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大直径硅片超精密磨削技术的研究与应用现状 被引量:59
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作者 康仁科 田业冰 +1 位作者 郭东明 金洙吉 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2003年第4期13-18,25,共7页
随着IC制造技术的飞速发展 ,为了增加IC芯片产量和降低单元制造成本 ,硅片趋向大直径化 ,原始硅片的厚度也相应增大以保证大尺寸硅片的强度 ;与此相反 ,为了满足IC封装的要求 ,芯片的厚度却不断减小 ,需要对图形硅片进行背面减薄。硅片... 随着IC制造技术的飞速发展 ,为了增加IC芯片产量和降低单元制造成本 ,硅片趋向大直径化 ,原始硅片的厚度也相应增大以保证大尺寸硅片的强度 ;与此相反 ,为了满足IC封装的要求 ,芯片的厚度却不断减小 ,需要对图形硅片进行背面减薄。硅片和芯片尺寸变化所导致的硅片加工量的增加以及对硅片加工精度和表面质量更高的要求 ,使已有的硅片加工技术面临严峻的挑战。本文详细分析了传统硅片加工工艺的局限性 ,介绍了几种大直径硅片超精密磨削加工工艺的原理和特点 ,评述了国内外硅片超精密磨削技术与装备研究和应用的现状及发展方向 ,强调了我国开展大直径硅片超精密磨削技术和装备研究的必要性。 展开更多
关键词 IC芯片 硅片 超精密磨削 砂轮 磨床 集成电路
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释放液体式自动平衡头的研究 被引量:34
2
作者 贺世正 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期418-422,共5页
为克服磨床的液体式平衡头只能进行喷液平衡而限制其应用的缺点 ,研究了液体平衡头的释放问题 .提出了一种能均匀进液又能释放进行动平衡的新颖平衡头设计方案 ,并且就液体释放中的一些问题作了分析讨论 .实验采用了微机控制全自动平衡... 为克服磨床的液体式平衡头只能进行喷液平衡而限制其应用的缺点 ,研究了液体平衡头的释放问题 .提出了一种能均匀进液又能释放进行动平衡的新颖平衡头设计方案 ,并且就液体释放中的一些问题作了分析讨论 .实验采用了微机控制全自动平衡方法 .实验证明 ,这种平衡头是可靠的 。 展开更多
关键词 动平衡 磨床 自动化
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磨机磨矿效率影响因素分析 被引量:39
3
作者 刘志伟 《有色金属(选矿部分)》 CAS 北大核心 2018年第4期66-69,共4页
磨矿效率是衡量磨机生产综合性能的重要的参数指标,本文综合论述了入磨矿石粒度、磨矿介质、矿浆流变特性、磨矿浓度、返砂比、磨机衬板、助磨剂等因素对球磨机磨矿效率的影响,并要求磨矿生产过程应具有较高的自动化水平。
关键词 磨矿 磨矿介质 筒体衬板 磨矿效率 球磨机
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五轴联动数控展成电解磨削整体叶轮的控制方法 被引量:19
4
作者 干为民 徐家文 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期228-231,共4页
分析了整体叶轮叶片型面精加工的现状 .为解决整体叶轮叶片型面的精加工难题 ,进行了五轴联动数控展成电解磨削的基础研究 .其中 ,控制导电磨轮相对整体叶轮叶片型面的展成运动是问题的关键 .根据数控展成电解磨削整体叶轮叶片型面这一... 分析了整体叶轮叶片型面精加工的现状 .为解决整体叶轮叶片型面的精加工难题 ,进行了五轴联动数控展成电解磨削的基础研究 .其中 ,控制导电磨轮相对整体叶轮叶片型面的展成运动是问题的关键 .根据数控展成电解磨削整体叶轮叶片型面这一加工方法的特点 ,在分析了数控展成电解磨床的结构与运动的基础上 ,介绍了经济型多轴数控系统及其联动控制方法 ,建立了电解磨削非平行直纹展成曲面的数学模型 ,开发了五轴联动数控展成电解磨削自动数控编程系统 。 展开更多
关键词 五轴联动 电解 磨削 整体叶轮 控制方法 叶片型面 精加工 航空发动机
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带钢表面振动纹的产生及其抑制 被引量:14
