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基于玻璃微熔技术的高压传感器开发
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作者 毛亮亮 章柯豪 付忠亮 《丽水学院学报》 2022年第5期27-32,共6页
为了提高SOI硅力敏原件和弹性敏感元件的黏合性,利用玻璃微熔技术将敏感电阻固定在敏感膜片上,研发出一款高压传感器。采用微机电系统MEMS工艺制备硅应变计,增强传感器各方面的性能。以高集成度的桥式压力传感器芯片NSA9260作为信号调... 为了提高SOI硅力敏原件和弹性敏感元件的黏合性,利用玻璃微熔技术将敏感电阻固定在敏感膜片上,研发出一款高压传感器。采用微机电系统MEMS工艺制备硅应变计,增强传感器各方面的性能。以高集成度的桥式压力传感器芯片NSA9260作为信号调理芯片,其具有三阶的非线性校准能力,校准精度较高。对高压传感器的主要指标进行检测实验,结果表明:在-40~120℃的温度区间内,压力测量范围可达50 MPa,控制精度在0.1%以内。 展开更多
关键词 玻璃微熔 微机系统(MEMS) SOI硅力敏元件
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