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利用双光子聚合技术制备的聚合物型光栅光波导和耦合光栅 被引量:5
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作者 于晓强 张献 +6 位作者 许贵宝 赵华平 何畏 邵宗书 蒋民华 孙渝明 刘恩泉 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1931-1933,共3页
Two ternary materials systems, which comprise two-photon initiators, oligomer and poly(methyl methacrylate), were prepared. A polymeric waveguide film was manufactured by spinning the materials on ITO, and the two-pho... Two ternary materials systems, which comprise two-photon initiators, oligomer and poly(methyl methacrylate), were prepared. A polymeric waveguide film was manufactured by spinning the materials on ITO, and the two-photon initiated photopolymerization(TPIP) was carried out successfully in the waveguide film. Consequently, an approach using TPIP is demonstrated for fabrication of grating in a thin polymeric film possessing waveguide properties. The results show that the resulted grating can manipulate and couple light. 展开更多
关键词 双光子聚合技术 聚合物 光栅光波导 耦合光栅 集成光学器件
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极紫外光栅波导中TE_(0)模式有效折射率分析
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作者 毛亚星 曹清 +3 位作者 程长杰 朱吉瑞 陈文轩 肖晓琳 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第12期457-464,共8页
将极紫外光刻掩模板的吸收层视为光栅波导,对光栅波导的最低阶横电模式(TE_(0)模式)进行理论分析。根据光栅波导电场分布的对称性,首先指出其电场分布应为双曲余弦函数cosh(·),并提供了有效折射率的零阶近似值n_(eff,0)。利用有限... 将极紫外光刻掩模板的吸收层视为光栅波导,对光栅波导的最低阶横电模式(TE_(0)模式)进行理论分析。根据光栅波导电场分布的对称性,首先指出其电场分布应为双曲余弦函数cosh(·),并提供了有效折射率的零阶近似值n_(eff,0)。利用有限元软件对TE_(0)模式进行仿真,然后将模拟结果与解析表达式计算结果进行对比,验证理论猜测的准确性。在吸收材料为金和银的情况下,零阶近似值(n_(eff,0))的相对误差已分别小至0.75%和0.96%。在此基础上,进一步推导出了一个简单的适用于非亚波长光栅波导有效折射率(neff)的高阶迭代公式,并用其来减小零阶近似的相对误差。数值模拟结果表明,经过7次迭代后,相对误差已减小到0.11%;经过23次迭代后,相对误差小于10^(-5)。 展开更多
关键词 物理光学 极紫外 光栅波导 有效折射率 零阶近似值 高阶数值迭代
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利用导波耦合角度实时控制光刻胶光栅掩模的占宽比 被引量:2
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作者 林华 李立峰 曾理江 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期767-772,共6页
研究一种控制多层介质膜上的光刻胶光栅掩模占宽比(线宽与周期之比)的新方法。该方法基于下面的原理:如果某泄漏模在包层中的隐失尾较强,那么它的等效折射率受光刻胶光栅占宽比变化的影响就大,从而可以利用耦合角度来实时控制光栅占宽... 研究一种控制多层介质膜上的光刻胶光栅掩模占宽比(线宽与周期之比)的新方法。该方法基于下面的原理:如果某泄漏模在包层中的隐失尾较强,那么它的等效折射率受光刻胶光栅占宽比变化的影响就大,从而可以利用耦合角度来实时控制光栅占宽比。在光栅制作的显影阶段,采用实时监测技术,根据耦合角度和占宽比之间的关系预设入射光角度,在出现共振反常的时刻停止显影来控制占宽比。实验结果表明,固定适当的入射角度可以得到特定的占宽比;改变入射角度,占宽比按照预计的规律变化,因此定性地验证了这种占宽比控制方法的可行性。文中给出了监控装置和具体的实验方法,并讨论了误差来源和影响。 展开更多
关键词 物理光学 光刻胶光栅 光栅波导 占宽比 实时监控技术
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Fabrication of grating waveguide using photopolymerization
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作者 姚书山 秦晓燕 +7 位作者 于晓强 张奇 许光辉 王泽岩 董毅 荆象阳 孙渝明 黄柏标 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2006年第B01期88-91,共4页
