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基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 被引量:32
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作者 吕强 李文昊 +3 位作者 巴音贺希格 柏杨 刘兆武 王玮 《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第1期39-50,共12页
介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测... 介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测量分辨率和精度较高,结构紧凑,成本低。该系统需要解决的问题包括提高光栅以及光学元器件制造和安装精度;寻求一种更高精度的检测手段对光栅位移测量系统进行标定等。光栅干涉式精密位移测量系统的发展方向为更高测量分辨率和精度,大量程、多维度测量以及尺寸小巧。该系统在现代工业加工精密制造领域将具有更广阔的应用前景。 展开更多
关键词 位移测量 光栅 衍射干涉 高精度
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光栅精密位移测量技术发展综述 被引量:26
2
作者 高旭 李舒航 +1 位作者 马庆林 陈伟 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期741-752,共12页
精密测量是精密机械加工的基础,是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一,在当代精密机械制造领域应用广泛。基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小,测量分辨率高等优点,在精密位移测量领域占据重要位置。基于光栅的精密位移测... 精密测量是精密机械加工的基础,是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一,在当代精密机械制造领域应用广泛。基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小,测量分辨率高等优点,在精密位移测量领域占据重要位置。基于光栅的精密位移测量系统包括光学测量系统、信号接收、电子学细分及整体装调几部分。本文主要针对光学测量光路部分进行综述介绍。首先介绍了经典光栅干涉位移测量原理;其次,综述了基于光栅的精密位移测量系统的关键技术现状;再次,对比分析了几种最具有代表性的测量技术,总结其优缺点;最后,对基于光栅的精密位移测量技术进行展望,揭示其高精度、高分辨力、高鲁棒性、微型化、多维化、多技术融合的发展趋势。 展开更多
关键词 位移测量 光栅 高精度测量 衍射干涉
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亚波长介质光栅的制作误差分析 被引量:21
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作者 曹召良 卢振武 +3 位作者 李凤有 孙强 任智斌 赵晶丽 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期76-80,共5页
利用严格耦合波理论 (RCWA )分析了方向误差和面形误差对亚波长光栅衍射效率的影响 通过分析发现 ,方向误差和图案边缘钝化对光栅的衍射效率影响不大 ,而刻蚀过程中由于侧壁倾斜而产生的面形误差对光栅的衍射效率影响非常大 在制作亚... 利用严格耦合波理论 (RCWA )分析了方向误差和面形误差对亚波长光栅衍射效率的影响 通过分析发现 ,方向误差和图案边缘钝化对光栅的衍射效率影响不大 ,而刻蚀过程中由于侧壁倾斜而产生的面形误差对光栅的衍射效率影响非常大 在制作亚波长光栅时 ,可以通过选取合理的刻蚀系统或增大占空比的方法来避免基底型误差的出现 该结论对于制作亚波长光栅具有重要的指导作用 同时根据得出的结论 ,选用专门用于硅深刻蚀的等离子体辅助刻蚀系统制作出了红外30 μm亚波长抗反射光栅 ,检测结果显示 。 展开更多
关键词 亚波长 光栅 方向误差 面形误差 RCWA 衍射效率
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透射光栅衍射效率研究 被引量:15
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作者 杨家敏 丁耀南 +9 位作者 曹磊峰 丁永坤 杨国洪 郑志坚 王耀梅 张文海 崔明启 朱佩平 赵屹东 黎刚 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期723-726,共4页
