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氮化铟导模共振滤波器在可见光波段模拟分析 被引量:4
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作者 朱闻真 黄萍 +4 位作者 吕凡敏 顾均 李维亮 刘昕 胡芳仁 《光通信研究》 北大核心 2016年第1期32-34,70,共4页
根据RCWT(严格耦合波理论)和等效介质理论,提出了在可见光波段的基于半导体材料氮化铟的亚波长光栅导模共振滤波器的结构设计和仿真方法,并探讨了滤波器反射谱对光栅参数的敏感性.在维持滤波器高峰值反射率、低旁带和窄线宽不变的条件... 根据RCWT(严格耦合波理论)和等效介质理论,提出了在可见光波段的基于半导体材料氮化铟的亚波长光栅导模共振滤波器的结构设计和仿真方法,并探讨了滤波器反射谱对光栅参数的敏感性.在维持滤波器高峰值反射率、低旁带和窄线宽不变的条件下,利用其对光栅周期的敏感性,结合仿真提出了利用微机电系统梳齿驱动器改变光栅周期(ΔT 为0-99.7nm)从而线性地控制共振波长输出(调谐范围为23nm),实现了半高全宽小于1.15nm 的可调谐反射型导模共振滤波器. 展开更多
关键词 亚波长光栅 导模共振 氮化铟 微机电系统
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可见光波段双层浮雕型导模共振滤波器设计与分析 被引量:3
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作者 麻健勇 刘世杰 +4 位作者 魏朝阳 晋云霞 赵元安 邵建达 范正修 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期4195-4201,共7页
基于傅里叶模式理论分析了双层浮雕型导模共振光栅的共振效应,分别讨论了光栅的槽深、剩余厚度、周期以及填充系数对峰值反射率、带宽、旁带反射率的影响.数据计算表明,欠刻蚀情形的误差宽容度远远优于过刻蚀情形,两者在光栅槽深相对误... 基于傅里叶模式理论分析了双层浮雕型导模共振光栅的共振效应,分别讨论了光栅的槽深、剩余厚度、周期以及填充系数对峰值反射率、带宽、旁带反射率的影响.数据计算表明,欠刻蚀情形的误差宽容度远远优于过刻蚀情形,两者在光栅槽深相对误差小于15%的范围内,都能保证共振峰的衍射效率高于99.5%,在相同的误差范围内,共振峰线宽的相对误差将分别达到7%和60%,因此厚度误差集中反映在对共振线宽的改变上.另外,光栅周期和填充系数的变化将明显改变共振峰中心波长和线宽. 展开更多
关键词 导模共振 平面波导 窄带滤波
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从亚波长光栅到超构光栅:原理、设计及应用 被引量:3
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作者 陈瑞 柳夏 +4 位作者 王虹 石伟怡 刘伟男 江绍基 董建文 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第9期144-165,共22页
随着纳米光子学的发展,光学结构如光学微腔、波导结构、光子晶体、亚波长光栅、超构表面等能够在微纳尺度实现对光的传输与调控,推动了光学集成化的发展。亚波长光栅由于其结构简单、成本低廉等特点得到了科学家们广泛的研究,应用在各... 随着纳米光子学的发展,光学结构如光学微腔、波导结构、光子晶体、亚波长光栅、超构表面等能够在微纳尺度实现对光的传输与调控,推动了光学集成化的发展。亚波长光栅由于其结构简单、成本低廉等特点得到了科学家们广泛的研究,应用在各种光学器件,逐渐形成了光栅分析模型的成熟理论体系。结合周期性结构耦合行为及超构表面中超构原子的散射调制特性,从亚波长光栅衍生出的超构光栅能够利用周期性布拉格散射提高调控光束的效率,从而避免了超构表面相位离散化带来的效率降低和能量损失。科学家们研究并设计了超构光栅,更多的物理现象及应用被探究和挖掘。文中对亚波长光栅以及超构光栅的基本理论、设计和应用进行了概述。从基本原理出发,论述了亚波长光栅和超构光栅的特性,综述了二者的理论设计及单元设计方法,并介绍了在生物传感、滤光片光谱调控和吸收薄膜等方面的应用。最后,展望了未来的发展方向。 展开更多
关键词 亚波长光栅 超构光栅 导模共振 生物传感 滤光片光谱调控 吸收薄膜
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带有多孔二氧化硅间隔层的导模共振光栅实现染料激光器发射增强 被引量:2
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作者 崔涛 王康妮 +1 位作者 高凯歌 钱林勇 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期286-294,共9页
