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题名一种聚酰亚胺超低热导红外热敏悬浮微桥
被引量：1
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作者
余荣
陈学康
杨建平
曹生珠
吴敢
王瑞
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机构
兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第10期952-956,共5页
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文摘
热导极为微小的热敏悬空微桥结构的制作是集成非致冷热成像探测阵列热敏感单元研究的核心。由于没有现成的将聚酰亚胺制成微桥的工艺,采用准分子激光微刻蚀技术,使用聚酰亚胺材料,并采用铂作为敏感材料来制作微桥。对所制作的铂/聚酰亚胺微桥原理性样件的初步测试表明,铂/聚酰亚胺微桥的热导约3.98×10-7W/K,与理论计算值接近。铂薄膜与聚酰亚胺微桥附着良好,工艺可行。在0～10V的驱动电压下可观察到铂/聚酰亚胺微桥样件明显的自热效应,其电加热响应时间小于100ms。
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关键词
非致冷红外探测
热敏悬浮微桥
激光微刻蚀
微机电系统
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Keywords
uncooled infrared detecting
heat-sensitive suspended microbridge
laser micromachining
micro electro mechanical systems（MEMS）
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分类号
TN362
[电子电信—物理电子学]
TN379
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题名激光微刻蚀柔性红外热敏悬浮微桥研究
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作者
余荣
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机构
兰州物理研究所
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出处
《传感器世界》
2007年第5期10-12,共3页
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文摘
本文研究使用激光微刻蚀方法制作红外热敏悬浮微桥的新工艺。用激光微刻蚀法制作了铂/聚酰亚胺热敏悬浮微桥,对微桥初样的热敏特性进行了测试,测试结果证实所制作的热敏微桥具有较好的热隔离性能。
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关键词
激光微刻蚀
红外微测辐射热计
热敏悬浮微桥
柔性基板
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Keywords
laser micro-eching, IR microbolometer, heat-sensitive suspended microbridge, flexible substrat
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分类号
TN215
[电子电信—物理电子学]
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