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LBO晶体上1064,532nm倍频增透膜的镀制及性能分析 被引量:8
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作者 邓震霞 贺洪波 +3 位作者 宋永香 杨燕静 范正修 邵建达 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1325-1328,共4页
用电子束蒸发沉积方法在X切LBO(X-LBO)晶体上镀制了两种不同膜系结构的1 064和532nm倍频增透膜,其中一种膜系结构为基底/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,另一种为基底/0.5Al2O3/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,两种膜系结构的主要差别在于有无... 用电子束蒸发沉积方法在X切LBO(X-LBO)晶体上镀制了两种不同膜系结构的1 064和532nm倍频增透膜,其中一种膜系结构为基底/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,另一种为基底/0.5Al2O3/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,两种膜系结构的主要差别在于有无氧化铝过渡层。测量了薄膜的反射率光谱曲线,发现两种增透膜在1 064和532 nm处的反射率均小于0.5%,实际镀制结果与理论设计曲线的差异主要是由材料折射率的变化引起的。且对样品在空气环境中进行了温度为473 K的退火处理,结果发现两种膜系结构均表现了较优异的光学性能,氧化铝过渡层的加入使薄膜具有强的热应力性能。 展开更多
关键词 薄膜 LBO晶体 倍频增透膜 过渡层 退火 热应力 热膨胀系数
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LBO晶体上1064nm,532nm二倍频增透膜的制备和性能 被引量:3
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作者 谭天亚 邵建达 +3 位作者 范正修 于撼江 吴炜 郭永新 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期2022-2025,共4页
采用电子束蒸发方法在三硼酸锂(LBO)晶体上制备了1064 nm,532 nm二倍频增透膜。利用Lambda900分光光度计、MTS Nano Indenter纳米力学综合测试系统以及调Q脉冲激光装置对样品的光学性能、附着力和激光损伤阈值进行了分析测试。结果表明... 采用电子束蒸发方法在三硼酸锂(LBO)晶体上制备了1064 nm,532 nm二倍频增透膜。利用Lambda900分光光度计、MTS Nano Indenter纳米力学综合测试系统以及调Q脉冲激光装置对样品的光学性能、附着力和激光损伤阈值进行了分析测试。结果表明,通过多次实验,不断改进薄膜沉积工艺条件,在LBO晶体上获得了综合性能优异的二倍频增透膜。样品在1064 nm,532 nm波长的剩余反射率分别为0.07%和0.16%,薄膜粘附失效的临界附着力和激光损伤阈值分别为137.4 mN和15.14 J/cm2,薄膜激光损伤发生在Al2O3膜层。 展开更多
关键词 薄膜光学 二倍频增透膜 LBO晶体 附着力 激光损伤阈值
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缓冲层对LBO晶体上1064nm,532nm增透膜附着力的影响 被引量:3
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作者 谭天亚 吴炜 +2 位作者 郭永新 邵建达 范正修 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1343-1346,共4页
采用电子束蒸发方法在LBO晶体上制备了无缓冲层和具有不同缓冲层的1064 nm,532 nm二倍频增透膜。利用分光光度计、纳米力学综合测试系统以及调Q脉冲激光装置对样品的光学性能、附着力以及抗激光损伤性能进行了测试分析。结果表明:所有... 采用电子束蒸发方法在LBO晶体上制备了无缓冲层和具有不同缓冲层的1064 nm,532 nm二倍频增透膜。利用分光光度计、纳米力学综合测试系统以及调Q脉冲激光装置对样品的光学性能、附着力以及抗激光损伤性能进行了测试分析。结果表明:所有样品在1064 nm和532 nm波长的剩余反射率都分别小于0.1%和0.2%;与无缓冲层样品相比,预镀Al2O3缓冲层样品的附着力提高了43.1%,具有SiO2缓冲层样品的附着力显著提高,而MgF2缓冲层的插入却导致薄膜附着力降低。应用全塑性压痕理论和剪切理论对薄膜的附着力增强机制进行了分析。薄膜的抗激光损伤性能分析表明,SiO2缓冲层也有助于改进薄膜的激光损伤阈值。 展开更多
关键词 二倍频增透膜 LBO晶体 附着力 缓冲层
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Employing SiO_2 Buffer Layer to Improve Adhesion of the Frequency-doubled Antireflection Coating on LBO
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作者 谭天亚 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2009年第6期849-851,共3页