导模共振光栅是一种典型的平面波导共振结构,可在光栅表面或波导层内形成较强的局域电场,能增强光与物质的相互作用.本文在导模共振结构的光栅层和基底层之间,引入低折射率的多孔二氧化硅间隔层,显著增强了局域电场与增益介质的接触度.... 导模共振光栅是一种典型的平面波导共振结构,可在光栅表面或波导层内形成较强的局域电场,能增强光与物质的相互作用.本文在导模共振结构的光栅层和基底层之间,引入低折射率的多孔二氧化硅间隔层,显著增强了局域电场与增益介质的接触度.结果表明,引入多孔二氧化硅后,共振产生的电场增强区域上移至激光染料层,增加了激光染料与电场的相互作用,实现了激光出射增强.本文基于时域有限差分法,对结构参数进行分析优化,研究了820 nm共振波长激发下的出射激光特性,得到了连续的激光出射,其能量阈值约为2.5 mJ/cm^2,线宽约为0.3 nm.本文提出的结构实现了对表面局域电场的有效调控,增强了激发光与增益介质的相互作用,不但可应用于激光器,还为其它发光器件的设计提供了参考. 展开更多
关键词 光栅 导模共振 染料激光器 多孔二氧化硅
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角度可调谐硅基氮化镓导模共振滤波器 被引量:1
5
作者 黄萍 赵紫娟 +1 位作者 雒倩男 胡芳仁 《光通信研究》 北大核心 2016年第5期50-54,共5页
根据严格耦合波理论和等效介质理论,研究了工作于1 300-1 400nm波段的基于硅基GaN(氮化镓)亚波长光栅的导模共振滤波器。分别讨论了在强调制光栅和弱调制光栅作用下,滤波器反射谱对光栅周期和入射角度的敏感性。利用其对入射角度的敏... 根据严格耦合波理论和等效介质理论,研究了工作于1 300-1 400nm波段的基于硅基GaN(氮化镓)亚波长光栅的导模共振滤波器。分别讨论了在强调制光栅和弱调制光栅作用下,滤波器反射谱对光栅周期和入射角度的敏感性。利用其对入射角度的敏感性,结合仿真分析设计了一种利用微机电系统静电梳齿驱动器改变光栅角度从而控制不同的共振波长输出的角度可调谐硅基GaN导模共振滤波器。仿真分析结果表明,在强调制情况下,角度可调谐范围为0.5-5.7°,波长可调谐范围为1 319-1 352nm,FWHM(半高全宽)〈2.2nm。 展开更多
关键词 导模共振 氮化镓 角度调制 微机电系统
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带缓冲层的导模共振滤光片反射光谱特性 被引量:15
6
作者 王振华 吴永刚 +5 位作者 桑田 王占山 彭东功 焦宏飞 陈乃波 曹鸿 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1425-1428,共4页
将均质多层膜系设计中的缓冲层概念引入到反射导模共振滤光片的设计中,以研究缓冲层的增加对导模共振滤光片反射光谱特性的影响。设计并通过严格的耦合波理论计算了一、二、三、四通道导模共振反射滤光片光谱特性。在膜系设计中增加缓... 将均质多层膜系设计中的缓冲层概念引入到反射导模共振滤光片的设计中,以研究缓冲层的增加对导模共振滤光片反射光谱特性的影响。设计并通过严格的耦合波理论计算了一、二、三、四通道导模共振反射滤光片光谱特性。在膜系设计中增加缓冲层后,随着其厚度的逐渐增加,反射光谱中依次出现二、三、四个窄带反射峰;缓冲层厚度为796.35nm时,当滤光片光栅层占空比在0.2~0.9范围内、光栅深度在100~200nm变化时,共振峰的位置、反射率峰值高度几乎不变,保持了很好的多通道滤光片特性。 展开更多
关键词 薄膜光学 导模共振 光栅 反射滤光片 缓冲层
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基于导模共振效应三基色窄带滤光片的研究 被引量:11
7
作者 孔伟金 郑併斌 +3 位作者 云茂金 匡杰 王书浩 许家锋 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期49-52,共4页
为获得性能优良的三基色窄带滤光片,提出了一种基于减反射薄膜波导光栅结构的导模共振滤光片。该滤光片由亚波长光栅结构、波导层和基底组成。采用严格耦合波理论分析了亚波长光栅结构和波导层厚度对导模共振滤光片反射光谱性能的影响... 为获得性能优良的三基色窄带滤光片,提出了一种基于减反射薄膜波导光栅结构的导模共振滤光片。该滤光片由亚波长光栅结构、波导层和基底组成。采用严格耦合波理论分析了亚波长光栅结构和波导层厚度对导模共振滤光片反射光谱性能的影响。数值分析表明λ/4-λ/2-λ/4结构能有效提高导模共振滤光片的性能。当光栅结构位于基底侧时,红绿蓝三基色滤光片旁通带截止带宽分别为447,349和279nm,反射率均优于95%,反射带均小于0.2nm。设计的三基色滤光片具有良好的窄带反射特性,在彩色合成与调制中有应用前景。 展开更多
关键词 衍射 导模共振 三基色 亚波长光栅
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窄带多通道滤光片的设计与制备 被引量:9
8