5
作者 陈培林 王泽济 《钢铁》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期49-52,共4页
从振动纹的物理特征分析入手,阐述了振动纹与轧机振动之间的关系,通过对轧辊与磨床的振动测试和模态分析研究了轧辊辊系、工作辊轴承、主传动接轴和轧辊磨床对振动纹的影响。结果表明,振动纹是由板面振波由于对光的不同反射角度而引起... 从振动纹的物理特征分析入手,阐述了振动纹与轧机振动之间的关系,通过对轧辊与磨床的振动测试和模态分析研究了轧辊辊系、工作辊轴承、主传动接轴和轧辊磨床对振动纹的影响。结果表明,振动纹是由板面振波由于对光的不同反射角度而引起的一种视觉现象;带钢振纹的产生有2种途径,一是轧机(平整机)发生了一定频率的振动,另一个是轧辊表面本身已有了振纹;可通过轧辊直径匹配法、定期监测滚动轴承倍频峰值、对磨床加装阻尼减振器、改变轧制速度和磨削速度、加强设备日常维护等措施对振动纹进行抑制。 展开更多
关键词 振动纹 轧机 磨床 带钢
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正在崛起的一次性植物秸杆餐具 被引量:13
6
作者 刘志忱 王延江 《包装与食品机械》 CAS 1998年第4期26-28,共3页
本文介绍了一种纯天然绿色包装项目,一次性植物秸杆餐具的生产工艺流程、原料制配原理、成型模具设计特点和相关机械设备。同时为一次性植物秸杆餐具提供了理论依据。
关键词 一次性 秸杆餐具 纸质餐具 工艺 快餐具
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渐开线碟形砂轮磨削面齿轮数控加工研究 被引量:14
7
作者 王延忠 侯良威 +4 位作者 兰州 钟扬 赵洪铺 吕庆军 赵兴福 《航空动力学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2033-2041,共9页
为进行面齿轮数控精密加工,提出了一种渐开线碟形砂轮磨削面齿轮加工方法.根据面齿轮成形过程及磨削加工原理,推导了渐开线碟形砂轮磨削面齿轮齿面方程,进行了面齿轮磨削加工机床设计,给出了基于机床结构的面齿轮磨削加工方法,进行了磨... 为进行面齿轮数控精密加工,提出了一种渐开线碟形砂轮磨削面齿轮加工方法.根据面齿轮成形过程及磨削加工原理,推导了渐开线碟形砂轮磨削面齿轮齿面方程,进行了面齿轮磨削加工机床设计,给出了基于机床结构的面齿轮磨削加工方法,进行了磨削加工过程中的啮合点刀位计算;借助VERICUT软件进行了面齿轮数控磨削加工仿真,最后进行了面齿轮磨削加工试验,通过对面齿轮齿面进行检测,得到齿面偏差最大值为-10.1~12.1μm,结果验证了渐开线碟形砂轮磨削加工面齿轮方法的正确性. 展开更多
关键词 面齿轮 磨削加工 碟形砂轮 机床设计 刀位计算
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关于面齿轮磨削加工机床的研究 被引量:12
8
作者 赵宁 刘常青 《机械设计与制造》 北大核心 2007年第10期151-152,共2页
对面齿轮的磨削加工机床进行了研究,从建立加工坐标系入手分析了磨削机床设计原理,并在此基础上初步建立了磨削机床的几何模型。还对磨床的操作进行了分析,包括手动安装调试和数控加工过程。
关键词 面齿轮 磨削 磨床 数控加工
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数控螺旋锥齿轮磨齿机加工仿真系统的研究 被引量:12
9
作者 于水琴 曾韬 《机械制造》 2008年第3期5-7,共3页
分析了螺旋锥齿轮磨齿加工的基本原理,以AutoCAD为开发平台,利用AutoCAD内嵌的VBA编程语言,建立了基于尺寸驱动的齿坯和砂轮的实体模型,将数控螺旋锥齿轮磨齿机的各轴运动转化为砂轮和齿坯的相对位置调整,通过砂轮与齿坯之间的相减布尔... 分析了螺旋锥齿轮磨齿加工的基本原理,以AutoCAD为开发平台,利用AutoCAD内嵌的VBA编程语言,建立了基于尺寸驱动的齿坯和砂轮的实体模型,将数控螺旋锥齿轮磨齿机的各轴运动转化为砂轮和齿坯的相对位置调整,通过砂轮与齿坯之间的相减布尔运算模拟磨齿加工过程,通过仿真实例验证了仿真算法的正确性。数控螺旋锥齿轮磨齿加工仿真系统为精确生成齿轮的三雏实体模型以及验证机床调整参数提供了解决方法。 展开更多
