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用于探空仪的加热式湿度传感器及测量电路 被引量：8
1
作者 罗毅 施云波 +2 位作者 杨昆 商春雪 渠立亮 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期3050-3060,共11页
针对探空仪湿度传感器在高空低温、高湿恶劣环境下容易结露,湿度波动大、电路板分布电容对测量结果有影响等问题,研究了具有蛇形加热器的平板夹心电容式湿度传感器及其工艺制备方法,并设计了测量电路。采用微机电系统(MEMS)加工工艺设... 针对探空仪湿度传感器在高空低温、高湿恶劣环境下容易结露,湿度波动大、电路板分布电容对测量结果有影响等问题,研究了具有蛇形加热器的平板夹心电容式湿度传感器及其工艺制备方法,并设计了测量电路。采用微机电系统(MEMS)加工工艺设计了加热式湿度传感器,通过对传感器进行有限元分析,确定了传感器表面加热区域温度分布情况,得出了环境温度、加热功率与加热温度三者之间的函数关系。提出一种基于电容充放电及比较法的湿度测量电路,从而有效地抑制了温度漂移和零点漂移,减小了寄生电容对测量结果的影响。地面实验结果显示:湿度传感器灵敏度约为2.3%RH·pF-1,迟滞约为0.7%F·S,重复性约为1.9%,测量总不确定度约为4%,时间常数约为0.5s。本文研究的湿度传感器及其测量电路具有很好的温度稳定性,能够在低温环境下正常工作。 展开更多
关键词 探空仪 湿度传感器 微机电系统(MEMS) 蛇形加热器 有限元
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浅析珠状热敏电阻在高空探空仪中的应用
2
作者 陈忠 徐妍 +1 位作者 徐洁 吴俊兰 《仪器仪表用户》 2013年第4期51-52,59,共3页
在理解原型数字式珠状热敏电阻温度传感器电路设计思想的基础上,本文设计了满足高空探空仪需求的单项数字式珠状热敏电阻温度传感器电路,通过试验分析获取已选定的热敏电阻元件的传感特性数学公式及变换电路的变换特性数学公式,提出了... 在理解原型数字式珠状热敏电阻温度传感器电路设计思想的基础上,本文设计了满足高空探空仪需求的单项数字式珠状热敏电阻温度传感器电路,通过试验分析获取已选定的热敏电阻元件的传感特性数学公式及变换电路的变换特性数学公式,提出了单项数字式珠状热敏电阻温度传感器测温计算方法。 展开更多
关键词 热敏电阻 温度传感器 数字变换电路 高空探空仪
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