Two ternary materials systems, which comprise photoinitiator/two-photon initiators, oligomer and binder were prepared. Polymeric waveguide film was manufactured by spinning the materials on optical glass (refraction i... Two ternary materials systems, which comprise photoinitiator/two-photon initiators, oligomer and binder were prepared. Polymeric waveguide film was manufactured by spinning the materials on optical glass (refraction index=1.5), the two-photon initiated photopolymerization (TPIP) and single-photon holographic photopolymerization were carried out respectively in the polymer waveguide film. The preparation of these materials was explained and absorption spectra were tested. The experimental results including the micrographs and diffraction patterns verifying the formation of grating waveguide structures were given. The results show that grating waveguide microstructures can be holographically fabricated by single-photon photopolymerization with low-power (tens mW ) continuous-wave (CW) laser at 532 nm successfully. Because the continuous-wave laser at 532 nm is handier than one at 514 nm. 展开更多
关键词 光化聚合作用 光栅 波导 制造 光学性质
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高边缘视场光学效率的衍射波导准直投影镜头设计
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作者 黄战华 高懿冰 +3 位作者 伍圆军 潘成 芦畅泰 张尹馨 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第1期54-62,78,共10页
随着微型发光二极管(micro-light emitting diode,Micro-LED)微型图像源被应用于增强现实(augmented reality,AR)显示技术,AR显示系统朝着超小型化方向发展。然而Micro-LED图像源发光角度大,准直投影镜头要求体积小且像质高,其产生的渐... 随着微型发光二极管(micro-light emitting diode,Micro-LED)微型图像源被应用于增强现实(augmented reality,AR)显示技术,AR显示系统朝着超小型化方向发展。然而Micro-LED图像源发光角度大,准直投影镜头要求体积小且像质高,其产生的渐晕现象也导致视场(field of view,FOV)边缘处光学效率低、照度不均匀,这对AR光学系统设计造成了挑战。为了解决上述问题,该文基于增加计算得到的非球面场镜,设计了一种照度均匀性高、边缘视场光学效率较高的衍射光栅波导准直投影镜头。对场镜理论进行详细分析,从而确定焦距区间,最终求解其面型参数,设计出照度相对均匀的镜头。设计的新型准直投影镜头对角线FOV为41.2°,F#为1.87,调制传递函数在125 lp/mm处大于0.5。仿真结果表明,系统照度均匀性相对提高了14%,边缘FOV的光学效率相对提高了15%,具有良好的成像性能,该镜头可应用于超小型AR衍射光栅波导头戴显示系统中。 展开更多
关键词 准直投影镜头 光学效率 衍射光栅波导 光学设计
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大视场二维扩瞳全息光栅波导设计与加工
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作者 程德文 倪栋伟 +3 位作者 吕鑫 王永东 杨通 王涌天 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期264-271,共8页
为扩大体全息光栅波导的出瞳直径和视场,提出了二维扩瞳和视场扩展的两重体全息光栅波导设计方法。该波导结构的出耦合光栅由两个两重体全息光栅构成,用于实现二维扩瞳。将入射视场分为两条路径传播,每条路径负责一半的视场,最后将两部... 为扩大体全息光栅波导的出瞳直径和视场,提出了二维扩瞳和视场扩展的两重体全息光栅波导设计方法。该波导结构的出耦合光栅由两个两重体全息光栅构成,用于实现二维扩瞳。将入射视场分为两条路径传播,每条路径负责一半的视场,最后将两部分视场拼接形成完整视场。该方法不仅扩大了出瞳直径,还有利于增大全息波导系统的视场角。介绍了二维扩瞳视场扩展的光学原理和设计方法,最终实现的系统水平视场为48°,垂直视场为27°,出瞳尺寸为16 mm×13 mm。实验结果验证了所提方法的可行性。该方法在扩瞳的同时有助于扩展视场角,为头戴近眼显示设备提供了具有前景的有效方案。 展开更多
关键词 全息 两重体全息光栅波导 二维扩瞳 视场扩展
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共振波长对导模共振生物传感器灵敏度的影响 被引量:4