透射光栅广泛应用于 X光能谱测量 ,为获得定量的 X光能谱 ,首先在北京同步辐射源上对透射光栅的衍射效率在多个入射 X光能量点进行了实验标定 ,获得了透射光栅衍射效率的实验结果。为模拟透射光栅衍射效率实验标定结果 ,发展了一个新的... 透射光栅广泛应用于 X光能谱测量 ,为获得定量的 X光能谱 ,首先在北京同步辐射源上对透射光栅的衍射效率在多个入射 X光能量点进行了实验标定 ,获得了透射光栅衍射效率的实验结果。为模拟透射光栅衍射效率实验标定结果 ,发展了一个新的透射光栅衍射效率计算模型 ,该模型不同于国外已发展的矩形栅线模型和梯形栅线截面模型 ,而是假设透射光栅栅线具有准梯形截面。模型计算结果与实验标定结果符合很好。 展开更多
关键词 透射光栅 衍射效率 实验标定 光栅模型 X光能谱测量
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光的干涉和衍射的Matlab数值模拟 被引量:19
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作者 段晓勇 单永明 《大学物理实验》 2012年第3期95-97,共3页
利用Matlab数值模拟杨氏双缝干涉、单缝衍射和光栅衍射的图案和光强分布曲线,并讨论了光的非单色性对干涉条纹的影响。
关键词 干涉 衍射 光栅衍射 数值模拟 条纹
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Review of single-camera stereo-digital image correlation techniques for full-field 3D shape and deformation measurement 被引量:16
6
作者 PAN Bing YU LiPing ZHANG QianBing 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第1期2-20,共19页
Single-camera stereo-digital image correlation(stereo-DIC) techniques have gained increasing attentions and demonstrated excellent prospects in the experimental mechanics community owing to their prominent advantages ... Single-camera stereo-digital image correlation(stereo-DIC) techniques have gained increasing attentions and demonstrated excellent prospects in the experimental mechanics community owing to their prominent advantages of cost-effectiveness,compactness, and the avoidance of the complicated camera synchronization. Using additional optical devices, e.g. a diffraction grating, a bi-prism or a set of planar mirrors, pseudo stereo images of a test sample surface can be recorded with a single camera.By correlating these stereo images using DIC, full-field three-dimensional(3 D) shape and deformation can be retrieved. This review comprehensively summarizes the historical development, methodologies, strengths and weaknesses of the diffraction grating-based, prism-based, four-mirror-adaptor-based single-camera stereo-DIC techniques, and the recently proposed novel full-frame single color camera-based stereo-DIC technique for full-field 3 D shape and deformation measurement. The optical arrangements, principles and calibration procedures of these single-camera stereo-DIC techniques are described in detail. Since high-speed deformation measurement is efficiently achieved by combining the single-camera stereo-DIC with one high-speed camera, single-camera stereo-DIC techniques show great potential in impact engineering, vibration and other dynamic tests. 