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低气压He/N_2混合气体的辉光放电数值模拟
被引量:
4
1
作者
邹晓兵
杨新婷
+3 位作者
付洋洋
罗海云
杨硕
王新新
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期3741-3746,共6页
针对低气压下含有少量氮气杂质(体积分数为10^(–6)~10^(–4))的氦气辉光放电特性进行研究,通过建立相应的二维流体模型,利用COMSOL有限元法数值求解了基本物理方程,得到了放电气隙击穿电压以及内部物理参量的空间分布,分析讨论了氮气...
针对低气压下含有少量氮气杂质(体积分数为10^(–6)~10^(–4))的氦气辉光放电特性进行研究,通过建立相应的二维流体模型,利用COMSOL有限元法数值求解了基本物理方程,得到了放电气隙击穿电压以及内部物理参量的空间分布,分析讨论了氮气杂质的含量对低气压下氦气辉光放电的影响。研究结果表明:随着杂质含量的升高,由于氮分子和氦亚稳态原子的彭宁电离过程降低了击穿电压,因此气隙维持电压降低,回路电流升高。并且由于彭宁电离为放电提供了较多电子,导致电子数密度升高、电场强度降低、电子温度降低。
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关键词
低气压氦气辉光放电
低温等离子体
彭宁电离
氮气杂质
辉光放电清洗
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职称材料
题名
低气压He/N_2混合气体的辉光放电数值模拟
被引量:
4
1
作者
邹晓兵
杨新婷
付洋洋
罗海云
杨硕
王新新
机构
清华大学电机工程与应用电子技术系
出处
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期3741-3746,共6页
基金
国家自然科学基金(51377095
51107067)~~
文摘
针对低气压下含有少量氮气杂质(体积分数为10^(–6)~10^(–4))的氦气辉光放电特性进行研究,通过建立相应的二维流体模型,利用COMSOL有限元法数值求解了基本物理方程,得到了放电气隙击穿电压以及内部物理参量的空间分布,分析讨论了氮气杂质的含量对低气压下氦气辉光放电的影响。研究结果表明:随着杂质含量的升高,由于氮分子和氦亚稳态原子的彭宁电离过程降低了击穿电压,因此气隙维持电压降低,回路电流升高。并且由于彭宁电离为放电提供了较多电子,导致电子数密度升高、电场强度降低、电子温度降低。
关键词
低气压氦气辉光放电
低温等离子体
彭宁电离
氮气杂质
辉光放电清洗
Keywords
helium
glow
discharge
at
low
pressure
low
temper
at
ure
plasma
Penning
ioniz
at
ion
nitrogen
impurity
glow
discharge
cleaning
分类号
O461.21 [理学—电子物理学]
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题名
作者
出处
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被引量
操作
1
低气压He/N_2混合气体的辉光放电数值模拟
邹晓兵
杨新婷
付洋洋
罗海云
杨硕
王新新
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
4
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职称材料
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