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基于积分图像的红外图像降噪去条带方法 被引量:3
1
作者 江月松 王龙奇 《红外》 CAS 2012年第7期25-28,共4页
针对红外图像中普遍存在的高噪声与边缘模糊问题,提出了一种新的红外图像处理方法。基于积分图像理论,结合高频增强滤波法,给出了红外图像降噪去条带算法,设计了软件并实现了处理效果。仿真结果表明,与传统的方法相比,该方法具有速度快... 针对红外图像中普遍存在的高噪声与边缘模糊问题,提出了一种新的红外图像处理方法。基于积分图像理论,结合高频增强滤波法,给出了红外图像降噪去条带算法,设计了软件并实现了处理效果。仿真结果表明,与传统的方法相比,该方法具有速度快、自适应能力强和条带去除明显等优势,并可以尽可能多地保留原始图像的细节特征。 展开更多
关键词 降噪 去条带 积分图像 高频增强
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基于小波图像处理的爆破裂纹发展速度 被引量:7
2
作者 肖旺新 肖正学 +1 位作者 郭学彬 张志呈 《岩石力学与工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期2057-2061,共5页
在用高速摄影研究裂缝扩展规律时,由于曝光量不足或爆破烟雾等原因,照片分辨率较差,很难看清楚裂纹,这对研究爆破裂纹的发展过程造成很大的影响。因此用小波变换图像处理技术对摄影图片进行处理,并用VC++编程和MATLAB软件进行仿真,计算... 在用高速摄影研究裂缝扩展规律时,由于曝光量不足或爆破烟雾等原因,照片分辨率较差,很难看清楚裂纹,这对研究爆破裂纹的发展过程造成很大的影响。因此用小波变换图像处理技术对摄影图片进行处理,并用VC++编程和MATLAB软件进行仿真,计算出爆破裂纹的发展速度,这对研究岩石爆破破碎机理具有重大意义。 展开更多
关键词 高速摄影 爆破裂纹速度 小波变换 图像处理 高频增强
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High Capacity Mobile Ad Hoc Network Using THz Frequency Enhancement 被引量:3
3
作者 Sawatsakorn Chaiyasoonthorn Phongphun Limpaibool +1 位作者 Somsak Mitatha Preecha P. Yupapin 《International Journal of Communications, Network and System Sciences》 2010年第12期954-961,共8页
We propose a new design of the high channel capacity in Mobile Ad Hoc Network that uses the dense wave-length division multiplexing wavelength enhancement, in which the increasing in channel capacity and sig-nal secur... We propose a new design of the high channel capacity in Mobile Ad Hoc Network that uses the dense wave-length division multiplexing wavelength enhancement, in which the increasing in channel capacity and sig-nal security can be provided. The increasing in number of channel can be obtained by the increasing in wavelength density, while the security is introduced by the specific wavelength filter, which is operated by the Ad Hoc node operator and link with other nodes in coverage by dedicated one-to-one in direct or relay node. The optical communication wavelength enhancement is reviewed. The advantage is that the proposed system can be implemented and used incorporating with the existed communication link in both infrastruc-ture-based and Ad Hoc networks wireless network, where the privacy can be provided, which is discussed in details. 展开更多