Frequency-doubled antireflection coatings simultaneously effective at 1064 nm and 532 nm were deposited on the lithium triborate (LiB3O5 or LBO) crystals using the electron beam evaporation method. Comparing with th... Frequency-doubled antireflection coatings simultaneously effective at 1064 nm and 532 nm were deposited on the lithium triborate (LiB3O5 or LBO) crystals using the electron beam evaporation method. Comparing with the sample without buffer layer, it is found that the adhesion of the sample with buffer layer of SiO2 between coating and LBO substrate is improved significantly from 137.4 mN to greater than 200 mN. And the laser-induced damage threshold is increased by 20% from 15.1 J/cm^2 to 18.6 J/cm^2. The strengthening mechanism of adhesion of the buffer layer of SiO2 is discussed by considering full plastic indentation and shear theory. 展开更多
关键词 frequency-doubled antireflection coating LBO crystal ADHESION
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缓冲层对LBO晶体上1064nm,532nm二倍频增透膜的激光损伤阈值的影响 被引量:2
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作者 谭天亚 于撼江 +3 位作者 吴炜 郭永新 范正修 邵建达 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期2613-2617,共5页
采用电子束蒸发方法在LBO晶体上制备了无缓冲层和具有不同缓冲层的1064nm,532nm二倍频增透膜.利用Lambda900分光光度计和调Q脉冲激光装置对样品的光学性能和抗激光损伤性能进行了测试分析.结果表明,所有样品在1064nm和532nm波长的剩余... 采用电子束蒸发方法在LBO晶体上制备了无缓冲层和具有不同缓冲层的1064nm,532nm二倍频增透膜.利用Lambda900分光光度计和调Q脉冲激光装置对样品的光学性能和抗激光损伤性能进行了测试分析.结果表明,所有样品在1064nm和532nm波长的剩余反射率都分别小于0.1%和0.2%.与无缓冲层样品相比,采用SiO2和MgF2缓冲层薄膜的激光损伤阈值分别提高了23.1%和25.8%,而Al2O3缓冲层的插入却导致薄膜的激光损伤阈值降低.通过观察薄膜的激光损伤形貌,分析破斑的深度信息和电场分布,表明LBO晶体上1064nm,532nm二倍频增透膜的激光损伤破坏主要表现为膜层剥落,激光产生的热冲击应力使薄膜应力发生很大变化,超过膜层之间的结合而引起膜层之间的分离.采用SiO2或MgF2缓冲层可改进Al2O3膜层的质量,从而有利于提高薄膜的激光损伤阈值. 展开更多
关键词 光学薄膜 二倍频增透膜 LBO晶体 激光损伤阈值 缓冲层
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缓冲层对LiB_3O_5晶体上1064nm,532nm倍频增透膜性能的影响
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作者 谭天亚 于撼江 +3 位作者 吴炜 郭永新 邵建达 范正修 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期272-276,共5页
采用电子束蒸发方法在LiB3O5(LBO)晶体上制备了无缓冲层和具有不同缓冲层的1064nm,532nm倍频增透膜。利用Lambda900分光光度计、MTS Nano Indenter纳米力学综合测试系统以及调Q脉冲激光装置对样品的光学性能、附着力和激光损伤阈值进行... 采用电子束蒸发方法在LiB3O5(LBO)晶体上制备了无缓冲层和具有不同缓冲层的1064nm,532nm倍频增透膜。利用Lambda900分光光度计、MTS Nano Indenter纳米力学综合测试系统以及调Q脉冲激光装置对样品的光学性能、附着力和激光损伤阈值进行了测试分析。结果表明,所有样品在1064nm和532nm波长的剩余反射率都分别小于0.1%和0.2%。与无缓冲层样品相比,预镀Al2O3缓冲层的样品的附着力提高了43%,具有Si O2缓冲层的样品的附着力显著提高。激光损伤阈值分析表明,采用Si O2缓冲层改进了薄膜的抗激光损伤性能,但是Al2O3缓冲层的插入却导致薄膜的激光损伤阈值降低。 展开更多
关键词 薄膜光学 倍频增透膜 LBO晶体 附着力 激光损伤阈值 缓冲层
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