展开更多
关键词 single-camera stereo-DIC diffraction grating bi-prism four-mirror adapter
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圆形余弦光栅菲涅耳衍射场的研究 被引量:16
7
作者 刘有菊 张海君 钟锡华 《大学物理》 北大核心 2008年第12期5-8,共4页
基于波前相因子判断法并考虑到圆光栅孔径的影响,揭示了圆形余弦光栅的衍射场含有3种成分,它们是均受限于圆形孔径的平面衍射波、发散球面衍射波和会聚球面衍射波;分别给出了这3种衍射场的积分表达式,进而导出了沿轴的衍射场复振幅分布... 基于波前相因子判断法并考虑到圆光栅孔径的影响,揭示了圆形余弦光栅的衍射场含有3种成分,它们是均受限于圆形孔径的平面衍射波、发散球面衍射波和会聚球面衍射波;分别给出了这3种衍射场的积分表达式,进而导出了沿轴的衍射场复振幅分布的3个公式,并显示了相应的沿轴衍射场实振幅分布曲线,得到了实焦斑的横向半值线宽和轴向半值线宽公式.本研究为圆形余弦光栅用于聚焦和成像技术进一步提供了一个理论基础. 展开更多
关键词 圆形余弦光栅 波前相因子判断法 菲涅耳衍射 夫琅禾费衍射
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X射线光栅相位成像的理论和方法 被引量:15
8
作者 陈博 朱佩平 +5 位作者 刘宜晋 王寯越 袁清习 黄万霞 明海 吴自玉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期1576-1581,共6页
通过对X射线光栅相位衬度成像实验装置的理论分析,提出了光栅位移曲线的表达式,推导出了X射线光栅相位衬度成像方程.根据该成像方程,提出了基于光栅成像相位提取方法.这些理论结果将简化光栅相位衬度成像实验步骤,提高信息获取效率,并为... 通过对X射线光栅相位衬度成像实验装置的理论分析,提出了光栅位移曲线的表达式,推导出了X射线光栅相位衬度成像方程.根据该成像方程,提出了基于光栅成像相位提取方法.这些理论结果将简化光栅相位衬度成像实验步骤,提高信息获取效率,并为X射线光栅相位衬度成像和计算机断层成像的结合,进一步提出光栅相位衬度CT的简化理论奠定基础. 展开更多
关键词 X射线 相位衬度成像 光栅衍射 TALBOT效应
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光栅衍射现象的计算机仿真分析 被引量:15
9
作者 谢嘉宁 赵建林 《佛山科学技术学院学报(自然科学版)》 CAS 2002年第2期15-18,69,共5页
提出了一种使用 MATLAB软件编写光栅衍射实验的计算机仿真程序的新方法。该仿真实验可以展示光栅光谱的全貌 ,便于分析衍射光栅的特点 ,为光学的理论分析与实验教学提供了方便 。
关键词 光栅衍射 MATLAB 计算机仿真
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利用光栅探测激光信息的迭代算法研究 被引量:15
10
作者 赵建君 闫石 陈红叶 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2015年第7期770-774,共5页
在重新构建了光栅的夫琅和费衍射系统的基础上,提出了四种迭代逼近的算法以克服了机械构建变化的影响。通过对四种不同迭代逼近算法的比较,找到了能够最快速逼近理想解的算法,即波长和入射角都采用较小值,波长逼近相对变慢,入射角的逼... 在重新构建了光栅的夫琅和费衍射系统的基础上,提出了四种迭代逼近的算法以克服了机械构建变化的影响。通过对四种不同迭代逼近算法的比较,找到了能够最快速逼近理想解的算法,即波长和入射角都采用较小值,波长逼近相对变慢,入射角的逼近变快,总体能够快速达到逼近要求。计算过程也表明,建立在小角度近似的基础上迭代逼近算法对于大角度需要进行的迭代逼近次数更多。最后给出了便于在DSP芯片上使用程序快速处理的数据处理流程。 展开更多
关键词 光栅衍射 夫琅和费衍射 激光参数 迭代逼近算法