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作者 贾克辉 马军山 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期302-305,共4页
导模共振生物传感器由于具有微型化、免标签、高通量和实时检测等优势被广泛研究。利用严格耦合波理论分析了该生物传感器对样品折射率和厚度的灵敏度随共振波长的变化规律。当样品厚度和共振波长一定时,其折射率灵敏度恒定;随着共振波... 导模共振生物传感器由于具有微型化、免标签、高通量和实时检测等优势被广泛研究。利用严格耦合波理论分析了该生物传感器对样品折射率和厚度的灵敏度随共振波长的变化规律。当样品厚度和共振波长一定时,其折射率灵敏度恒定;随着共振波长的增大,折射率灵敏度显著提高。当样品折射率和共振波长一定时,厚度灵敏度随着厚度的增加而降低,最后趋近于0;当共振波长增加时,厚度灵敏度明显提高,厚度测量范围增大。结果表明:选取较长的共振波长有利于样品的检测和分析。 展开更多
关键词 导模共振生物传感器 共振波长 灵敏度
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一种宽带瓦量级交错双栅脊波导返波振荡器的研究
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作者 冯霖琦 岳玲娜 +6 位作者 徐进 蔡金赤 殷海荣 魏彦玉 尹鹏程 王文祥 邓峥嵘 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第12期35-40,共6页
为满足太赫兹领域对大功率、宽带宽的太赫兹辐射源的需求,提出了一种新型交错双栅脊波导(RDSG)慢波结构。设计并优化了交错双栅脊波导返波振荡器的高频结构,同时对交错双栅脊波导和常规交错双栅的高频特性进行了仿真和对比,结果表明:当... 为满足太赫兹领域对大功率、宽带宽的太赫兹辐射源的需求,提出了一种新型交错双栅脊波导(RDSG)慢波结构。设计并优化了交错双栅脊波导返波振荡器的高频结构,同时对交错双栅脊波导和常规交错双栅的高频特性进行了仿真和对比,结果表明:当二者相速度接近时,交错双栅脊波导拥有更宽的“冷”通带带宽和更高的耦合阻抗。PIC仿真结果表明,在1 THz频段,交错双栅脊波导返波振荡器拥有超过175 GHz的可调谐带宽以及1.1 W的输出功率,比相同工作条件下的常规交错双栅结构输出功率了提高34%~42%。 展开更多
关键词 太赫兹 宽带大功率返波振荡器 新型慢波结构 交错双栅脊波导 仿真计算
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硅基亚波长光栅波导在微波光子学中的应用
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作者 王俊嘉 房崇宝 Lawrence R Chen 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第9期2233-2241,共9页
为了满足集成微波光子学的发展需要,随着硅基光子学的发展,硅基亚波长光栅波导被提出并受到关注.硅基亚波长光栅具备灵活度高、折射率可调等特性,主要用于实现光学滤波器、调制器、延迟线等集成微波光子学组件.本文对这类器件进行举例... 为了满足集成微波光子学的发展需要,随着硅基光子学的发展,硅基亚波长光栅波导被提出并受到关注.硅基亚波长光栅具备灵活度高、折射率可调等特性,主要用于实现光学滤波器、调制器、延迟线等集成微波光子学组件.本文对这类器件进行举例与讨论,并且在结尾提出对硅基亚波长光栅波导在集成微波光子学中应用的展望. 展开更多
关键词 硅基光子学 亚波长光栅波导 集成微波光子学 滤波器 调制器 光学延迟线
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矩形栅慢波结构色散特性的理论研究
10
作者 张亚斌 杨兴兴 《真空电子技术》 2020年第5期56-60,80,共6页
对矩形栅慢波结构色散特性进行了理论研究,通过详细的理论推导给出适用于矩形单栅、对称双栅及交错双栅的通用色散方程。对场方程进行优化,使该方程同样适用于相对论带状束器件中的大宽度矩形栅结构。对所得方程进行了分析、验证,结果... 对矩形栅慢波结构色散特性进行了理论研究,通过详细的理论推导给出适用于矩形单栅、对称双栅及交错双栅的通用色散方程。对场方程进行优化,使该方程同样适用于相对论带状束器件中的大宽度矩形栅结构。对所得方程进行了分析、验证,结果表明所得方程能准确给出矩形栅结构的色散特性曲线。 展开更多
关键词 矩形栅 慢波结构 色散特性
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聚合物光栅光波导器件的微复制技术
11
作者 刘月明 张少君 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1408-1411,共4页
采用纳米压印微复制技术方法,研制了一种新型的聚合物柔性光栅光波导敏感器件,该器件可用于介入式医用导管的微弯挠曲监测或类似场合的微变形监测。重点阐述了聚合物柔性光栅光波导器件的微复制模具和器件微复制的工艺方法,并对制备工... 采用纳米压印微复制技术方法,研制了一种新型的聚合物柔性光栅光波导敏感器件,该器件可用于介入式医用导管的微弯挠曲监测或类似场合的微变形监测。重点阐述了聚合物柔性光栅光波导器件的微复制模具和器件微复制的工艺方法,并对制备工艺技术中的关键技术问题进行了讨论,讨论了测试光纤耦合一体化光栅波导器件的工艺方法。最后利用硅微模具和紫外固化介质材料,成功制备出了截面尺寸为4μm×20μm、光栅周期为0.75μm的聚合物柔性光栅光波导器件。 展开更多
关键词 聚合物 光栅光波导 微复制工艺 微挠曲监测
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光栅作用下双波导间的反向耦合
12
作者 丁浩 陈新之 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第8期736-741,共6页
本文根据非正交模理论导出了描述光栅作用下双波导间反向耦合的耦合模方程组.通过数值计算对这种结构的反向耦合特性进行了初探,并同光栅作用下单波导反向耦合特性作了比较.
