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红外宽波段亚波长金属线栅偏振元件的研制 被引量：3
1
作者 付秀华 林晓敏 +2 位作者 张功 王野 张静 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期62-69,共8页
基于亚波长结构对光场的调控作用,研制了单层金属线栅偏振元件。利用等效介质和严格耦合波分析(RCWA)理论确定了结构参数,使用有限时域差分(FDTD)法优化设计了Si基底Al金属线栅结构,并通过多层减反射膜与金属线栅结构的匹配,降低了基底... 基于亚波长结构对光场的调控作用,研制了单层金属线栅偏振元件。利用等效介质和严格耦合波分析(RCWA)理论确定了结构参数,使用有限时域差分(FDTD)法优化设计了Si基底Al金属线栅结构,并通过多层减反射膜与金属线栅结构的匹配,降低了基底剩余反射率,提高了横磁(TM)波透过率。采用间歇镀Al法减少了辐射温度导致的胶栅形变,制备了具有高偏振性能的亚波长元件。经测试,所制备的线栅偏振元件在中波红外3~5μm波段的TM波透过率为89.1%,消光比为21.9 dB。 展开更多
关键词 薄膜 减反射膜 金属Al 间歇镀膜 亚波长 高偏振性能
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