期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
用灰阶编码掩模制作折/衍混合微光学元件 被引量：1
1
作者 肖啸 《光学与光电技术》 2005年第2期48-50,共3页
设计了消色差的折/衍混合微光学元件的灰阶掩模,该掩模对光刻过程中的畸变进行了预校正,并给出了模拟计算的的结果。
关键词 混合光学 灰阶编码 消色差
下载PDF
基于灰阶编码方法设计制作软边狭缝光阑 被引量：1
2
作者 吴翠翠 高福华 +2 位作者 黄德权 阳泽健 郭永康 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期373-377,共5页
针对高能激光系统中狭缝光阑的应用需要,提出了一种基于灰阶编码思想的狭缝软边光阑的设计方法.在标量衍射理论的基础上通过模拟计算,研究了狭缝软边光阑的衍射传输特性,并将结果与传统硬边光阑进行了比较.结果表明,光束通过这种光阑,... 针对高能激光系统中狭缝光阑的应用需要,提出了一种基于灰阶编码思想的狭缝软边光阑的设计方法.在标量衍射理论的基础上通过模拟计算,研究了狭缝软边光阑的衍射传输特性,并将结果与传统硬边光阑进行了比较.结果表明,光束通过这种光阑,高频衍射调制得到很好的抑制,光束质量有明显改善,并有较高的传输能量利用率.这为衍射光阑的制作及其在激光工程中的应用提供了新的思路和方法. 展开更多
关键词 标量衍射理论 软边狭缝光阑 灰阶编码 锯齿光阑 光束整形
原文传递
误差扩散法设计用于惯性约束聚变驱动器的色分离光栅-光束采样光栅集成元件
3
作者 张怡霄 姚欣 +1 位作者 高福华 郭永康 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1788-1792,共5页
针对多次曝光法制作集成衍射光学元件时存在的加工制作复杂,会引入较大的对位误差等问题,基于计算全息中的误差扩散编码原理及部分相干光成像理论,提出采用误差扩散编码方法来设计用于制作浮雕结构集成元件的编码掩模的新方法。给出了... 针对多次曝光法制作集成衍射光学元件时存在的加工制作复杂,会引入较大的对位误差等问题,基于计算全息中的误差扩散编码原理及部分相干光成像理论,提出采用误差扩散编码方法来设计用于制作浮雕结构集成元件的编码掩模的新方法。给出了利用误差扩散法设计的色分离光栅-光束采样光栅(CSG-BSG)集成元件编码掩模,模拟计算了经部分相干成像系统后的空间像光强分布,并与理想的集成元件面形进行了比较。结果表明,校正后均方差为7.5%,体积偏差为10.2%。 展开更多
关键词 集成光学 误差扩散 灰阶编码 色分离光栅(CSG) 光束采样光栅(BSG) 惯性约束聚变驱动器
原文传递
用灰阶编码掩模实现邻近效应精细校正的研究 被引量：5
4
作者 杜惊雷 粟敬钦 +4 位作者 罗克俭 张怡霄 郭永康 崔铮 周崇喜 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期518-524,共7页
提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法 ,并阐述了新方法的特点。讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系 ,给出了灰阶编码掩模实现光学邻近效应校正的模拟结果 ,校正后的综合面积偏差比校正前减少了 1... 提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法 ,并阐述了新方法的特点。讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系 ,给出了灰阶编码掩模实现光学邻近效应校正的模拟结果 ,校正后的综合面积偏差比校正前减少了 10 %。 展开更多
关键词 光学邻近校正 灰阶编码掩模 光刻
原文传递
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部