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基于悬臂梁结构的光纤光栅位移传感研究 被引量:38
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作者 关柏鸥 刘志国 +1 位作者 开桂云 董孝义 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第11期983-985,共3页
本文提出了一种基于光纤光栅和悬臂梁结构的新型位移传感方案,并给出了实验结果. 本传感系统结构简单,测量范围大(大于20m m ),线性好(0.9991),抗电磁干扰,信噪比高,并可实现在线监测.
关键词 光纤光栅 悬臂梁 位移传感器
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单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器 被引量:22
2
作者 彭凯 于治成 +2 位作者 刘小康 郑方燕 蒲红吉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期734-740,共7页
在双排结构纳米时栅位移传感器的研究基础上,提出了一种单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器。通过直接构造一个匀速运动的交变电场来产生行波信号,解决了双排结构所具有的串扰问题和安装问题;采用差动感应极片来拾取信号,可有效地消... 在双排结构纳米时栅位移传感器的研究基础上,提出了一种单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器。通过直接构造一个匀速运动的交变电场来产生行波信号,解决了双排结构所具有的串扰问题和安装问题;采用差动感应极片来拾取信号,可有效地消除共模干扰。用微纳加工工艺制作了一种多层薄膜的单排差动结构的纳米时栅传感器样机并进行了性能测试,最终在200 mm的量程范围内取得了±150 nm的测量精度。对比双排结构的纳米时栅传感器,这种新型的纳米时栅传感器测量精度、信号稳定性及抗干扰能力得到明显的提高,并且在尺寸减小的同时拓展了有效量程,因此在产品化的过程中更具有应用前景。 展开更多
关键词 纳米时栅 电容式位移传感器 单排结构 差动感应极片
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光纤光栅位移传感器在边坡监测中的应用研究 被引量:20
3
作者 孙健 《工矿自动化》 北大核心 2014年第2期95-98,共4页
针对传统的边坡监测不能依据边坡工程实际实时动态地掌握边坡发展、变形、破坏过程的问题,提出将光纤光栅位移传感器布设在露天矿工程潜在滑动面上对位移数据进行精确采集并预警的方法。该方法根据得到的位移数据掌握边坡变形破坏过程,... 针对传统的边坡监测不能依据边坡工程实际实时动态地掌握边坡发展、变形、破坏过程的问题,提出将光纤光栅位移传感器布设在露天矿工程潜在滑动面上对位移数据进行精确采集并预警的方法。该方法根据得到的位移数据掌握边坡变形破坏过程,然后依据边坡发展变化规律判别滑坡的临滑时刻,从而作出及时准确的预警。试验结果表明,将光纤光栅位移传感器应用在边坡监测中能够得到动态的位移监测曲线,同时依此作出的预警十分准确有效。 展开更多
关键词 边坡监测 光纤光栅 位移传感器 滑坡预警
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Parameters optimization and nonlinearity analysis of grating eddy current displacement sensor using neural network and genetic algorithm 被引量:17
4
作者 Hong-li QI Hui ZHAO +1 位作者 Wei-wen LIU Hai-bo ZHANG 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第8期1205-1212,共8页
A grating eddy current displacement sensor(GECDS) can be used in a watertight electronic transducer to realize long range displacement or position measurement with high accuracy in difficult industry conditions.The pa... A grating eddy current displacement sensor(GECDS) can be used in a watertight electronic transducer to realize long range displacement or position measurement with high accuracy in difficult industry conditions.The parameters optimization of the sensor is essential for economic and efficient production.This paper proposes a method to combine an artificial neural network(ANN) and a genetic algorithm(GA) for the sensor parameters optimization.A neural network model is developed to map the complex relationship between design parameters and the nonlinearity error of the GECDS,and then a GA is used in the optimization process to determine the design parameter values,resulting in a desired minimal nonlinearity error of about 0.11%.The calculated nonlinearity error is 0.25%.These results show that the proposed method performs well for the parameters optimization of the GECDS. 展开更多
关键词 grating eddy current displacement sensor (GECDS) Artificial neural network (ANN) Genetic algorithm (GA) Parameters optimization Nonlinearity error
原文传递
基于光纤布喇格光栅传感器的精密位移测量 被引量:11
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作者 刘波 牛文成 +2 位作者 杨亦飞 开桂云 董孝义 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2005年第1期53-55,共3页
首先对光纤布喇格光栅传感的基本原理进行了分析,并给出了光纤光栅位移传感的基本公式.在此基础上,设计制作了一种光纤光栅位移传感器.采用光纤光栅作为传感元件,利用多波长计进行波长检测,对位移量进行了传感测量.实验中,传感器位移检... 首先对光纤布喇格光栅传感的基本原理进行了分析,并给出了光纤光栅位移传感的基本公式.在此基础上,设计制作了一种光纤光栅位移传感器.采用光纤光栅作为传感元件,利用多波长计进行波长检测,对位移量进行了传感测量.实验中,传感器位移检测范围为0.6mm,其传感测量精度为±43nm,测量分辨率为1.5nm.实验结果具有良好的线性度. 展开更多
关键词 光纤光栅 光纤布喇格光栅 传感器 多波长 线性度 分辨率 对位 位移检测 位移测量 传感元件
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时栅位移传感器研究 被引量:14
6
作者 彭东林 刘小康 +1 位作者 张兴红 陈锡候 《重庆工学院学报》 2006年第5期1-4,共4页
为了解决传统测量技术对精密制造的过分依赖问题,研究者经过多年努力研制成功一种全新原理的位移传感器———时栅传感器.实践表明它具有高精度低成本和智能化等显著优点,目前正在产品化过程之中.