关键词 螺旋锥齿轮 磨齿机 加工仿真 CNC
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外圆磨床数控系统研究 被引量:11
10
作者 胡东红 王平江 陈吉红 《机床与液压》 北大核心 2009年第5期5-10,共6页
以外圆磨床的基本结构和基本动作为基础,根据工件轮廓形状,用一系列直线和圆弧描述成型砂轮的外形轮廓,实现了数控砂轮定型和砂轮修整的自动控制;利用端面量仪,实现了工件坐标原点的自动精确定位;采用径向量仪主动测量技术,实现了外圆... 以外圆磨床的基本结构和基本动作为基础,根据工件轮廓形状,用一系列直线和圆弧描述成型砂轮的外形轮廓,实现了数控砂轮定型和砂轮修整的自动控制;利用端面量仪,实现了工件坐标原点的自动精确定位;采用径向量仪主动测量技术,实现了外圆磨加工的主动在线测量;通过对磨削加工工件计数,实现了砂轮自动修整,并对砂轮原点和工件坐标原点进行自动补偿。从而实现了从砂轮定型、工件坐标原点定位、磨削加工、砂轮修整、砂轮原点和工件坐标原点自动补偿的全自动加工控制过程。经过实际应用检测,利用本系统加工零件的外圆尺寸、外圆锥度、锥高、锥角、圆度符合用户需求,精度达到1μm。 展开更多
关键词 数控 磨床 磨削加工 砂轮 成型砂轮
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Comparative assessment of force,temperature,and wheel wear in sustainable grinding aerospace alloy using biolubricant 被引量:9
11
作者 Xin CUI Changhe LI +8 位作者 Yanbin ZHANG Wenfeng DING Qinglong AN Bo LIU Hao Nan LI Zafar SAID Shubham SHARMA Runze LI Sujan DEBNATH 《Frontiers of Mechanical Engineering》 SCIE CSCD 2023年第1期1-33,共33页
The substitution of biolubricant for mineral cutting fluids in aerospace material grinding is an inevitable development direction,under the requirements of the worldwide carbon emission strategy.However,serious tool w... The substitution of biolubricant for mineral cutting fluids in aerospace material grinding is an inevitable development direction,under the requirements of the worldwide carbon emission strategy.However,serious tool wear and workpiece damage in difficult-to-machine material grinding challenges the availability of using biolubricants via minimum quantity lubrication.The primary cause for this condition is the unknown and complex influencing mechanisms of the biolubricant physicochemical properties on grindability.In this review,a comparative assessment of grindability is performed using titanium alloy,nickel-based alloy,and high-strength steel.Firstly,this work considers the physicochemical properties as the main factors,and the antifriction