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题名复合分子泵牵引级参数对氦质谱检漏仪性能的影响研究
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作者
李博
侯德峰
王晓冬
巴德纯
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机构
东北大学机械工程与自动化学院
中国汽车工业工程有限公司
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出处
《真空与低温》
2022年第2期193-199,共7页
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基金
国家仪器重大专项资助项目(2013YQ130429)。
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文摘
复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件,其自身的几何参数在影响抽气性能的同时也影响检漏仪的检测性能。基于分子泵抽气基本理论,建立了复合分子泵牵引级的计算模型,通过改变螺旋升角、牵引槽深度和转子与定子的间隙,分别计算了复合分子泵牵引级对氦质谱检漏仪涉及到的2种气体——空气和氦气在不同工况下的抽气性能,研究了复合分子泵牵引级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响。结果表明,随着螺旋升角和牵引槽深度增大,氦质谱检漏仪的灵敏度均先提高后下降;增大转子与定子间隙,不利于氦质谱检漏仪灵敏度的提高;选取螺旋升角为22°、牵引槽深为2.5 mm、转子与定子间隙为0.3 mm时,氦质谱检漏仪具有较高的灵敏度,同时复合分子泵牵引级性能可靠且结构安全。
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关键词
牵引级
螺旋升角
牵引槽深度
转子与定子间隙
检漏仪灵敏度
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Keywords
traction stage
spiral rise angle
traction groove depth
gap between rotor and stator
sensitivity of leak detector
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分类号
TB752
[一般工业技术—真空技术]
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