关键词 时栅 传感器 精密测量
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CCD直接细分光栅位移传感器的研究 被引量:6
7
作者 何树荣 肖宗扬 《光学技术》 CAS CSCD 1999年第3期1-3,7,共4页
介绍一种采用CCD为测量元件的光栅位移传感器的设计方法。该方法利用CCD分辨率高、像素均匀的特点,对光栅刻线的像的移动进行精确定位和直接数字化,改变了以往对莫尔条纹进行位相细分的方法。该方法将细分和数字化在测量信号处... 介绍一种采用CCD为测量元件的光栅位移传感器的设计方法。该方法利用CCD分辨率高、像素均匀的特点,对光栅刻线的像的移动进行精确定位和直接数字化,改变了以往对莫尔条纹进行位相细分的方法。该方法将细分和数字化在测量信号处理流程中的位置前移到光电转换环节,大大简化了后续电路,同时细分数也有大幅度提高,可以方便地实现数千倍的细分。在数据拼接时采用绝对栅距累加的方法,减小了光栅刻线质量对测量精度的影响。 展开更多
关键词 CCD 光栅 直接细分 位移传感器
原文传递
基于SOPC的时栅位移传感器信号处理系统设计 被引量:11
8
作者 郑方燕 王宝珠 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1429-1432,共4页
为了提高时栅位移传感器的动态性以及测量精度,设计了一种基于SOPC技术的时栅信号处理系统,将数据的采集和处理集成在一片FPGA内,采用NiosⅡ处理,并将复杂的乘除运算加入了自定义指令,提高了时栅传感器的数据处理效率,采用傅氏级数谐波... 为了提高时栅位移传感器的动态性以及测量精度,设计了一种基于SOPC技术的时栅信号处理系统,将数据的采集和处理集成在一片FPGA内,采用NiosⅡ处理,并将复杂的乘除运算加入了自定义指令,提高了时栅传感器的数据处理效率,采用傅氏级数谐波修正技术来进行误差修正,大大提高了测量精度。实验表明,采用该系统后,时栅在每分钟8转情况下误差峰峰值为2.2″。 展开更多
关键词 信号处理 动态测量 SOPC 时栅 角位移 传感器
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基于二次调制的高精度多圈绝对式时栅角位移传感器 被引量:11
9
作者 刘小康 柳康 +2 位作者 蒲红吉 于治成 彭凯 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期90-98,共9页
提出了一种基于二次调制的高精度多圈绝对式时栅角位移传感器,该传感器由单圈绝对式传感器与多圈计数模块组成。首先,采用两级单排式时栅角位移传感器构成单圈绝对式传感器,通过第一级传感器构建四路正交的行波信号,将差动的两路行波信... 提出了一种基于二次调制的高精度多圈绝对式时栅角位移传感器,该传感器由单圈绝对式传感器与多圈计数模块组成。首先,采用两级单排式时栅角位移传感器构成单圈绝对式传感器,通过第一级传感器构建四路正交的行波信号,将差动的两路行波信号直接反射,作为精测信号;同时,利用第一级四路正交的行波信号作为第二级传感器的激励信号进行二次调制,获得整周单周期信号,作为粗测信号,精测信号结合粗测信号实现高精度单圈绝对式角位移测量。在此基础上,结合韦根多圈计数模块记录圈数信息,从而实现高精度多圈绝对式角位移测量。通过印制电路板技术制作了原理样机,搭建了实验平台,并进行了测试,实验结果表明:该传感器在整周范围原始精度可达±8″,并且在上电、断电情况下实现了圈数的准确记忆。 展开更多
关键词 二次调制 多圈绝对式 时栅 角位移传感器
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光栅位移传感器在位置伺服系统中的应用及误差分析 被引量:8
10
作者 陈庆樟 《机床与液压》 北大核心 2008年第8期216-217,285,共3页
介绍了光栅位移传感器的原理和特点及其在闭环位置伺服系统中的应用,对于位置伺服系统的系统误差作了理论分析。利用光栅位移传感器对位置伺服系统进行了动态测量和控制。结果表明,光栅位移传感器精度高,稳定性好,不接触、无磨损、抗干... 介绍了光栅位移传感器的原理和特点及其在闭环位置伺服系统中的应用,对于位置伺服系统的系统误差作了理论分析。利用光栅位移传感器对位置伺服系统进行了动态测量和控制。结果表明,光栅位移传感器精度高,稳定性好,不接触、无磨损、抗干扰能力强,输出信号大。 展开更多
关键词 位置伺服系统 光栅位移传感器 误差分析