and heat dissipation behaviours of biolubricant in a high temperature and pressure interface are comprehensively analysed.Secondly,the comparative assessment of force,temperature,wheel wear and workpiece surface for titanium alloy,nickel-based alloy,and high-strength steel confirms that biolubricant is a potential replacement of traditional cutting fluids because of its improved lubrication and cooling performance.High-viscosity biolubricant and nano-enhancers with high thermal conductivity are recommended for titanium alloy to solve the burn puzzle of the workpiece.Biolubricant with high viscosity and high fatty acid saturation characteristics should be used to overcome the bottleneck of wheel wear and nickel-based alloy surface burn.The nano-enhancers with high hardness and spherical characteristics are better choices.Furthermore,a different option is available for high-strength steel grinding,which needs low-viscosity biolubricant to address the debris breaking difficulty and wheel clogging.Finally,the current challenges and potential methods are proposed to promote the application of biolubricant. 展开更多
关键词 grinding AEROSPACE difficult-to-machine material biolubricant physicochemical property grindABILITY
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恒速磨削的实现方法与机床设计 被引量:11
12
作者 赵永强 侯红玲 +1 位作者 李志峰 白海清 《机床与液压》 北大核心 2010年第6期7-8,3,共3页
针对复杂型面传动件磨削质量多变的状况,以工件的外圆磨削为例分析磨削过程中磨削速度变化的原因,提出一种新的磨床结构,利用CNC砂轮修整器和伺服数控系统完善了磨床的功能。该磨床既可以快速准确地完成复杂型面传动件磨削所用砂轮的修... 针对复杂型面传动件磨削质量多变的状况,以工件的外圆磨削为例分析磨削过程中磨削速度变化的原因,提出一种新的磨床结构,利用CNC砂轮修整器和伺服数控系统完善了磨床的功能。该磨床既可以快速准确地完成复杂型面传动件磨削所用砂轮的修型,也可以实现恒速磨削,从而提高工件的磨削质量和磨削效率。 展开更多
关键词 磨床 恒速磨削 砂轮修整 CNC
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基于PLC的机械手自动上下料控制系统设计 被引量:11
13
作者 王学良 张秋菊 《中国制造业信息化(学术版)》 2012年第8期59-62,共4页
