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集成聚焦式测头的纳米测量机用于台阶高度标准的评价 被引量:5
1
作者 郭彤 陈津平 +1 位作者 傅星 胡小唐 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1096-1100,共5页
利用集成聚焦式测头的纳米测量机实现了高精度的台阶高度标准评价,该系统的测量范围可以达到25mm×25mm×5mm。描述了纳米测量机的工作原理,通过内嵌激光干涉仪和角度传感器的实时测量与反馈,实现高精度定位与扫描。聚焦式测头... 利用集成聚焦式测头的纳米测量机实现了高精度的台阶高度标准评价,该系统的测量范围可以达到25mm×25mm×5mm。描述了纳米测量机的工作原理,通过内嵌激光干涉仪和角度传感器的实时测量与反馈,实现高精度定位与扫描。聚焦式测头只作为零点传感器,与3个激光轴交于一点,避免了阿贝误差影响。通过将聚焦式测头的输出信号引入到纳米测量机的数字信号控制器中,实现定位系统的辅助测量,减小了聚焦式测头的非线性对测量结果的影响。根据ISO5436-1:2000的评价方法对经过标定的台阶高度进行评价,14次测量的均方根(RMS)偏差为0.237nm。 展开更多
关键词 测量与计量 纳米测量机 聚焦式测头 台阶高度标准
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磁聚焦式转子振动传感器研究
2
作者 刘杰 李志鹏 +1 位作者 郭艳玲 朱世宁 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第1期1-5,30,共6页
为了实现转子的轴向振动测量,提出了一种磁聚焦式的转子振动传感器,介绍了传感器的结构和工作原理,结合磁聚焦技术和电磁感应定律推导了传感器的输出电压数学模型。利用MATLAB和COMSOL软件对传感器进行了理论计算和建模仿真,结合设定的... 为了实现转子的轴向振动测量,提出了一种磁聚焦式的转子振动传感器,介绍了传感器的结构和工作原理,结合磁聚焦技术和电磁感应定律推导了传感器的输出电压数学模型。利用MATLAB和COMSOL软件对传感器进行了理论计算和建模仿真,结合设定的转速、频率等定量分析了线圈输出电信号与转子振动和旋转参数之间的关系,并进行了旋转实验验证。仿真结果表明在1 A激励电流下传感器的激励装置可产生中心磁感应强度为0.02 T的聚焦磁场,且当转子振动时,线圈输出电信号与振幅、频率、转速间存在较强的线性关系。实验结果表明传感器输出电信号为类正弦电压,验证了本传感器测振的可行性。 展开更多
关键词 磁聚焦 振动传感器 转子轴向振动 圆环线圈 输出电压
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磁聚焦式扭矩传感器激励线圈控制策略研究
3
作者 王宪彬 孙士铭 +2 位作者 李志鹏 董晟 乔明泽 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第5期19-25,共7页
为测量旋转轴不同工况下的扭矩,提出了一种基于磁聚焦式扭矩传感器的激励线圈控制策略。该控制策略以控制传感器稳定输出幅值为2 mV电信号为目标,将感应电压数学模型和正交试验法相结合,对各个工况下的激励线圈控制策略进行设计,并利用M... 为测量旋转轴不同工况下的扭矩,提出了一种基于磁聚焦式扭矩传感器的激励线圈控制策略。该控制策略以控制传感器稳定输出幅值为2 mV电信号为目标,将感应电压数学模型和正交试验法相结合,对各个工况下的激励线圈控制策略进行设计,并利用MATLAB和COMSOL软件对各控制策略进行理论计算和有限元仿真验证。为模拟传感器在台架实验中得到的带噪声信号,对仿真得到的输出电信号添加高斯白噪声,利用MATLAB仿真软件对带噪声信号进行滤波优化。仿真结果表明:该控制策略能够使传感器在旋转轴的不同工况下,稳定输出幅值为2 mV的类正弦电压信号,验证了其可行性。 展开更多
关键词 磁聚焦 扭矩传感器 激励线圈控制策略 圆环线圈 滤波优化
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现代相机的自动功能(自动聚焦式相机) 被引量:2
4
作者 关文俊 和亮 《哈尔滨师范大学自然科学学报》 CAS 1999年第6期76-79,共4页
这篇文章讲述了现代相机的自动聚焦功能 ,并且着重介绍了眼控自动聚焦的发展和使用 .