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基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器 被引量:9
11
作者 刘小康 李昌伟 +2 位作者 彭凯 于治成 冯济琴 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期23-31,共9页
提出了一种基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器。以增量式时栅传感器为基础,将单对极与多对极相结合,整周多对极作为精确测量部分实现高精度,整周单对极作为粗略测量部分实现绝对定位。提出了一种分时复用反射电... 提出了一种基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器。以增量式时栅传感器为基础,将单对极与多对极相结合,整周多对极作为精确测量部分实现高精度,整周单对极作为粗略测量部分实现绝对定位。提出了一种分时复用反射电极结构,粗测部分和精测部分共用一组反射电极和接收电极,因此结构更加紧凑,便于小型化,同时动子无需引线,应用环境更广。通过分时间段对粗测部分和精测部分施加激励信号,并把不工作的电极接地,可以有效消除粗测部分和精测部分之间的串扰,保证测量精度。采用PCB技术制造了外径Φ=60 mm,内径Φ=26 mm的传感器样机。通过理论分析和结构优化,最终实验结果表明传感器的测量精度达到了±12″。 展开更多
关键词 分时复用结构 反射式 绝对式 时栅 角位移传感器
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光纤光栅传感器在桥墩模型试验中的应用 被引量:8
12
作者 汪日光 叶献国 +1 位作者 孙汝蛟 孙利民 《建筑科学与工程学报》 CAS 2007年第3期51-55,共5页
针对光纤光栅传感器在不同受力情况下的测量效果,选取了3个分别采用Pushover和拟静力加载的钢筋混凝土桥墩模型,运用光纤光栅传感器和电阻应变片及电阻位移计,对模型的钢筋和混凝土应变及顶部水平位移进行了同步测量(共9组测量对比试验... 针对光纤光栅传感器在不同受力情况下的测量效果,选取了3个分别采用Pushover和拟静力加载的钢筋混凝土桥墩模型,运用光纤光栅传感器和电阻应变片及电阻位移计,对模型的钢筋和混凝土应变及顶部水平位移进行了同步测量(共9组测量对比试验)。通过比较2类传感器在同一时刻的测量值和整个加载过程的时间-应变(位移)曲线,并结合试验结果对其中差异做了分析。结果表明,2类传感器量测结果符合较好,光纤光栅应用于应变、位移的测量是可靠的、有效的。最后对此类试验中需要注意的问题提出了建议。 展开更多
关键词 光纤光栅传感器 应变片 位移计 模型试验
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基于STM32F4的时栅位移传感器信号处理系统集成化设计 被引量:8
13
作者 杨继森 许强 冯济琴 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第12期113-116,共4页
设计了一种基于单片STM32F4芯片的时栅位移传感器信号处理系统,将驱动电源、信号采样以及数据处理与误差补偿集成在一片芯片中完成,采用数字频率直接合成(DDS)技术进行激励源的设计,利用输入捕获方式进行高频时钟脉冲插补来采集测量信号... 设计了一种基于单片STM32F4芯片的时栅位移传感器信号处理系统,将驱动电源、信号采样以及数据处理与误差补偿集成在一片芯片中完成,采用数字频率直接合成(DDS)技术进行激励源的设计,利用输入捕获方式进行高频时钟脉冲插补来采集测量信号,由芯片集成的单周期DSP指令部件完成数据计算,并采用傅氏级数谐波修正技术来进行误差修正。实验表明:采用该系统后,72对极时栅误差峰峰值为3.29″,在保证精度的同时实现了时栅信号处理系统的集成化、小型化,降低了生产成本。 展开更多
关键词 信号处理 STM32F4 时栅 角位移 传感器
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具有温度补偿的高精度FBG微位移传感器的设计、制作及性能研究 被引量:7
14
作者 陈振威 陈焕权 +3 位作者 史雯慧 李建宇 郑加金 韦玮 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期116-124,共9页
