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题名高性能温补型薄膜体声波滤波器的研制
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作者
刘娅
陈凤
黄晶
黄龙
吕峻豪
孙明宝
马晋毅
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机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第6期795-799,共5页
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文摘
该文研制了一种高性能温补型薄膜体声波谐振(TC-FBAR)滤波器。采用COMSOL软件对高性能温补型结构的谐振器进行建模和仿真,在常规一维Mason等效电路模型的基础上进行修正,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的TC-FBAR滤波器。采用空腔型结构并制备出温补型FBAR滤波器芯片,同时在常规TC-FBAR基础上制备空气桥和凸起层结构,得到双空气桥结构的高性能TC-FBAR滤波器。测试结果表明,滤波器的中心频率为2.43 GHz,最小插损为1.02 dB,1 dB带宽为70.5 MHz,频率温度系数为1.82×10^(-6)/℃。
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关键词
温补型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR)
滤波器
温补层
频率温度系数(tcf)
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Keywords
temperature compensation thin-film bulk acoustic resonator(TC-FBAR)
filter
temperature compensation layer
frequency temperature coefficient(tcf)
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
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题名基于ZnO/AlN/金刚石温补结构的研究
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作者
文武
刘传浩
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机构
重庆邮电大学通信与信息工程学院
重庆邮电大学通信新技术应用研究中心
重庆信科设计有限公司
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2019年第6期802-805,共4页
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文摘
使用COMSOL软件对ZnO/AlN/金刚石温度补偿结构进行建模分析,计算了该结构Love波模式0和模式1的频率温度系数(TCF)、声速(v)和机电耦合系数(k^2),且讨论了ZnO薄膜厚度hZnO和AlN薄膜厚度hAlN对这些参数的影响。结果表明,当hZnO=1μm,hAlN=1.88μm时,温度补偿结构Love波模式1的TCF=0,v=9208m/s,k^2=3.84%,说明这种温度补偿结构能应用在高频和温度补偿声表面波器件中。
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关键词
频率温度系数(tcf)
机电耦合系数(k^2)
COMSOL
LOVE波
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Keywords
frequency temperature coefficient(tcf)
electromechanical coupling coefficient(k^2)
COMSOL
Love wave
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
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