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用相因子判断法分析条形余弦光栅衍射场 被引量:14
11
作者 刘有菊 《物理与工程》 2009年第1期22-25,28,共5页
基于波前相因子判断法并考虑到光栅孔径的影响,揭示了余弦光栅的衍射场所含基元成分.给出了各基元成分衍射场的积分表达式,进而导出了像面上光强分布的公式,并显示了相应的沿轴线的光强分布曲线,得到各焦斑的半值线宽公式.本研究为余弦... 基于波前相因子判断法并考虑到光栅孔径的影响,揭示了余弦光栅的衍射场所含基元成分.给出了各基元成分衍射场的积分表达式,进而导出了像面上光强分布的公式,并显示了相应的沿轴线的光强分布曲线,得到各焦斑的半值线宽公式.本研究为余弦光栅用于空间滤波和光学信息处理技术提供了一个理论基础. 展开更多
关键词 余弦光栅 波前相因子判断法 菲涅耳衍射 夫琅禾费衍射
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斜入射条件下光栅衍射现象的分析 被引量:13
12
作者 苏亚凤 李普选 +1 位作者 徐忠锋 张孝林 《大学物理》 北大核心 2001年第7期18-21,25,共5页
分析和研究了在特殊斜入射条件下的光栅衍射现象 。
关键词 光栅 衍射 斜入射 系统误差 光波 波长测量
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光栅衍射法实时测量脉冲激光波长和方向 被引量:12
13
作者 付林 张记龙 王志斌 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期30-32,41,共4页
为了在恶劣环境下实时测量宽波段脉冲激光波长和方向,提出了使用光栅衍射测量脉冲激光波长和方向的方法。该方法利用激光的相干特性,不同波长的激光干涉后零级光谱和一级光谱之间的距离不同,入射方向不同其零级光谱位置不同,从而由探测... 为了在恶劣环境下实时测量宽波段脉冲激光波长和方向,提出了使用光栅衍射测量脉冲激光波长和方向的方法。该方法利用激光的相干特性,不同波长的激光干涉后零级光谱和一级光谱之间的距离不同,入射方向不同其零级光谱位置不同,从而由探测器上读出的光谱位置可以求出激光波长和入射方向。根据测量原理设计了实验光路,主要由光栅、柱面镜以及探测器CCD构成。实验结果表明,该方法测量激光波长的最大偏差为6.2nm,入射方向最大误差为0.6°,可以实现激光波长分辨力10nm,入射方向分辨力1°的实时测量。 展开更多
关键词 激光波长 脉冲激光 光栅衍射 实时测量 信噪比
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聚合物分散液晶(PDLC)光开关研究 被引量:12
14
作者 顾玲娟 郑继红 +1 位作者 陈刚 庄松林 《光学仪器》 2002年第3期28-33,共6页
聚合物分散液晶材料具有电控开关特性 ,利用材料的这一特性制成聚合物分散液晶光栅则具有衍射特性的电场可调性。理论和实验表明 ,采用一定的材料配方和工艺 ,可以获得理想的聚合物分散液晶全息光栅 。
关键词 聚合物分散液晶 全息光栅 衍射 电控效应 光开关
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矩形光栅的衍射特性 被引量:8
15
作者 王鹏 徐毓光 +2 位作者 余勤跃 顾铮先 赖芳良 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第5期446-450,共5页
本文采用严格的一阶耦合波理论,对矩形光栅的衍射特性进行了分析,给出了TE模和TM模同时具有很高的衍射效率时的光栅结构.计算表明:只有在满足Bragg衍射条件时,TE模和TM模才能达到峰值衍射效率.为了验证理论与编制程... 本文采用严格的一阶耦合波理论,对矩形光栅的衍射特性进行了分析,给出了TE模和TM模同时具有很高的衍射效率时的光栅结构.计算表明:只有在满足Bragg衍射条件时,TE模和TM模才能达到峰值衍射效率.为了验证理论与编制程序的正确性。 展开更多
关键词 光栅 耦合波理论 光栅周期 衍射效率 矩形
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高衍射效率短波红外凸面闪耀光栅的研制与应用 被引量:12
16
作者 郑志忠 杨忠 修连存 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期53-61,共9页