为克服现有光纤布拉格光栅传感器设计结构复杂、温补误差大等缺陷,设计并制作了一种基于弹簧与滑块相结合的结构简单且高精度光纤布拉格光栅位移传感器,在一根光纤上获得温度补偿的同时,实现了高精度微位移测量,极大的减小了空间占用。... 为克服现有光纤布拉格光栅传感器设计结构复杂、温补误差大等缺陷,设计并制作了一种基于弹簧与滑块相结合的结构简单且高精度光纤布拉格光栅位移传感器,在一根光纤上获得温度补偿的同时,实现了高精度微位移测量,极大的减小了空间占用。实验结果表明:该传感器具有优良的微位移测量能力,灵敏度为145.08 pm/mm,精度为1.43%,量程为10 mm;静态综合相对误差为2.88%,整体的线性度、重复性和迟滞性误差较小。比较铝合金衬底、石英衬底和无衬底的温补效果,发现石英衬底的传感器温度补偿效果更佳,其延迟时间从6.8 min下降到4.3 min,最大温度补偿误差从44 pm减少至40 pm。最终采用石英玻璃作为衬底制成的传感器温度灵敏度为6.34 pm/℃,温补误差为0.26%。本文研制的传感器有望用于机械装备和土木工程等高精度结构位移的在线监测。 展开更多
关键词 光纤布拉格光栅 光纤传感器 位移传感器 高精度 温度补偿
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基于分时方法的高精度反射绝对式纳米时栅位移传感器设计 被引量:7
15
作者 刘小康 梅现富 +2 位作者 蒲红吉 彭凯 于治成 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期97-105,共9页
本文提出了一种反射绝对式纳米时栅位移传感器的传感方法。采用反射单列式传感器作为反射绝对式传感器的精密测量部分,记为传感器A。为了实现绝对位移测量,设计了一个与传感器A相差一个周期的反射单列式传感器,记为传感器B,利用传感器A... 本文提出了一种反射绝对式纳米时栅位移传感器的传感方法。采用反射单列式传感器作为反射绝对式传感器的精密测量部分,记为传感器A。为了实现绝对位移测量,设计了一个与传感器A相差一个周期的反射单列式传感器,记为传感器B,利用传感器A与传感器B相位作差实现绝对位移测量。采用标准印刷电路板技术制作了传感器样机,搭建了实验平台,进行了实验测试。测试结果表明,激励电极引线方式对接收电极带来干扰,从而造成一次谐波误差。为了抑制误差,提出了交叉反射结构和分时方法,交叉反射结构将感应电极与另一端的反射电极引线相连,增大激励电极和接收电极的距离,分时方法通过不同时间段对传感器A和传感器B施加激励信号,并把不工作的电极接地。实验表明该结构和方法相互配合有效的抑制了干扰,最终在400 mm范围内,补偿后实现了±300 nm的测量精度。 展开更多
关键词 绝对位移测量 纳米时栅 分时方法 位移传感器
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时栅位移传感器高精度驱动电源研究与设计 被引量:7
16
作者 杨继森 陈锡侯 +1 位作者 万文略 郑方燕 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第10期5-7,26,共4页
针对时栅位移传感器需要高度均分性的三相驱动电源的要求,在传统DDS技术的基础上,采用数字闭环控制技术,将相位误差测量值作为闭环反馈,在DDS模块中增加相位自动修正技术,使三相驱动电源达到高精度稳频和高精度三相对称的目的。实际应... 针对时栅位移传感器需要高度均分性的三相驱动电源的要求,在传统DDS技术的基础上,采用数字闭环控制技术,将相位误差测量值作为闭环反馈,在DDS模块中增加相位自动修正技术,使三相驱动电源达到高精度稳频和高精度三相对称的目的。实际应用表明,该驱动电源大大提高了时栅位移传感器的稳定性和测量精度。 展开更多
关键词 时栅 位移传感器 三相电源 闭环控制
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基于光纤光栅的高精度压杆式位移传感器 被引量:6
17
作者 孙丽 孙欣欣 +2 位作者 李闯 王兴业 宋岩升 《沈阳建筑大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期779-786,共8页