作者 王占山 王利 +7 位作者 桑田 吴永刚 焦宏飞 朱京涛 陈玲燕 王少伟 陈效双 陆卫 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期289-292,315,共5页
介绍了三种获得窄带多通道滤光片的方法。第一种方法是具有缺陷的多异质结结构,该结构能够展宽光子晶体的禁带同时实现多通道效应。第二种方法是多通道导模共振布儒斯特滤光片,此类滤光片可以采用单层膜结构来实现多通道效应,也可以采... 介绍了三种获得窄带多通道滤光片的方法。第一种方法是具有缺陷的多异质结结构,该结构能够展宽光子晶体的禁带同时实现多通道效应。第二种方法是多通道导模共振布儒斯特滤光片,此类滤光片可以采用单层膜结构来实现多通道效应,也可以采用具有相等折射率的双层膜结构来实现多通道效应。第三种方法是组合刻蚀法制备窄带滤光片列阵。该方法不仅可以制作单腔窄带滤光片列阵,还可以制作双腔窄带滤光片列阵。窄带多通道滤光片在光学领域中具有一定的应用前景。 展开更多
关键词 窄带多通道滤光片 多异质结 导模共振 滤光片列阵
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导模共振滤光片的研究进展 被引量:8
9
作者 王琦 张大伟 +1 位作者 陈家璧 庄松林 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期71-74,144,共5页
通过对导模共振滤光片的研究与发展的介绍,总结了其机理、优异特性及应用领域,重点介绍的是亚波长导模共振滤光片的单层、双层和3层结构的设计。归纳了它的制作原理,提出了制作难点和关键技术。结果表明,导模共振滤波器具备高峰值反射率... 通过对导模共振滤光片的研究与发展的介绍,总结了其机理、优异特性及应用领域,重点介绍的是亚波长导模共振滤光片的单层、双层和3层结构的设计。归纳了它的制作原理,提出了制作难点和关键技术。结果表明,导模共振滤波器具备高峰值反射率,低旁带反射,窄带以及带宽可控等优良特性,具有重要的研究意义和应用价值。 展开更多
关键词 光学器件 导模共振 光栅 波导
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缓冲层对导模共振滤光片反射光谱截止特性的影响 被引量:6
10
作者 王振华 吴永刚 +5 位作者 桑田 王占山 彭东功 焦宏飞 陈乃波 曹鸿 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期849-852,共4页
提出将均质多层膜系设计中的缓冲层概念引入到反射导模共振(GMR)滤光片的设计中,通过严格的耦合波理论精确计算,研究了加入缓冲层对改善导模共振滤光片反射峰边带截止深度及截止宽度的作用。双层导模共振滤光片结构中,入射光为TE偏振光... 提出将均质多层膜系设计中的缓冲层概念引入到反射导模共振(GMR)滤光片的设计中,通过严格的耦合波理论精确计算,研究了加入缓冲层对改善导模共振滤光片反射峰边带截止深度及截止宽度的作用。双层导模共振滤光片结构中,入射光为TE偏振光时,设计增加97.5 nm缓冲层后,能够明显地展宽反射光谱范围。由原来的192.4 nm展宽到345.6 nm,并且在650~1250 nm波长范围内的边带截止度均比不含缓冲层结构的要深。入射光为TM偏振光,以类似FE结构的滤光片在布儒斯特角入射时,在700~1300 nm波长范围内,较不含缓冲层的结构,也能够获得更宽的截止带反射光谱和更深的截止度。在提出的膜系结构中,经过优化膜系、选择合适的光栅参数等,可以使反射光谱具有更好的截止特性,同时保证设计的共振峰位置不变。 展开更多
关键词 薄膜 导模共振 光栅 缓冲层 反射滤光片 截止特性 布儒斯特角
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亚波长波导光栅导模共振研究 被引量:7
11
作者 秦涛 石建平 陈旭南 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期25-27,共3页
弱调制介质光栅可等效为平板波导,经其衍射的高级次子波与波导模式耦合时,形成导模 共振。由高级子波在介质光栅中的光程及菲涅耳相移,导出了垂直入射时弱调制介质光栅共振位置的解析表达式,其预测结果和严格耦合波理论所得值一致。导... 弱调制介质光栅可等效为平板波导,经其衍射的高级次子波与波导模式耦合时,形成导模 共振。由高级子波在介质光栅中的光程及菲涅耳相移,导出了垂直入射时弱调制介质光栅共振位置的解析表达式,其预测结果和严格耦合波理论所得值一致。导模共振对入射波参数和光栅参数极为敏感,具有窄带效应,可用来制作窄带滤波片。 展开更多
关键词 导模共振 波导光栅 共振位置
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基于氮化镓的导模共振滤波器仿真分析 被引量:6
12
作者 赵昊 诸波 +1 位作者 胡芳仁 魏润润 《光通信研究》 北大核心 2014年第6期55-58,共4页