关键词 Ad HOC NETWORK THZ Technology high Capacity NETWORK frequency enhanceMENT
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应用机器视觉的柔性卫星在轨模态辨识方法 被引量:2
4
作者 仇旻骏 沈毅力 +1 位作者 仲惟超 吕旺 《航天器工程》 北大核心 2016年第6期32-39,共8页
针对柔性卫星在轨模态辨识问题,提出一种应用机器视觉对卫星大型柔性附件在轨受到激励时进行模态辨识的方法。通过对视觉系统进行在轨标定以获取辨识数据源,并考虑机器视觉引起的噪声大、高频模态辨识困难等问题,采用将信号增强与奇异... 针对柔性卫星在轨模态辨识问题,提出一种应用机器视觉对卫星大型柔性附件在轨受到激励时进行模态辨识的方法。通过对视觉系统进行在轨标定以获取辨识数据源,并考虑机器视觉引起的噪声大、高频模态辨识困难等问题,采用将信号增强与奇异熵降噪相结合的高频增强,剔除虚假模态以改进模态辨识效果。利用气浮平台进行全物理试验,以低幅随机激励模拟卫星在轨平稳运行状态,采用上述方法辨识得到卫星模态参数。试验结果表明:文章提出的方法工程易实现,高频增强后辨识度高,可用于柔性卫星在轨模态辨识。 展开更多
关键词 柔性卫星 机器视觉 在轨标定 高频增强 模态辨识
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基于高频加强变换的焊接缺陷检测方法 被引量:2
5
作者 马跃洲 陈光 何山林 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2007年第3期23-26,共4页
根据X射线线阵实时成像检测压力容器的特点,提出焊缝图像处理及快速发现焊接缺陷的方法。利用自适应中值滤波方法和类间、类内方差比分割法及数学形态学方法对原始焊缝图像进行降噪和提取焊缝区域,并对提取的焊缝内部进行频域锐化的高... 根据X射线线阵实时成像检测压力容器的特点,提出焊缝图像处理及快速发现焊接缺陷的方法。利用自适应中值滤波方法和类间、类内方差比分割法及数学形态学方法对原始焊缝图像进行降噪和提取焊缝区域,并对提取的焊缝内部进行频域锐化的高频加强变换.仿真结果表明,自适应中值滤波能够有效去除噪声,并保持焊缝和缺陷的边缘细节;类间、类内方差比分割方法增强了图像目标与背景的对比,与数学形态学方法并用能准确地提取焊缝区域;高频加强变换能够为焊缝缺陷提供清晰的视觉效果,从而根据其显示的特点对焊接缺陷进行提取. 展开更多
关键词 X射线实时成像 焊缝 图像处理 焊接缺陷 高频加强
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动态磁共振成像中利用时空滤波的非笛卡尔稀疏数据重建新算法
6
作者 梅颖洁 周爱珍 +3 位作者 王聪 莫纪江 陈武凡 冯衍秋 《北京生物医学工程》 2011年第4期344-349,共6页
通过非笛卡尔稀疏采样,可以显著缩短磁共振成像数据采集时间,在动态磁共振中具有良好的应用前景。现有的动态图像重建算法主要利用信号在时间域上的相关性完成图像重建,对信号在空间域上的相关性探讨不足。本文提出利用时空滤波的非笛... 通过非笛卡尔稀疏采样,可以显著缩短磁共振成像数据采集时间,在动态磁共振中具有良好的应用前景。现有的动态图像重建算法主要利用信号在时间域上的相关性完成图像重建,对信号在空间域上的相关性探讨不足。本文提出利用时空滤波的非笛卡尔稀疏数据重建新算法,同时考虑采集信号在时间域和空间域上的相关性。对动态的磁共振数据在时间域上采用改进的Hanning滤波,以克服数据量的不足;在空间域上,引入高频增强约束以突出图像中的细节信息。仿真实验结果显示,该方法重建出时间分辨率良好、细节比较清晰的图像,实现了稀疏采集的非笛卡尔数据在k空间的重建。 展开更多
关键词 动态磁共振图像 非笛卡尔 稀疏 Hanning滤波 高频增强
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高频亮点加权技术在烃类检测中的研究与应用
7
作者 李才 张平平 +1 位作者 侯栋甲 熊煜 《石油物探》 CSCD 北大核心 2023年第6期1182-1193,共12页
