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高密度计量圆光栅的研制
被引量：
1
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作者
喻洪麟
《重庆大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1994年第6期89-93,共5页
在高精度圆刻线机上，采用了新的高精度主轴转速数字锁相自调系统；设计了一种新型柱面“蜂窝”透镜光刻系统。研制出刻划中径≤５０ｍｍ，刻线数为３２７６８线对的高密度计量圆光栅。最大直径误差≤０．６″，均匀性误差在５％以内。
关键词
编码器
透镜
光栅
下载PDF
职称材料
题名
高密度计量圆光栅的研制
被引量：
1
1
作者
喻洪麟
机构
重庆大学光电精密机械研究所
出处
《重庆大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1994年第6期89-93,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
在高精度圆刻线机上，采用了新的高精度主轴转速数字锁相自调系统；设计了一种新型柱面“蜂窝”透镜光刻系统。研制出刻划中径≤５０ｍｍ，刻线数为３２７６８线对的高密度计量圆光栅。最大直径误差≤０．６″，均匀性误差在５％以内。
关键词
编码器
透镜
光栅
Keywords
high
density
radial
grating
small-
sizd
encoder
″honeycomb
″
lens
分类号
TH741.6 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高密度计量圆光栅的研制
喻洪麟
《重庆大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1994
1
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职称材料
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