根据严格耦合波理论和等效介质理论,提出了针对C波段、基于半导体材料氮化镓的亚波长导模共振滤波器结构及设计方法。详细探讨了在强调制光栅的高占空比作用下,光栅周期和入射波角度对滤波器反射谱共振波长的影响。在保持滤波效果为... 根据严格耦合波理论和等效介质理论,提出了针对C波段、基于半导体材料氮化镓的亚波长导模共振滤波器结构及设计方法。详细探讨了在强调制光栅的高占空比作用下,光栅周期和入射波角度对滤波器反射谱共振波长的影响。在保持滤波效果为高衍射率(共振波长峰值反射率达到99.5%以上)、低旁带和窄线宽的条件下,利用其对入射波角度的敏感性,结合仿真数值提出了一种通过 MEMS(微机电系统)平面反射镜调谐入射角角度(0-4.07°),从而线性地控制共振波长输出(调谐范围为36 nm),实现峰值半宽高低于0.8 nm的C波段可调滤波器。 展开更多
关键词 导模共振 氮化镓 滤波器 微机电系统
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层叠亚波长光栅中的模式匹配分析法 被引量:4
13
作者 张锦龙 史帅凯 +1 位作者 焦宏飞 程鑫彬 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期44-52,共9页
模式匹配分析法是计算亚波长光栅衍射效应的一种高效方法。对于亚波长层叠光栅,相邻的不同介质层边界处电磁场切向分量连续,每层中电磁场的各个波导模式对该层中电磁场的贡献与相邻层中电磁场切向分量的贡献相等,相邻层间模式匹配,故可... 模式匹配分析法是计算亚波长光栅衍射效应的一种高效方法。对于亚波长层叠光栅,相邻的不同介质层边界处电磁场切向分量连续,每层中电磁场的各个波导模式对该层中电磁场的贡献与相邻层中电磁场切向分量的贡献相等,相邻层间模式匹配,故可将模式匹配分析法应用于亚波长层叠光栅中。通过具体实例比较了由模式匹配分析法与严格耦合波分析法计算得到的光栅衍射效率和电磁场强度分布,对比结果表明模式匹配分析法在分析亚波长层叠介质光栅方面相较于严格耦合波分析法更为高效,在收敛性以及计算速度方面有着独特的优势,且对于深刻理解层叠光栅对电磁波的衍射效应以及结合优化方法设计新型亚波长光栅、新型超表面方面具有重要意义。 展开更多
关键词 光纤光学 层叠亚波长光栅 模式匹配分析法 严格耦合波分析 导模共振
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可见光波段的窄带导模共振滤光片的设计 被引量:4
14
作者 郑煌晏 胡芳仁 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期118-121,共4页
为了使导模共振滤光片能在可见光范围内表现出良好的滤光效果,根据严格耦合波理论和等效介质理论,提出基于半导体材料单晶氧化锌薄膜的亚波长导模共振光栅滤光片的结构设计。通过仿真分析可知,该滤光片在可见光范围内的475nm,530nm与65... 为了使导模共振滤光片能在可见光范围内表现出良好的滤光效果,根据严格耦合波理论和等效介质理论,提出基于半导体材料单晶氧化锌薄膜的亚波长导模共振光栅滤光片的结构设计。通过仿真分析可知,该滤光片在可见光范围内的475nm,530nm与650nm波长处,反射效率都达到了100%,旁带反射率低于4%,并且峰值带宽均小于0.3nm。结果表明,该滤光片能分别在可见光的红、绿、蓝波段表现出良好的滤光效果,可以作为三基色的滤光片,在彩色合成与调制中得到重要的应用。 展开更多
关键词 光栅 滤光片 导模共振 氧化锌
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基于导模共振滤波器的波长可调谐垂直腔面发射激光器的研究 被引量:4
15
作者 江孝伟 关宝璐 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期128-134,共7页
基于光栅层控制光波传播耦合波方程,设计了能够实现共振波长可调谐的亚波长光栅导模共振滤波器.通过调谐空气层的厚度,滤波器可以实现波长75nm的调谐,线宽均小于或等于1nm.将共振波长可调谐滤波器与中心波长为1.55μm的垂直腔面发射激光... 基于光栅层控制光波传播耦合波方程,设计了能够实现共振波长可调谐的亚波长光栅导模共振滤波器.通过调谐空气层的厚度,滤波器可以实现波长75nm的调谐,线宽均小于或等于1nm.将共振波长可调谐滤波器与中心波长为1.55μm的垂直腔面发射激光器(VCSEL)集成,形成了激射波长可调谐VCSEL.研究发现激射波长调谐范围与共振波长可调谐滤波器相同,而且在相同空气层厚度下,激射波长可调谐VCSEL的激射波长和共振波长可调谐滤波器的共振波长相同.该VCSEL不仅可以选择激射波长还可对输出横向模式进行选择. 展开更多
关键词 光栅 导模共振 滤波器 可调谐 垂直腔面发射激光器
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Study on guided-mode resonance characteristic of multilayer dielectric grating with broadband and wide using-angle 被引量:2
