森结的毫米波辐照特性,得到高质量的夏皮罗台阶,... 通过三维电磁仿真技术设计并制作了8mm波段Fabry-Perot谐振腔,并建立起一套Fabry-Perot谐振腔高温超导约瑟夫森结特性测试系统.用它测量了Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)高温超导薄膜双晶约瑟夫森结的毫米波辐照特性,得到高质量的夏皮罗台阶,并与在U形波导测试系统中测得的结果进行了比较,发现利用Fabry-Perot谐振腔测量技术可显著提高外加电磁场与约瑟夫森结的耦合效率,为进一步研究毫米/亚毫米波信号检测、THz波信号源等研究打下坚实的基础. 展开更多

关键词 高温超导薄膜 Fabry-Perot谐振腔 约瑟夫森结 夏皮罗台阶

下载PDF 职称材料

采用溶胶-凝胶方法制备Tl-2212超导薄膜 被引量：1

11

作者 谢清连 黄国华 +3 位作者 黄自谦 王向红 张晶 方凤才 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期737-740,共4页

研究了采用溶胶-凝胶法在(001)取向的铝酸镧(LAO)单晶衬底上制备Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)高温超导薄膜。该方法是以乙酸铊、乙酸钡、乙酸钙、乙酸铜为起始原料,其中,Tl,Cu的含量要略高于Tl-2212超导相中的比例,并以乳酸、α-甲基丙烯酸... 研究了采用溶胶-凝胶法在(001)取向的铝酸镧(LAO)单晶衬底上制备Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)高温超导薄膜。该方法是以乙酸铊、乙酸钡、乙酸钙、乙酸铜为起始原料,其中,Tl,Cu的含量要略高于Tl-2212超导相中的比例,并以乳酸、α-甲基丙烯酸、二乙烯三胺、三乙烯四胺、甲酰胺、甲醇为络合剂及溶剂,制得粘度合适的溶胶。以旋转涂层方法制备凝胶膜,凝胶膜经过干燥、热分解及后退火等工艺处理后,可得到超导样品。X射线衍射(XRD)的θ-2θ和Φ扫描测试表明,该样品为纯c轴取向的Tl-2212高温超导薄膜,且ab面内织构;电子能谱分析(EDX)和扫描电子显微镜(SEM)测试表明,该薄膜的组分比为Tl∶Ba∶Ca∶Cu=2∶2∶1∶2,且具有平整致密的表面形貌;临界温度(Tc)测试表明,薄膜具有良好的超导特性,其Tc可达104.5 K。 展开更多

关键词 Tl-2212超导薄膜 溶胶-凝胶法 高温超导薄膜

原文传递

溶液沉积平整化工艺用于制备第二代高温超导带材的研究进展 被引量：2

12

作者 储静远 赵跃 +2 位作者 吴蔚 洪智勇 金之俭 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第23期109-113,共5页

低成本制备高性能第二代高温超导带材是实现其产业应用的基础。离子束辅助沉积技术由于具有对金属基带材料依赖弱、产生的织构度高、生产速度快等优点而被广泛使用。在该工艺中,如何获得原子级平整的金属基底,进而获取优良织构的缓冲层... 低成本制备高性能第二代高温超导带材是实现其产业应用的基础。离子束辅助沉积技术由于具有对金属基带材料依赖弱、产生的织构度高、生产速度快等优点而被广泛使用。在该工艺中,如何获得原子级平整的金属基底,进而获取优良织构的缓冲层一直是科学家关注的焦点。近年来,溶液沉积平整化(SDP)作为一种新型的基底平整化处理方式,以其特有的成本低廉、生产高效等优势越来越被各国所重视。系统地介绍了SDP工艺的发展历史和基本原理,总结了近几年来国内外科研机构对SDP工艺研究的主要内容及最新进展。 展开更多

关键词 第二代高温超导带材 薄膜生长 溶液沉积平整化 离子束辅助沉积

下载PDF 职称材料

高温超导双晶约瑟夫森结阵列毫米波相干辐射 被引量：1

13

作者 岳宏卫 王争 +6 位作者 樊彬 宋凤斌 游峰 赵新杰 何明 方兰 阎少林 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期5755-5758,共4页