目前渤海油田新近系已全面转入岩性勘探,烃检技术在其中发挥着重要作用。常规叠后烃检方法对厚水层引起的假亮点难以消除、对薄油层无法有效识别,因此,常规叠后烃检结果多解性强、可信度低。本文提出了适用于渤海新近系储层特征的高频... 目前渤海油田新近系已全面转入岩性勘探,烃检技术在其中发挥着重要作用。常规叠后烃检方法对厚水层引起的假亮点难以消除、对薄油层无法有效识别,因此,常规叠后烃检结果多解性强、可信度低。本文提出了适用于渤海新近系储层特征的高频亮点加权含烃检测方法,该方法能有效区分油、水层形成的地震真、假亮点。首先,应用数值正演模拟技术对影响频谱特征的主导因素和油水频谱特征差异进行论证,结果表明,薄油层和厚水层的关键属性为“高频亮点”。在此基础上,建立了适合渤海新近系含油气储层的包括地震数据目标优化处理、储层预测、高精度属性计算、高频亮点属性加权的含油气综合检测技术系列。该方法有效压制了厚水层假亮点,薄油层的识别精度提高了20%,大幅增强了烃检结果的可信度。在渤海油田多个构造和油田评价应用的结果表明,该方法能较好压制厚水层,识别薄油层,方法可行有效,在类似油田有较强的借鉴应用价值。 展开更多
关键词 烃检 高频亮点 低频增强 匹配追踪 支持向量机
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VHF-PECVD低温制备微晶硅薄膜的拉曼散射光谱和光发射谱研究 被引量:20
8
作者 张晓丹 赵颖 +7 位作者 朱锋 魏长春 吴春亚 高艳涛 侯国付 孙建 耿新华 熊绍珍 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期445-449,共5页
采用拉曼散射光谱和PR6 5 0光谱光度计对VHF PECVD制备的微晶硅薄膜进行了结构表征和在线监测研究 .结果表明 :功率对材料的晶化率 ( χc)有一定的调节作用 ,硅烷浓度大 ,微调作用更明显 ;SiH 的强度只能在一定的范围内表征材料的沉积速... 采用拉曼散射光谱和PR6 5 0光谱光度计对VHF PECVD制备的微晶硅薄膜进行了结构表征和在线监测研究 .结果表明 :功率对材料的晶化率 ( χc)有一定的调节作用 ,硅烷浓度大 ,微调作用更明显 ;SiH 的强度只能在一定的范围内表征材料的沉积速率 ,功率大相应的速率反而下降 ;I[Hα ] I[SiH ] 强度比值反映了材料晶化程度 ,此结果和拉曼散射光谱测试结果显示出一致性 ;I[Hβ ] I[Hα ] 的强度比表明氢等离子体中的电子温度随功率的增大而逐渐降低 . 展开更多
关键词 拉曼散射光谱 微晶硅薄膜 氢等离子体 电子温度 结构表征 低温制备 晶化 VHF-PECVD 光发射谱 功率
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衬底温度对微晶硅薄膜沉积与结构特征的影响 被引量:15
9
作者 杨恢东 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期646-649,共4页
采用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)技术在不同衬底温度条件下沉积了氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜,并通过光发射谱(OES)测量技术对沉积过程中硅烷(SiH4)等离子体进行了原位监测。结合对样品的沉积速率测量与结构表征,研究了衬底... 采用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)技术在不同衬底温度条件下沉积了氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜,并通过光发射谱(OES)测量技术对沉积过程中硅烷(SiH4)等离子体进行了原位监测。结合对样品的沉积速率测量与结构表征,研究了衬底温度对薄膜沉积过程与结构特征的影响。实验结果表明:随着衬底温度的增加,μc-Si∶H薄膜结晶体积分数与晶粒的平均尺寸单调增大,而沉积速率则呈现出先增后减的变化。对于当前的沉积系统,优化生长的衬底温度约为210℃,相应的μc-Si∶H薄膜沉积速率为0.8nm/s,结晶体积分数与晶粒平均尺寸分别为60%和9nm。 展开更多
关键词 衬底温度 结构特征 微晶硅 甚高频等离子体化学气相沉积 薄膜沉积 μc-Si:H 沉积速率 沉积过程 平均尺寸 体积分数 温度条件 原位监测 测量技术 光发射谱 结构表征 沉积系统 优化生长 晶粒 结晶
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甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅太阳电池的研究 被引量:14
10
作者 张晓丹 赵颖 +6 位作者 高艳涛 朱锋 魏长春 孙建 王岩 耿新华 熊绍珍 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期1899-1903,共5页