16
作者 汪剑鹏 晋云霞 +2 位作者 麻健勇 邵建达 范正修 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第5期276-287,共12页
Guided-mode resonance in a diffraction band of multilayer dielectric gratings may lead to a catastrophic result in laser system, especially in the ultrashort pulse laser system, so the inhibition of guided-mode resona... Guided-mode resonance in a diffraction band of multilayer dielectric gratings may lead to a catastrophic result in laser system, especially in the ultrashort pulse laser system, so the inhibition of guided-mode resonance is very important. In this paper the characteristics of guided-mode resonance in multilayer dielectric grating are studied with the aim of better understanding the physical process of guided-mode resonance and designing a broadband multilayer dielectric grating with no guided-mode resonance. By employing waveguide theory, all guided-wave modes appearing in multilayer dielectric grating are found, and the incident conditions, separately, corresponding to each guided-wave mode are also obtained. The electric field enhancement in multilayer dielectric grating is shown obviously. Furthermore, from the detailed analyses on the guided-mode resonance conditions, it is found that the reduction of the grating period would effectively avoid the appearing of guided-mode resonance. And the expressions for calculating maximum periods, which ensure that no guided-mode resonance occurs in the requiring broad angle or wavelength range, are first reported. The above results calculated by waveguide theory and Fourier mode method are compared with each other, and they are coincident completely. Moreover, the method that relies on waveguide theory is more helpful for understanding the guided-mode resonance excited process and analyzing how each parameter affects the characteristic of guided-mode resonance. Therefore, the effects of multilayer dielectric grating parameters, such as period, fill factor, thickness of grating layer, et al., on the guided-mode resonance characteristic are discussed in detail based on waveguide theory, and some meaningful results are obtained. 展开更多