针对盘型齿轮的特点,设计了一种采用机械手的自动上下料系统,以满足机床高效率、高质量的自动化加工需要。该系统用PLC作为控制器,触摸屏显示,实现了自动从输送线上取工件放到磨齿机上,同时将加工完成的工件经甩油处理后再送回输送线的... 针对盘型齿轮的特点,设计了一种采用机械手的自动上下料系统,以满足机床高效率、高质量的自动化加工需要。该系统用PLC作为控制器,触摸屏显示,实现了自动从输送线上取工件放到磨齿机上,同时将加工完成的工件经甩油处理后再送回输送线的控制要求。采用高分辨率的伺服系统和精确的位置传感器保证机械手动作的快速与准确定位。该系统的应用,有效地缩短了齿轮磨床上下料时间,提高了生产效率和整机自动化水平。 展开更多
关键词 磨齿机 上下料系统 伺服系统 PLC
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曲线钢轨波磨打磨方法 被引量:10
14
作者 尧辉明 沈钢 崔巍 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期1162-1167,共6页
在研究地铁波磨成因机理基础上,调研分析了现有打磨手段特点和局限性,提出了一种新型的简易打磨方法,实现了更精准和有效的快速打磨.研制了自动化便携式多轮组打磨装置,在地铁线路上进行了打磨试验,并对地铁线路曲线钢轨波磨区段进行了... 在研究地铁波磨成因机理基础上,调研分析了现有打磨手段特点和局限性,提出了一种新型的简易打磨方法,实现了更精准和有效的快速打磨.研制了自动化便携式多轮组打磨装置,在地铁线路上进行了打磨试验,并对地铁线路曲线钢轨波磨区段进行了添乘车厢振动和噪声测试以及波磨数据的精确测量.打磨前后的测试数据和波磨测量数据表明,打磨后的线路车辆车厢振动明显降低,打磨前出现的啸叫声完全消失,噪声明显减弱,表明所研制的打磨机对曲线段的钢轨波磨能进行有效治理,打磨效果和效率优于传统的打磨方法和装置. 展开更多
关键词 钢轨波磨 钢轨打磨 曲线钢轨 打磨机
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降低齿轮齿距累积偏差的方法 被引量:9
15
作者 宋洪侠 赵苏苏 +1 位作者 娄志峰 王立鼎 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1796-1801,共6页
为了减小齿轮磨削加工中的磨床系统分度误差,提高齿轮加工精度,分析了齿轮磨床分度误差、齿轮安装偏心和齿轮齿距偏差之间的关系,获得了分度误差的计算方法,并计算出了齿轮磨床的分度误差。依据计算得到的分度误差值调整磨床,降低磨床... 为了减小齿轮磨削加工中的磨床系统分度误差,提高齿轮加工精度,分析了齿轮磨床分度误差、齿轮安装偏心和齿轮齿距偏差之间的关系,获得了分度误差的计算方法,并计算出了齿轮磨床的分度误差。依据计算得到的分度误差值调整磨床,降低磨床分度误差,减小齿轮齿距累积偏差,提高了齿轮加工精度。以Y7125大平面砂轮磨齿机床为例验证了提出方法的可行性。建立了齿轮安装偏心和齿廓偏差的数学模型,求出了齿轮安装偏心的幅值和相位角,然后由齿轮安装偏心、磨床分度误差和齿轮齿距偏差的关系得到磨床的分度误差值。根据计算得到的分度误差值调整磨床分度盘,使磨床的分度误差从17.7μm减少为3.3μm,被加工齿轮的齿距累积总偏差由46.9μm降低到11.5μm,齿距精度达到三级。验证结果表明,按照这种方法调整磨床可以快速有效地降低磨床的系统分度误差,从而降低齿轮的齿距累积偏差。 展开更多
关键词 磨床 齿轮磨削 齿距偏差 齿廓偏差 安装偏心 分度误差
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轴承磨床的参数创成式模块化设计 被引量:7
16
作者 张利 朱芸 张建军 《轴承》 北大核心 2003年第12期14-17,共4页
产品族设计是面向大批量定制的产品开发方法 ,其基本设计方法是模块化设计 ,本文针对轴承磨床的设计特点 ,分析了传统模块化设计和广义模块化设计的特点和局限性 ,提出了参数化、模块动态匹配的参数创成式模块化设计方法 ,并结合轴承磨... 产品族设计是面向大批量定制的产品开发方法 ,其基本设计方法是模块化设计 ,本文针对轴承磨床的设计特点 ,分析了传统模块化设计和广义模块化设计的特点和局限性 ,提出了参数化、模块动态匹配的参数创成式模块化设计方法 ,并结合轴承磨床给出了参数创成式模块化设计的原理及关键技术。 展开更多
关键词 磨床 动态 参数创成式模块化设计 结构优化
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基于最大熵原理与鉴别信息的机床主轴系统退化分析 被引量:9
17