利用矢量衍射理论,对矩形槽型光栅和三角槽型光栅分别进行衍射效率分析,结果表明三角槽型光栅的衍射效率比矩形槽型光栅高出1倍左右。基于五轴超精密单点金刚石车床切削工艺,计算了金刚石刀头移动误差、移动间隔标准偏差范围、光栅刻线... 利用矢量衍射理论,对矩形槽型光栅和三角槽型光栅分别进行衍射效率分析,结果表明三角槽型光栅的衍射效率比矩形槽型光栅高出1倍左右。基于五轴超精密单点金刚石车床切削工艺,计算了金刚石刀头移动误差、移动间隔标准偏差范围、光栅刻线位置的加工偏差,并分析了刀头磨损对光栅衍射效率的影响。在此基础上,成功研制了曲率半径为70 mm、刻线密度为60 line/mm、直径为52 mm的凸面闪耀光栅,在1000~2500 nm光谱范围内,其最大相对衍射效率大于80%,平均相对衍射效率大于60%。实际飞行高光谱数据表明,基于该光栅研制的短波红外成像光谱仪满足地质遥感技术要求。 展开更多
关键词 光栅 成像光谱 凸面光栅 衍射效率 超精密加工 短波红外
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基于面阵CCD的激光告警系统的图像采集与处理 被引量:12
17
作者 苏平 牛燕雄 +3 位作者 李大乾 牛海莎 李易难 张超 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期394-399,共6页
光栅衍射型激光告警系统是一种基于光栅衍射效应、可实时探测来袭激光参量信息的光电对抗设备。为了获取入射激光的波长和入射角度,以光栅衍射效应为基本原理,采用面阵CCD进行图像采集、数字信号处理器进行图像处理,并依据信号特点开发... 光栅衍射型激光告警系统是一种基于光栅衍射效应、可实时探测来袭激光参量信息的光电对抗设备。为了获取入射激光的波长和入射角度,以光栅衍射效应为基本原理,采用面阵CCD进行图像采集、数字信号处理器进行图像处理,并依据信号特点开发了目标识别算法。通过理论分析和实验验证,设计出了一套基于面阵CCD的光栅衍射型激光告警系统的图像采集与处理系统,实现了对激光目标的探测。结果表明,该系统可有效地识别来袭激光并准确标记,具有良好的稳定性、实时性。 展开更多
关键词 图像处理 激光告警 光栅衍射 数字信号处理器
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卤素灯照明光栅衍射共路数字全息显微定量相位成像 被引量:11
18
作者 张佳恒 马利红 +1 位作者 李勇 金洪震 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期247-253,共7页
数字全息显微术是数字全息术和光学显微术相结合的定量相位成像技术。为克服高相干光源(激光)照明产生的散斑噪声和寄生条纹噪声,以及参物光路分离系统结构的不稳定性(易受外界震动干扰),实现了白光照明(卤素灯照明)的基于光栅衍射的共... 数字全息显微术是数字全息术和光学显微术相结合的定量相位成像技术。为克服高相干光源(激光)照明产生的散斑噪声和寄生条纹噪声,以及参物光路分离系统结构的不稳定性(易受外界震动干扰),实现了白光照明(卤素灯照明)的基于光栅衍射的共路离轴数字全息显微定量相位成像。首先基于理论分析和计算,得出系统可采用的光学元件参数和系统结构参数;然后建立了一套卤素灯照明的光栅衍射共路数字全息显微成像系统;最后对系统的成像准确度和时空噪声进行了测量。实验结果表明,该系统具有高准确度的成像性能,并具有非常高的时空敏感性(空间噪声为0.6nm,时间噪声为0.04nm)。 展开更多
关键词 全息 定量相位成像 白光 共路离轴 光栅衍射
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衍射光栅实验中平行光正入射条件的讨论 被引量:11
19
作者 朱江转 罗锻斌 《大学物理实验》 2017年第3期85-86,共2页
针对光栅衍射实验中如何保证平行光正入射光栅表面这一难点,总结出一种在实验教学简单可行、易于学生理解的操作方法。这种实验方法,既包含了分光计调节的基本要求,又能让学生比较容易掌握和理解光栅的衍射理论,提高了实验效率。
关键词 光栅 衍射 分光计 正入射
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Ce∶KNSBN光折变晶体光栅衍射特性研究 被引量:8
20
作者 梁宝来 王肇圻 +2 位作者 官玖洪 母国光 傅汝廉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第8期1021-1025,共5页
研究了Ce∶KNSBN光折变晶体两波耦合作用写入体光栅的衍射效率与写入光偏振态和光强比的关系 ,分析了写入光偏振态造成光栅衍射效率差别的原因 ,并用修正耦合波理论对实验结果进行了拟合。实验结果为Ce∶KNSBN晶体在全息记录和光学信息... 研究了Ce∶KNSBN光折变晶体两波耦合作用写入体光栅的衍射效率与写入光偏振态和光强比的关系 ,分析了写入光偏振态造成光栅衍射效率差别的原因 ,并用修正耦合波理论对实验结果进行了拟合。实验结果为Ce∶KNSBN晶体在全息记录和光学信息处理领域的应用提供了依据。 展开更多
关键词 光折变光栅 衍射效率 两波耦合 光折变晶体
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