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术成功地制备了不同硅烷浓度和辉光功率条件下的微晶硅电池 .电池的J V测试结果表明 :在实验的硅烷浓度和功率范围内 ,随硅烷浓度的降低和功率的加大 ,对应电池的开路电压逐渐变小 ;硅烷浓度的不... 采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术成功地制备了不同硅烷浓度和辉光功率条件下的微晶硅电池 .电池的J V测试结果表明 :在实验的硅烷浓度和功率范围内 ,随硅烷浓度的降低和功率的加大 ,对应电池的开路电压逐渐变小 ;硅烷浓度的不同对电池的短路电流密度有很大的影响 ,但功率的影响在实验研究的范围内不是很显著 .对于微晶硅电池 ,N层最好是非晶硅 ,这是因为一方面可以降低对电流的横向收集效应 ,另一方面也降低了电池的漏电概率 ,提高了电池的填充因子 . 展开更多
关键词 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜 太阳电池 硅烷浓度
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1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用 被引量:14
11
作者 张晓丹 张发荣 +5 位作者 赵颖 陈飞 孙建 魏长春 耿新华 熊绍珍 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期209-212,共4页
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料.材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大,通过对材料的电学特性和结构特性的分析得知:获得了沉积速率超过1nm/s高速率器件质量级... 采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料.材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大,通过对材料的电学特性和结构特性的分析得知:获得了沉积速率超过1nm/s高速率器件质量级微晶硅薄膜,并且也初步获得了效率达6.3%的高沉积速率微晶硅太阳电池. 展开更多
关键词 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜太阳电池 高沉积速率 化学气相沉积技术
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气压对VHF-PECVD制备的μc-Si∶H薄膜特性影响的研究 被引量:14
12
作者 张晓丹 朱锋 +8 位作者 赵颖 侯国付 魏长春 孙建 张德坤 任慧志 薛俊明 耿新华 熊绍珍 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期414-418,共5页
本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明 :沉积速率随反应气压的增大而逐渐增大 ;光敏性 (光电导 /暗电导 )和激活能测试结果给出了相同的变化规律 ;傅立叶红外测试、X射线衍射和室温微区喇曼谱的... 本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明 :沉积速率随反应气压的增大而逐渐增大 ;光敏性 (光电导 /暗电导 )和激活能测试结果给出了相同的变化规律 ;傅立叶红外测试、X射线衍射和室温微区喇曼谱的结果都表明了样品的晶化特性 ; 展开更多
关键词 VHF-PECVD 制备方法 气压 μc-Si:H 薄膜 微晶硅材料 太阳能电池 光致衰退效应 SWE
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甚高频高速沉积微晶硅薄膜的研究 被引量:13
13
作者 郭学军 卢景霄 +5 位作者 陈永生 张庆丰 文书堂 郑文 申陈海 陈庆东 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期6002-6006,共5页
采用甚高频化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了系列微晶硅(μc-Si:H)薄膜样品,重点研究了硅烷浓度、功率密度、沉积气压和气体总流量对薄膜沉积速率和结晶状态的影响,绘制了沉积气压和功率密度双因素相图.以0.75nm/s的高速沉积了器件质... 采用甚高频化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了系列微晶硅(μc-Si:H)薄膜样品,重点研究了硅烷浓度、功率密度、沉积气压和气体总流量对薄膜沉积速率和结晶状态的影响,绘制了沉积气压和功率密度双因素相图.以0.75nm/s的高速沉积了器件质量级的微晶硅薄膜,并以该沉积速率制备出了效率为5.5%的单结微晶硅薄膜电池. 展开更多
关键词 微晶硅薄膜 高速沉积 甚高频化学气相沉积