研究了嵌入Fabry-Perot谐振腔的高温超导双晶约瑟夫森结阵列毫米波相干辐射的实验结果.相干辐射是通过约瑟夫森结阵列与基片(作为一个介质谐振器)和Fabry-Perot(FP)谐振器的共同作用实现的.由166个高温超导双晶约瑟夫森结串联阵列在77K... 研究了嵌入Fabry-Perot谐振腔的高温超导双晶约瑟夫森结阵列毫米波相干辐射的实验结果.相干辐射是通过约瑟夫森结阵列与基片(作为一个介质谐振器)和Fabry-Perot(FP)谐振器的共同作用实现的.由166个高温超导双晶约瑟夫森结串联阵列在77K温度下产生的相干辐射,辐射峰的中心频率为75.84GHz,功率大约为10pW. 展开更多

关键词 高温超导薄膜 Fabry-Perot谐振腔 约瑟夫森结 毫米波辐射

原文传递

嵌入Fabry-Perot谐振腔的Tl-2212双晶约瑟夫森结的特性 被引量：1

14

作者 岳宏卫 谢清连 +4 位作者 韦保林 晋良念 谢跃雷 李琦 周茜 《广西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2011年第2期10-14,共5页

采用嵌入Fabry-Perot谐振腔的方式,测量并研究Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)高温超导薄膜双晶约瑟夫森结的毫米波辐照特性。通过精细调节谐振腔的各种参数,可使双晶约瑟夫森结与外加毫米波达到最佳耦合,在最佳耦合情况下,能观察到5级明显的夏... 采用嵌入Fabry-Perot谐振腔的方式,测量并研究Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)高温超导薄膜双晶约瑟夫森结的毫米波辐照特性。通过精细调节谐振腔的各种参数,可使双晶约瑟夫森结与外加毫米波达到最佳耦合,在最佳耦合情况下,能观察到5级明显的夏皮罗台阶。初步测量了由667个双晶约瑟夫森结组成的串联结阵列的毫米波辐射特性,得到中心频率为78.7 GHz,大约6 pW的辐射功率。 展开更多

关键词 高温超导薄膜 Fabry—Perot谐振腔 约瑟夫森结 夏皮罗台阶

下载PDF 职称材料

高温超导薄膜带状线谐振器的研究

15

作者 张其劭 罗正祥 +2 位作者 卢剑 任向阳 熊光成 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第2期173-176,共4页

采用准分子激光淀积外延YBCO超导薄膜,成功地研制出高T_c超导薄膜带状线谐振器,在77K时测试,谐振频率为8.56 GHz,无载品质因数为8400,超导薄膜微波表面电阻为600μΩ。

关键词 高温 超导薄膜 谐振器 微波器件

下载PDF 职称材料

YBa_2Cu_3O_7高温超导双晶约瑟夫森结阵列毫米波辐射特性

16

作者 刘新英 岳宏卫 +2 位作者 谢清连 邓进丽 肖功利 《桂林电子科技大学学报》 2016年第2期169-172,共4页

针对高温超导约瑟夫森结器件的电磁辐射效率低、实用性差的问题,采用嵌入Quasi-Optical谐振腔的方式,研究YBa2Cu3O7高温超导双晶约瑟夫森结阵列的毫米波辐射特性。将基片作为介质谐振器,通过双晶约瑟森结阵列、介质谐振器和Quasi-Optica... 针对高温超导约瑟夫森结器件的电磁辐射效率低、实用性差的问题,采用嵌入Quasi-Optical谐振腔的方式,研究YBa2Cu3O7高温超导双晶约瑟夫森结阵列的毫米波辐射特性。将基片作为介质谐振器,通过双晶约瑟森结阵列、介质谐振器和Quasi-Optical谐振腔的共同谐振作用加强了结阵列与外部微波电路的耦合。使用混频检测技术,在78.6K温度下,实验制备并测量了由644个双晶约瑟夫森结组成的串联结阵列的毫米波辐射特性,得到辐射峰的中心频率为69.3GHz,检测到的辐射功率约为20pW,提高了辐射效率。 展开更多

关键词 高温超导薄膜 Quasi-Optical谐振腔 约瑟夫森结 Shapiro台阶

下载PDF 职称材料

高温超导外延薄膜YBα_2Cu_3O_(7-x)中空位型缺陷的低能正电子寿命研究

17

作者 周先意 Trift.,W 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第2期79-82,共4页

利用脉冲低能正电子束系统测量了脉冲激光沉积法、磁控溅射法和多源共蒸法制备的高温超导外延薄膜ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ的低能正电子寿命谱。结果表明。除块材中普遍存在的正电子浅捕获中心外，还大量含有块材中缺乏的正电子探捕获中... 利用脉冲低能正电子束系统测量了脉冲激光沉积法、磁控溅射法和多源共蒸法制备的高温超导外延薄膜ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ的低能正电子寿命谱。结果表明。除块材中普遍存在的正电子浅捕获中心外，还大量含有块材中缺乏的正电子探捕获中心，并且其尺度随温度的降低而长大。脉冲激光沉积法制备高温超导外延薄膜ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ的正电子寿命和沉积条件（衬底温度及空气分压）的关系研究表明，这种深捕获缺陷的种类与沉积条件无关。 展开更多