关键词 光栅 波导 耦合模方程 反向耦合
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基于场匹配法的双排矩形栅慢波结构高频特性研究 被引量:9
13
作者 刘青伦 王自成 +1 位作者 刘濮鲲 董芳 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第24期206-213,共8页
本文运用场匹配法对具有任意位错的双排矩形栅慢波结构的场分布、色散特性及耦合阻抗进行了研究.研究结果表明,场匹配法推导的色散特性与仿真软件CST和HFSS计算的结果完全一致,耦合阻抗介于CST和HFSS之间.在此基础上,详细研究了上下两... 本文运用场匹配法对具有任意位错的双排矩形栅慢波结构的场分布、色散特性及耦合阻抗进行了研究.研究结果表明,场匹配法推导的色散特性与仿真软件CST和HFSS计算的结果完全一致,耦合阻抗介于CST和HFSS之间.在此基础上,详细研究了上下两排系统之间位错对色散特性及耦合阻抗的影响.当位错严格为半个周期时,第一阻带消失,第一个模式最高截止频率与第二个模式最低截止频率重叠,发生简并;当位错为0.45倍周期时,在保证耦合阻抗不变的情况下,基模的通带虽降低了2.8GHz,但阻带却增大了7.9GHz,从而可以有效避免简并及模式竞争的发生. 展开更多
关键词 场匹配法 双排矩形栅慢波结构 色散特性 耦合阻抗
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基于MEMS微镜的光栅波导角度调制生物传感器设计与研究 被引量:6
14
作者 陆安江 白忠臣 +2 位作者 肖伟 张正平 秦水介 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期199-205,共7页
免标记、实时、高灵敏的生物检测是分析生物领域重要的技术。利用光波导模式理论构建生物传感器模型,设计了基于MEMS微镜的小型化生物传感检测系统,测试并分析了MEMS微镜的动态响应特性。通过计算仿真,得到了灵敏度与波导厚度和有效折... 免标记、实时、高灵敏的生物检测是分析生物领域重要的技术。利用光波导模式理论构建生物传感器模型,设计了基于MEMS微镜的小型化生物传感检测系统,测试并分析了MEMS微镜的动态响应特性。通过计算仿真,得到了灵敏度与波导厚度和有效折射率之间的关系。以TE模式和TM模式进行葡萄糖溶液检测,实验结果表明,溶液浓度与入射角间呈现出良好的线性关系,灵敏度可达到5 ng/m L,相比传统的免疫学检测方法具有较高灵敏度。该方法由于检测系统体积小、结构简单、无标记,可实现原位检测,避免了对蛋白质活性的破坏,是一种具有较大潜力的蛋白质无标记光学检测方法。 展开更多
关键词 传感器 光波导模式谱 光栅光波导 MEMS微镜 灵敏度
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基于硅介质光栅的片上太赫兹波源
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作者 杨积涛 王少萌 +1 位作者 雷于露 杜朝海 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第1期11-16,共6页
随着太赫兹技术的快速发展,人们对太赫兹技术在通信、光谱学和传感方面的各种应用越来越感兴趣。太赫兹技术发展与应用的基础是高性能的太赫兹源,传统的太赫兹源体积大且需要高功率电源驱动,难以适应集成太赫兹技术的发展,迫切需要研发... 随着太赫兹技术的快速发展,人们对太赫兹技术在通信、光谱学和传感方面的各种应用越来越感兴趣。太赫兹技术发展与应用的基础是高性能的太赫兹源,传统的太赫兹源体积大且需要高功率电源驱动,难以适应集成太赫兹技术的发展,迫切需要研发新机制的微型太赫兹源。本文研究了一种新型微型化自由电子太赫兹辐射器,基于自由电子与其在光栅介质波导结构中激励的太赫兹波的互作用,实现太赫兹波的激励。这项研究为开发高效的片上太赫兹辐射源和拓展先进太赫兹应用提供了新的选项。 展开更多
关键词 太赫兹源 微型化 自由电子辐射 光栅介质波导
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单模共振干涉光刻曝光显影模拟研究 被引量:2
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作者 杨正 张志友 +2 位作者 李淑红 高福华 杜惊雷 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期9-14,共6页
针对纳米光栅的加工需求,提出一种以柱形光栅耦合结构为基础的单模共振干涉光刻方法。该方法以柱形光栅耦合结构为掩模,结合光刻胶和基底层形成介质波导,入射光经过光栅衍射后以特定衍射级次(±1级)进入光刻胶形成干涉条纹,光刻胶... 针对纳米光栅的加工需求,提出一种以柱形光栅耦合结构为基础的单模共振干涉光刻方法。该方法以柱形光栅耦合结构为掩模,结合光刻胶和基底层形成介质波导,入射光经过光栅衍射后以特定衍射级次(±1级)进入光刻胶形成干涉条纹,光刻胶作为波导层,可将入射光光强增强25~50倍,从而大大提高了光能利用率。采用441nm的入射光,通过模拟计算,可以得到周期小于λ/3、凹槽宽度为42~88nm(λ/10~λ/5)的纳米结构。 展开更多
关键词 光栅 介质波导 单模共振干涉 光刻
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