目的为了实现对结构进行高精度的位移监测,基于光纤光栅传感原理,提出一种高精度压杆式光纤光栅(Fiber Bragg Grating,FBG)位移传感器。方法在传感器的设计中,通过弹簧将结构产生的位移转化成光纤光栅上的应力,引起光纤光栅中心波长的... 目的为了实现对结构进行高精度的位移监测,基于光纤光栅传感原理,提出一种高精度压杆式光纤光栅(Fiber Bragg Grating,FBG)位移传感器。方法在传感器的设计中,通过弹簧将结构产生的位移转化成光纤光栅上的应力,引起光纤光栅中心波长的变化。结果通过对传感器进行标定试验及静态特性分析,得出其灵敏度系数为18.14 pm/mm,相关系数达到0.999以上。结论该传感器具有高精度、大量程、温度自补偿和可以进行实时监测等特点,适用于对结构进行长期位移监测。 展开更多
关键词 光纤布拉格光栅 光纤传感器 结构健康监测 位移传感器 灵敏度 位移监测
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基于线阵CCD的全息光栅位移传感器 被引量:5
18
作者 赵育良 张青臣 李开端 《测试技术学报》 2002年第3期167-170,共4页
目的 提出了一种新型的基于全息光栅的 CCD位移传感器 .方法 利用 CCD分辨率高 ,像素均匀等特点 ,对干涉条纹的移动进行精确定位 ,利用全息光栅在测量过程中又具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点 ,实现位移的自动精确测量 ... 目的 提出了一种新型的基于全息光栅的 CCD位移传感器 .方法 利用 CCD分辨率高 ,像素均匀等特点 ,对干涉条纹的移动进行精确定位 ,利用全息光栅在测量过程中又具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点 ,实现位移的自动精确测量 .结果 系统能够对位移实现自动精确测量 . 展开更多
关键词 线阵CCD 全息光栅 位移传感器 位移测量系统
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利用光纤光栅实现力学量二维实时感测的研究 被引量:3
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作者 张伟刚 王跃 +5 位作者 张东生 刘艳格 曾剑 开桂云 赵启大 董孝义 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1323-1327,共5页
将一根光纤上写入两个不同波长的布拉格光栅 ,沿矩形悬臂梁的中性面与表面的交线粘贴于靠近固定端两个相邻侧面 ,利用光纤光栅波长绝对编码的特性 ,实现了应力 (或应变 )与位移的二维实时传感测量。理论分析和实验结果证明 ,通过监测粘... 将一根光纤上写入两个不同波长的布拉格光栅 ,沿矩形悬臂梁的中性面与表面的交线粘贴于靠近固定端两个相邻侧面 ,利用光纤光栅波长绝对编码的特性 ,实现了应力 (或应变 )与位移的二维实时传感测量。理论分析和实验结果证明 ,通过监测粘贴于梁上的两个光纤光栅波长变化的大小和指向 ,能够实时感测应力、位移等力学量的大小和方向。在与梁轴垂直的方向上 ,获得应力实验灵敏度分别为 5 .32nm/N和 3.2 1nm/N ,位移实验灵敏度分别为 0 .30nm/mm和 0 .4 8nm/mm。 展开更多
关键词 力学量 光纤光栅 应力 位移 二维实时感测 力学传感器
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基于椭圆位移放大结构的光纤光栅位移传感器 被引量:5
20
作者 吕国辉 周泊宁 +3 位作者 王朝钲 王明扬 张岩 姜旭 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期9-14,共6页
针对采用悬臂梁或变形圆环作为光纤光栅位移传感器的弹性形变结构时,位移灵敏度较低的问题,采用新型的椭圆位移放大机构对位移探杆的微小位移量进行放大,改变椭圆放大器的机械尺寸调整传感器的位移分辨率.当椭圆位移放大机构的长度为60... 针对采用悬臂梁或变形圆环作为光纤光栅位移传感器的弹性形变结构时,位移灵敏度较低的问题,采用新型的椭圆位移放大机构对位移探杆的微小位移量进行放大,改变椭圆放大器的机械尺寸调整传感器的位移分辨率.当椭圆位移放大机构的长度为60mm,宽度为19.8mm,中间最大宽度为30mm时,探杆的机械位移放大倍率约为2倍.当量程变化为0~100mm时,实验测得光纤光栅位移传感器的分辨率为6.1pm/mm,位移量和对应波长移动线性相关系数为0.998 52.适于机械装备和土木工程的结构位移高精度在线监测. 展开更多
关键词 光纤光栅 位移传感器 椭圆位移放大结构
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