关键词 超导外延薄膜 缺陷 低能 正电子寿命谱 YBCO

下载PDF 职称材料

热处理Hastelloy合金基带对生长NiO薄膜的影响

18

作者 赵新霞 吴振宇 +3 位作者 金艳营 韩徐 黄玉琴 谢清连 《南宁师范大学学报（自然科学版）》 2023年第4期59-64,共6页

该研究采用射频磁控溅射方法在经过热处理的Hastelloy合金基带上生长NiO缓冲层,探究了不同退火条件对生长NiO缓冲层的结构和形貌的影响.XRD和AFM测试结果表明,在流氧中退火温度为850℃、退火时间为20min时可在基带表面形成一层连续的Ni... 该研究采用射频磁控溅射方法在经过热处理的Hastelloy合金基带上生长NiO缓冲层,探究了不同退火条件对生长NiO缓冲层的结构和形貌的影响.XRD和AFM测试结果表明,在流氧中退火温度为850℃、退火时间为20min时可在基带表面形成一层连续的NiO薄膜,这能改善基带与缓冲层的晶格匹配,并提高随后同质外延生长NiO缓冲层的质量,使得基带能生长出强度高且呈纯C轴取向的NiO薄膜.该缓冲层能够给高温超导薄膜提供良好的生长环境. 展开更多

关键词 HASTELLOY NiO薄膜 磁控溅射 高温超导薄膜

下载PDF 职称材料

多层高温超导薄膜研究 被引量：1

19

作者 高晓昕 季鲁 +5 位作者 葛德勇 赵新杰 何明 张旭 宋峰 李伟 《低温与超导》 CAS 北大核心 2013年第2期19-22,74,共5页

文中以LaAlO3为衬底,制作了一层Tl-2212高温超导薄膜,并在薄膜上生长一层较薄的CeO2缓冲层,然后再在上面生长一层Tl-2212高温超导薄膜。经过测量,研究了多层膜结构对超导薄膜临界电流密度的影响。结果显示,在缓冲层的结晶过程中超导薄... 文中以LaAlO3为衬底,制作了一层Tl-2212高温超导薄膜,并在薄膜上生长一层较薄的CeO2缓冲层,然后再在上面生长一层Tl-2212高温超导薄膜。经过测量,研究了多层膜结构对超导薄膜临界电流密度的影响。结果显示,在缓冲层的结晶过程中超导薄膜的晶格受到影响,结晶过程中的处理很容易诱导上面一层Tl-2212超导薄膜产生杂相,导致临界电流密度降低。 展开更多

关键词 高温超导薄膜 磁通钉扎 多层膜 临界电流密度 T1-2212

下载PDF 职称材料

YBCO超导薄膜的粉末靶磁控溅射原位制备及其微波表面电阻

20

作者 罗维根 丁爱丽 +3 位作者 顾爱国 葛敏 黄毓虹 陈国森 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1992年第4期492-497,共6页

用化学式量的烧结 YBa_2Cu_3O_(7-δ)粉末作磁控溅射的靶材,原位制备出 c 轴高度定向的超导薄膜.生长在 SrTiO_3和 ZrO_2衬底上的薄膜零电阻温度88K,77K 零场临界电流密度 J_c(?)8×10~5A/cm^2研究了沉积在10×10mm^2ZrO_2衬底... 用化学式量的烧结 YBa_2Cu_3O_(7-δ)粉末作磁控溅射的靶材,原位制备出 c 轴高度定向的超导薄膜.生长在 SrTiO_3和 ZrO_2衬底上的薄膜零电阻温度88K,77K 零场临界电流密度 J_c(?)8×10~5A/cm^2研究了沉积在10×10mm^2ZrO_2衬底上 YBCO 超导薄膜的微波表面电阻 R_(?).四轮实验样品测试结果,在94GHz 下、77K 时的 R_(?)25mΩ,为同一条件下无氧铜的三分之一.采用粉末靶而不是烧结块状靶溅射原位制备高温超导薄膜,具有制备简单、成本低廉,制膜工艺可稳定重复以及便于制作大面积高质量薄膜等优点. 展开更多

关键词 粉末靶 磁控溅射 超导薄膜

下载PDF 职称材料