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VHF-PECVD制备微晶硅材料及电池 被引量:7
14
作者 张晓丹 赵颖 +7 位作者 朱锋 魏长春 高艳涛 孙健 侯国付 薛俊明 耿新华 熊绍珍 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期952-957,共6页
采用VHF PECVD技术制备了不同功率系列的微晶硅薄膜和电池,测试结果表明:制备的适用于微晶硅电池的有源层材料的暗电导和光敏性都在电池要求的参数范围内.低功率或高功率条件下,电池从n和p方向的喇曼测试结果是不同的,在晶化率方面材料... 采用VHF PECVD技术制备了不同功率系列的微晶硅薄膜和电池,测试结果表明:制备的适用于微晶硅电池的有源层材料的暗电导和光敏性都在电池要求的参数范围内.低功率或高功率条件下,电池从n和p方向的喇曼测试结果是不同的,在晶化率方面材料和电池也有很大的差别,把相应的材料应用于电池上时,这一点很重要.采用VHF PECVD技术制备的微晶硅电池效率为5%,Voc=0 45V,Jsc=22mA/cm2,FF=50%,Area=0 253cm2. 展开更多
关键词 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜 微晶硅电池
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微晶硅薄膜纵向不均匀性的Raman光谱和AFM研究 被引量:5
15
作者 张晓丹 赵颖 +7 位作者 朱锋 魏长春 吴春亚 高艳涛 孙建 侯国付 耿新华 熊绍珍 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期960-964,共5页
本文研究了采用VHF PECVD技术制备的微晶硅薄膜的纵向均匀性。喇曼测试结果显示 :微晶硅薄膜存在着生长方向的结构不均匀 ,随厚度的增加 ,材料的晶化率逐渐变大 ;不同衬底其非晶孵化点是不一样的 ,对于同一种衬底 ,绒度大相应的晶化率就... 本文研究了采用VHF PECVD技术制备的微晶硅薄膜的纵向均匀性。喇曼测试结果显示 :微晶硅薄膜存在着生长方向的结构不均匀 ,随厚度的增加 ,材料的晶化率逐渐变大 ;不同衬底其非晶孵化点是不一样的 ,对于同一种衬底 ,绒度大相应的晶化率就大 ,对应着孵化层的厚度小 ;AFM测试结果明显的给出 展开更多
关键词 衬底 微晶硅薄膜 VHF-PECVD AFM 厚度 不均匀性 显示 RAMAN光谱 晶化 测试结果
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应用高频超声造影评价浅表病灶微循环灌注的缺陷及初步解决方案 被引量:7
16
作者 章建全 《第二军医大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1193-1196,共4页
目的:应用低、高频超声造影对比观察浅表病灶微循环灌注程度,探讨应用高频超声造影评价浅表病灶微循环灌注程度的缺陷并提出初步解决方案。方法:采用自身对照,先后应用低频、高频超声造影观察腮腺多形性腺瘤(1例)、甲状腺腺瘤(3例)、甲... 目的:应用低、高频超声造影对比观察浅表病灶微循环灌注程度,探讨应用高频超声造影评价浅表病灶微循环灌注程度的缺陷并提出初步解决方案。方法:采用自身对照,先后应用低频、高频超声造影观察腮腺多形性腺瘤(1例)、甲状腺腺瘤(3例)、甲状腺癌(5例)、颈部转移癌(5例)、乳腺癌(7例)、睾丸精原细胞瘤(2例)等6种23例浅表病灶,利用ACQ软件对配对的低、高频造影声像图的峰值强度(PI)进行配对t检验分析。结果:6种浅表病灶(腮腺腺瘤、甲状腺腺瘤、甲状腺癌、颈部转移癌、乳腺癌及睾丸精原细胞瘤)微循环灌注强度的高频超声造影PI值均显著低于低频超声造影,差异有统计学意义(P<0.001)。结论:应用高频超声造影评价浅表病灶的微循环灌注强度可能低于其真实强度,临床上可在高频超声观察完浅表病灶的形态和内部结构后,改用低频超声造影评价其微循环灌注状态。 展开更多
关键词 肿瘤 浅表病灶 高频超声造影 低频超声造影 SONOVUE
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微晶硅薄膜的制备及结构和稳定性研究 被引量:7
17
作者 张晓丹 赵颖 +5 位作者 高艳涛 朱锋 魏长春 孙建 耿新华 熊绍珍 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期3910-3914,共5页