关键词 multilayer dielectric grating guided-mode resonance broad band
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亚波长导模共振滤波器的研究概况 被引量:3
17
作者 李业 张大伟 +1 位作者 王琦 戴博 《光学仪器》 2016年第2期185-188,共4页
基于导模共振效应的亚波长滤波器具有高峰值效率、宽窄带以及低旁带等特点,是一种性能优良的滤波器结构。简要介绍了导模共振滤波器的基本理论、分析方法和一维双层亚波长光栅结构,从可调谐、多通道以及彩色滤光三个应用方面总结了导模... 基于导模共振效应的亚波长滤波器具有高峰值效率、宽窄带以及低旁带等特点,是一种性能优良的滤波器结构。简要介绍了导模共振滤波器的基本理论、分析方法和一维双层亚波长光栅结构,从可调谐、多通道以及彩色滤光三个应用方面总结了导模共振器件的研究进展,并分析了关键技术和技术难点。阐述了该器件的重要研究意义和应用价值。 展开更多
关键词 导模共振 滤波器 亚波长 多通道
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带虚设层的抗反射结构导模共振滤波器设计与分析 被引量:3
18
作者 桑田 蔡托 +2 位作者 刘芳 蔡绍洪 张大伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期326-331,共6页
提出带虚设层的抗反射导模共振滤波器结构及设计方法,该方法适用于任意角度入射带虚设层的抗反射结构导模共振滤波器设计与分析.得到带虚设层的导模共振滤波器抗反射结构所满足的关系式.指出在维持虚设层光学厚度不变的情况下,可以通过... 提出带虚设层的抗反射导模共振滤波器结构及设计方法,该方法适用于任意角度入射带虚设层的抗反射结构导模共振滤波器设计与分析.得到带虚设层的导模共振滤波器抗反射结构所满足的关系式.指出在维持虚设层光学厚度不变的情况下,可以通过不同选材,在低反射旁带中实现等带宽不同波长的选择.此外,由于结构的抗反射特性在低角范围内具有较大的角度容差,改变入射角,可以实现滤波波长及光谱带宽在宽光谱范围内的准线性可调谐. 展开更多
关键词 虚设层 抗反射 导模共振 滤波
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正交双光栅结构的导模共振光谱特性 被引量:3
19
作者 王振华 吴永刚 +3 位作者 凌磊婕 夏子奂 陈乃波 刘仁臣 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期30-35,共6页
将两个弱调制导模共振光栅相互垂直放置构成新型正交光栅结构。应用严格耦合波理论计算了横电/横磁(TE/TM)偏振光入射时的光谱特性,并分析了该结构的导模共振现象。研究表明,当改变两光栅间隔距离时,正交光栅结构呈现出较大的光谱可... 将两个弱调制导模共振光栅相互垂直放置构成新型正交光栅结构。应用严格耦合波理论计算了横电/横磁(TE/TM)偏振光入射时的光谱特性,并分析了该结构的导模共振现象。研究表明,当改变两光栅间隔距离时,正交光栅结构呈现出较大的光谱可调范围(共振峰间距由0~62.7 nm连续可调);当分别以TE/TM偏振光正入射时,两种偏振光对应的共振波长位置保持不变、光谱曲线相同,相当于平行双光栅结构对应光谱的叠加。TE/TM偏振光倾斜入射时反射峰发生分裂,同时在入射面为P1面时582.3 nm和590.8 nm共振波长位置处,及入射面为P2面时590.8 nm和612.4 nm共振波长位置处呈现出峰位随入射角的增加保持不变的特性。 展开更多
关键词 光栅 导模共振 正交光栅 偏振光 严格耦合波理论
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超窄线宽导模共振滤波器的设计 被引量:3
20
作者 刘振扬 关宝璐 +1 位作者 胡丕丽 梁津 《半导体光电》 CAS 北大核心 2019年第1期72-76,共5页
亚波长光栅导模共振滤波器,具有高峰值反射率、低旁带反射和窄带等特点,能够实现基于高低折射率介质的滤波器所无法达到的独特功能。设计了中心波长为852nm的带有间隔层、线宽可控的超窄线宽导模共振滤波器,并分析了主要参数对反射光谱... 亚波长光栅导模共振滤波器,具有高峰值反射率、低旁带反射和窄带等特点,能够实现基于高低折射率介质的滤波器所无法达到的独特功能。设计了中心波长为852nm的带有间隔层、线宽可控的超窄线宽导模共振滤波器,并分析了主要参数对反射光谱的影响。选择弱调制的介质作为光栅层,并在光栅层和波导层之间插入一层低折射率的介质作为间隔层来减小光栅层和波导层之间的耦合强度,进而使导模共振滤波器的线宽达到0.02nm的超窄程度,并且该结构中的光栅厚度、占空比等对反射光谱的影响极小,均利于其工艺制备。 展开更多
关键词 亚波长光栅 导模共振 滤波器 超窄线宽
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