作者 董新峰 李郝林 余慧杰 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2013年第5期62-64,80,共4页
采用最大熵原理与鉴别信息方法对M1432B型磨床工件主轴X_2方向退化进行分析:用最大熵原理获得工件主轴在4~10月份振动信号最大熵概率密度分布,再用鉴别信息对该概率密度分布变化进行计算,通过鉴别信息变化判断主轴系统状态的变化,结果... 采用最大熵原理与鉴别信息方法对M1432B型磨床工件主轴X_2方向退化进行分析:用最大熵原理获得工件主轴在4~10月份振动信号最大熵概率密度分布,再用鉴别信息对该概率密度分布变化进行计算,通过鉴别信息变化判断主轴系统状态的变化,结果表明,M1432B型磨床工件主轴X_2方向发生微小退化。 展开更多
关键词 最大熵原理 鉴别信息 退化分析 M1432型磨床
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一种新型平面研磨机的研制与实验 被引量:7
18
作者 沙琳 王永良 张登霞 《机械设计》 CSCD 北大核心 2007年第1期57-60,共4页
根据研磨最佳运动学条件,结合现有研磨机,研制了新型行星轮式恒速率变向平面研磨机。研磨机具有被研磨表面各点研磨轨迹相同、速度相同,研磨运动方向恒速率变向的运动特性。利用研磨实验机进行了大量研磨实验,取得了很好的研磨效果,研... 根据研磨最佳运动学条件,结合现有研磨机,研制了新型行星轮式恒速率变向平面研磨机。研磨机具有被研磨表面各点研磨轨迹相同、速度相同,研磨运动方向恒速率变向的运动特性。利用研磨实验机进行了大量研磨实验,取得了很好的研磨效果,研磨表面Ra可至纳米级。 展开更多
关键词 恒速率变向 平面研磨 研磨机
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基于PLC的绝热层打磨机控制系统设计 被引量:7
19
作者 陆波 盛强 《制造技术与机床》 北大核心 2020年第3期32-34,共3页
针对小口径固体火箭发动机舱绝热层的打磨作业对自动化打磨的要求,提出利用三菱FX3U系列PLC和威纶通触摸屏,设计了一种具有正常打磨功能和断点打磨功能的PLC控制系统,该系统能够在正常打磨情况下实现绝热层的自动化打磨,也可在系统发生... 针对小口径固体火箭发动机舱绝热层的打磨作业对自动化打磨的要求,提出利用三菱FX3U系列PLC和威纶通触摸屏,设计了一种具有正常打磨功能和断点打磨功能的PLC控制系统,该系统能够在正常打磨情况下实现绝热层的自动化打磨,也可在系统发生故障、急停、停断电的情况下实现断点打磨功能。详细论述了打磨机及其控制系统的硬件组成,并给出了打磨速度控制策略和打磨工序控制流程。实际应用结果表明,该绝热层打磨机控制系统具有操作简单、系统运行安全可靠及功能丰富等优点,且人机交互界面易于操作,能够有效地解决人工打磨造成绝热层打磨不均匀和生产效率低等问题。 展开更多
关键词 打磨机 绝热层 打磨速度 断点打磨 PLC
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精密磨削机床智能监测系统开发与应用 被引量:7
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作者 毕果 汤期林 +4 位作者 王振忠 杨平 杨炜 彭云峰 郭隐彪 《航空制造技术》 2019年第6期32-40,共9页
以大口径光学元件精密与超精密磨削为监控对象,搭建磨削机床智能监测系统,探索智能磨削监控共性技术。监测系统以NI-PXI为主要运行硬件平台,建立与数控系统的通信,以机床内部、内置和外置传感器相结合的方式,自动获取机床运行过程和磨... 以大口径光学元件精密与超精密磨削为监控对象,搭建磨削机床智能监测系统,探索智能磨削监控共性技术。监测系统以NI-PXI为主要运行硬件平台,建立与数控系统的通信,以机床内部、内置和外置传感器相结合的方式,自动获取机床运行过程和磨削加工过程的重要动态过程信号以及其他相关数据,通过对磨削机床全生命过程延伸数据体系的管理与分析,实现机床热平衡监测与热误差补偿、磨削液循环监控以及砂轮磨削性能退化在线评估等目标,以智能监控方式确保磨削机床长期平稳运行和加工质量稳定。 展开更多
关键词 智能监测系统 精密与超精密磨削 磨削机床 加工过程监测 大口径光学元件 金刚石砂轮
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