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高阻硅基铝硅合金弹性膜MEMS相移器 被引量:3
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作者 石艳玲 卿健 +2 位作者 忻佩胜 朱自强 赖宗声 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期972-976,共5页
级联式 MEMS相移器可通过悬浮于共平面波导之上的微机械可调电容的变化 ,来改变传输线的特性阻抗和相速 ,达到相移的目的 .文中讨论了 MEMS相移器特性对微机械电容和下拉电压的要求 ,并通过轻质量的铝硅合金弹性膜 ,获得了较低的下拉电... 级联式 MEMS相移器可通过悬浮于共平面波导之上的微机械可调电容的变化 ,来改变传输线的特性阻抗和相速 ,达到相移的目的 .文中讨论了 MEMS相移器特性对微机械电容和下拉电压的要求 ,并通过轻质量的铝硅合金弹性膜 ,获得了较低的下拉电压 .测试结果表明 ,相移器的下拉电压不大于 4 0 V,且当控制电压大于 10 V时 ,即有明显的相移 .该 MEMS相移器制备于电阻率大于 4 0 0 0 Ω· cm的高阻硅衬底上 ,获得了较好的传输特性 ,在整个测试频段 1~ 4 0 GHz,S2 1 均小于 3d B,并在 2 5 V时获得了大于 2 5°的相移量 . 展开更多
关键词 铝硅合金弹性膜 MEMS相移器 高阻硅 hr-si 下拉电压
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Design and fabrication of miniature antenna based on silicon substrate for wireless communications
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作者 GUO XingLong JIN Yan LIU Lei OUYANG WeiXia LAI ZongSheng 《Science in China(Series F)》 2008年第5期586-591,共6页
In this paper, a novel compact CPW-fed slot small antenna was designed and fabricated on high-resistivity silicon (HR-Si) by micro-electronics process. The results of simulation are consistent with results of measur... In this paper, a novel compact CPW-fed slot small antenna was designed and fabricated on high-resistivity silicon (HR-Si) by micro-electronics process. The results of simulation are consistent with results of measurement for the antenna. The mode of the antenna is vertical and horizontal bidirectional radiations. The gain of antenna is 2.5 dB, and the resonance frequency approximately is 3 GHz. This fabrication can be compatible with antenna integration and CMOS process. The parameters of this antenna are for reference radar antenna system of Unmanned Aerial Vehicles (UAV), satellite transmission, and communication. 展开更多
关键词 miniature antenna high-resistivity silicon hr-si IC process
原文传递
无线通讯用硅基微小天线的设计与制作
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作者 郭兴龙 蔡描 +2 位作者 刘蕾 游淑珍 赖宗声 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期361-365,共5页
采用微电子工艺在高电阻率硅片上设计和制备了一种新颖紧凑共平面波导馈电天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,经过实验测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dB,谐振频率约为3GHz,此天线有利于天线集... 采用微电子工艺在高电阻率硅片上设计和制备了一种新颖紧凑共平面波导馈电天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,经过实验测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dB,谐振频率约为3GHz,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容,并且对于无人驾驶飞机、卫星等飞行器的雷达和通讯等天线系统的设计具有参考价值。 展开更多
关键词 微小天线 高电阻率硅片 集成电路工艺
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