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了不同衬底温度的微晶硅薄膜.利用傅里叶变换红外吸收对制备薄膜进行了结构方面的测试分析.结果表明:随衬底温度的升高,材料中的氢含量总的趋势下降;傅里叶变换红外吸收和二次离子质谱测试... 采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了不同衬底温度的微晶硅薄膜.利用傅里叶变换红外吸收对制备薄膜进行了结构方面的测试分析.结果表明:随衬底温度的升高,材料中的氢含量总的趋势下降;傅里叶变换红外吸收和二次离子质谱测试结果都显示薄膜中氧含量随衬底温度的升高而增加(在1019cm-3量级);与高衬底温度相比,低衬底温度制备的材料易于后氧化,这说明低温制备材料的稳定性不好. 展开更多
关键词 微晶硅薄膜 稳定性研究 结构 化学气相沉积技术 衬底温度 傅里叶变换 等离子体增强 二次离子质谱 红外吸收 测试分析 制备材料 甚高频 氢含量 氧含量 后氧化
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激发频率对VHF-PECVD制备微晶硅材料性能的影响 被引量:7
18
作者 高艳涛 张晓丹 +3 位作者 赵颖 孙建 朱峰 魏长春 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期1497-1501,共5页
采用甚高频等离子增强化学气相沉积(VHF-PECVD)的方法制备了硅烷浓度分别为6%和7%,随激发频率变化(40—70MHz)的氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜材料.研究了材料的电学特性、结构特性、沉积速率与激发频率之间的关系.结果发现材料的光敏性随... 采用甚高频等离子增强化学气相沉积(VHF-PECVD)的方法制备了硅烷浓度分别为6%和7%,随激发频率变化(40—70MHz)的氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜材料.研究了材料的电学特性、结构特性、沉积速率与激发频率之间的关系.结果发现材料的光敏性随频率的增加先降低后提高,晶化率和沉积速率的变化趋势与之相反;在晶化率最高点,材料在(220)的晶向衍射峰最高.并从光发射谱的角度研究了材料结构和沉积速率随频率变化的原因. 展开更多
关键词 甚高频等离子增强化学气相沉积 本征微晶硅 激发频率
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VHF-PECVD制备微晶硅薄膜及其微结构表征研究 被引量:6
19
作者 张晓丹 高艳涛 +5 位作者 赵颖 朱锋 魏长春 孙建 耿新华 熊绍珍 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期475-478,共4页
采用VHFPECVD技术制备了系列不同衬底温度的硅薄膜。运用微区拉曼散射(MicroRaman)和X射线衍射(XRD)对薄膜进行了结构方面的测试分析。MicroRaman测试结果表明:随衬底温度的升高,薄膜逐渐由非晶向微晶过渡,晶化率(Xc)逐渐增大。XRD的结... 采用VHFPECVD技术制备了系列不同衬底温度的硅薄膜。运用微区拉曼散射(MicroRaman)和X射线衍射(XRD)对薄膜进行了结构方面的测试分析。MicroRaman测试结果表明:随衬底温度的升高,薄膜逐渐由非晶向微晶过渡,晶化率(Xc)逐渐增大。XRD的结果显示样品的择优取向随衬底温度的升高而变化,(220)方向计算得出样品的晶粒尺寸逐渐变大。 展开更多
关键词 甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD) 微晶硅 衬底温度
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气体滞留时间对高速沉积的微晶硅薄膜性能的影响分析 被引量:7
20
作者 郭群超 耿新华 +4 位作者 孙建 魏长春 韩晓艳 张晓丹 赵颖 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期2790-2795,共6页
实现高速沉积对于薄膜微晶硅太阳电池产业化降低成本是一个重要手段.采用超高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,实现了微晶硅硅薄膜的高速沉积,并通过改变气体总流量改变气体滞留时间,考察了气体滞留时间在化学气相沉积(CVD)... 实现高速沉积对于薄膜微晶硅太阳电池产业化降低成本是一个重要手段.采用超高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,实现了微晶硅硅薄膜的高速沉积,并通过改变气体总流量改变气体滞留时间,考察了气体滞留时间在化学气相沉积(CVD)过程中对薄膜的生长速率以及光电特性和结构特性的影响.采用沉积速率达到12/s的高速微晶硅工艺制备微晶硅电池,电池效率达到了5.3%. 展开更多
关键词 气体滞留时间 高速沉积 微晶硅 超高频等离子体增强化学气相沉积
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