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频率-电流扫描3ω法表征纳米薄膜界面热阻
被引量：
1
1
作者
王照亮
孙铭蔓
+1 位作者
姚贵策
梁金国
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期861-864,共4页
纳米薄膜与基体之间的界面热输运是MEMS系统热管理和热设计的热点和难点。建立了频率扫描3ω法的热阻抗网络模型。利用频率-电流扫描3ω法和不同厚度薄膜试样得到单层纳米薄膜与基体之间的界面热阻。ZrO_2、SiO_2增透膜与基体之间的界...
纳米薄膜与基体之间的界面热输运是MEMS系统热管理和热设计的热点和难点。建立了频率扫描3ω法的热阻抗网络模型。利用频率-电流扫描3ω法和不同厚度薄膜试样得到单层纳米薄膜与基体之间的界面热阻。ZrO_2、SiO_2增透膜与基体之间的界面热阻分别为0.108 m^2·K·MW^(-1)和0.066 m^2·K·MW^(-1)。发现界面热阻与扫描频率无关,未发现界面热阻随膜厚变化的尺度效应。实验和理论分析表明,声子近界面效应在增透膜和基体界面的热输运过程中起主导作用。
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关键词
纳米薄膜
界面热阻
频率扫描
3
ω
法
电流扫描
3
ω
法
声子近界面效应
原文传递
题名
频率-电流扫描3ω法表征纳米薄膜界面热阻
被引量：
1
1
作者
王照亮
孙铭蔓
姚贵策
梁金国
机构
中国石油大学(华东)能源与动力工程系
出处
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期861-864,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51176205
No.U1262112)
文摘
纳米薄膜与基体之间的界面热输运是MEMS系统热管理和热设计的热点和难点。建立了频率扫描3ω法的热阻抗网络模型。利用频率-电流扫描3ω法和不同厚度薄膜试样得到单层纳米薄膜与基体之间的界面热阻。ZrO_2、SiO_2增透膜与基体之间的界面热阻分别为0.108 m^2·K·MW^(-1)和0.066 m^2·K·MW^(-1)。发现界面热阻与扫描频率无关,未发现界面热阻随膜厚变化的尺度效应。实验和理论分析表明,声子近界面效应在增透膜和基体界面的热输运过程中起主导作用。
关键词
纳米薄膜
界面热阻
频率扫描
3
ω
法
电流扫描
3
ω
法
声子近界面效应
Keywords
nano
film
thermal
boundary
resistance
frequency
-
sweeping
3
ω
method
current
sweeping
3
ω
method
near-surface
effect
of
phonon
分类号
TB383.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
TB383.2
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
频率-电流扫描3ω法表征纳米薄膜界面热阻
王照亮
孙铭蔓
姚贵策
梁金国
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
原文传递
已选择
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参考文献
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