关键词 自动测距 自动聚焦式相机 眼控自动聚焦 主动AF
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磁聚焦式扭矩传感器聚焦装置的仿真分析 被引量:2
5
作者 李志鹏 王博男 +2 位作者 孟旭 朱世宁 刘杰 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第11期31-34,共4页
针对现有磁聚焦线圈与转轴间隙较大时,聚焦磁场发散的问题,设计了一种新型导磁体,并提出了金属屏蔽层的构想。利用COMSOL仿真软件,分析了不同材质和不同尺寸的导磁体与屏蔽层对聚焦效果的影响,用逐点法挑选出聚焦效果最好的组合,构成聚... 针对现有磁聚焦线圈与转轴间隙较大时,聚焦磁场发散的问题,设计了一种新型导磁体,并提出了金属屏蔽层的构想。利用COMSOL仿真软件,分析了不同材质和不同尺寸的导磁体与屏蔽层对聚焦效果的影响,用逐点法挑选出聚焦效果最好的组合,构成聚焦装置。研究结果表明:在导磁体下方1~5 mm处,半径为1 cm的圆内形成有效的聚焦倍数,实现了磁聚焦式扭矩传感器对其下方一定的高度处确定面积内形成聚焦磁场的需求。引入屏蔽层后,减少了原有的漏磁,提高了中心聚焦度,聚焦倍数最高可达158.52,发展了静磁屏蔽的应用,解决了间隙增大磁场发散的缺陷。 展开更多
关键词 磁聚焦 扭矩传感器 导磁体 COMSOL仿真软件
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自聚焦透镜及其在光纤传感系统中的应用
6
作者 金晓丹 江涛 戚兵 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第4期390-395,共6页
在对自聚焦透镜的光学特性分析的基础上,对引起自聚焦透镜间耦合损 耗的轴偏离、角偏离、间距大小以及装配误差、色差等误差原因进行了较为详 细的分析,并介绍自聚焦透镜在光纤传感系统中的应用,提出一种补偿结构, 从而提高光纤传... 在对自聚焦透镜的光学特性分析的基础上,对引起自聚焦透镜间耦合损 耗的轴偏离、角偏离、间距大小以及装配误差、色差等误差原因进行了较为详 细的分析,并介绍自聚焦透镜在光纤传感系统中的应用,提出一种补偿结构, 从而提高光纤传感系统的测量精度和稳定性,达到很好的补偿效果. 展开更多
关键词 透镜 自聚焦 损耗 传感器
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基于小波分解的不同聚焦点图像融合方法 被引量:19
7
作者 杨? 杨万海 裴继红 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期846-848,共3页
本文提出了一种基于小波分解的多聚焦图像融合方法 .该方法首先建立一个PSF模型来描述目标聚焦的情况 ,然后利用小波分解分析不同聚焦图像在高斯平滑前后其高频分量的差异 ,进而判断图像中聚焦清晰的目标 ,并进行融合 .实验结果表明 ,... 本文提出了一种基于小波分解的多聚焦图像融合方法 .该方法首先建立一个PSF模型来描述目标聚焦的情况 ,然后利用小波分解分析不同聚焦图像在高斯平滑前后其高频分量的差异 ,进而判断图像中聚焦清晰的目标 ,并进行融合 .实验结果表明 ,本文提出的方法可以得到目标都清晰的融合图像 ,其融合结果优于小波变换法和Lapla 展开更多
关键词 图像融合 小波分解 聚焦点 图像处理
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非接触式叶片振测系统的叶尖定时传感器的研究 被引量:6
8
作者 方志强 段发阶 +1 位作者 孙宇扬 赵行明 《计量学报》 CSCD 北大核心 2003年第2期119-121,共3页
介绍了一种新型的叶尖定时传感器 ,传感器采用Y型耦合光纤与自聚焦透镜相结合 ,实现聚光照明及叶尖散射光的高效收集 ,大大提高了检测灵敏度。光源采用 4 5mW的半导体激光器 ,光电接收元件采用雪崩式光电二极管。传感器具有体积小、结... 介绍了一种新型的叶尖定时传感器 ,传感器采用Y型耦合光纤与自聚焦透镜相结合 ,实现聚光照明及叶尖散射光的高效收集 ,大大提高了检测灵敏度。光源采用 4 5mW的半导体激光器 ,光电接收元件采用雪崩式光电二极管。传感器具有体积小、结构简单、成本低、安装和调节方便、测量精度高等优点。实验表明 ,该传感器对信号有良好的接收能力 ,满足涡轮机叶片高速、实时检测的要求 。 展开更多
关键词 计量学 振动测量 Y型光纤 自聚焦透镜 叶尖定时传感器 非接触式叶片振测系统
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吸收型光纤硫化氢气体检测研究 被引量:9
9
作者 贾振安 王俊锋 +2 位作者 周红 白亮 王炜 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第7期142-146,共5页
基于气体近红外选择性吸收理论和Beer-Lambert定律,研究了硫化氢气体的拉曼散射特性,同时采用宽带光源光谱吸收检测技术对H2S气体进行检测。将自聚焦透镜作为光纤准直透镜和聚焦透镜,并将其应用于透射型气室。同时,提出了在透射式气室... 基于气体近红外选择性吸收理论和Beer-Lambert定律,研究了硫化氢气体的拉曼散射特性,同时采用宽带光源光谱吸收检测技术对H2S气体进行检测。将自聚焦透镜作为光纤准直透镜和聚焦透镜,并将其应用于透射型气室。同时,提出了在透射式气室中将多对自聚焦透镜组串联使用以增加吸收光程的方法,该方法可以明显提高气室的检测灵敏度。通过分析实验测得的H2S吸收曲线,得到系统的灵敏度为3.672×10-4μW/(μL/L),分辨率为122.5μL/L。 展开更多
关键词 光谱学 H2S吸收谱 自聚焦透镜 气室 光纤气体传感
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基于自适应时间反转聚焦的加筋复材板冲击定位 被引量:1
10
作者 武湛君 曾旭 +4 位作者 邓德双 杨正岩 杨红娟 马书义 杨雷 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期507-520,共14页
复合材料结构在航空航天、海洋工程和轨道交通等领域中占有重要地位。但由于复合材料在抗冲击性能方面存在缺陷,实时在线的冲击监测技术越来越受到关注。本文提出了基于自适应时间反转聚焦的加筋复材板冲击定位方法。首先,利用结构表面... 复合材料结构在航空航天、海洋工程和轨道交通等领域中占有重要地位。但由于复合材料在抗冲击性能方面存在缺陷,实时在线的冲击监测技术越来越受到关注。本文提出了基于自适应时间反转聚焦的加筋复材板冲击定位方法。首先,利用结构表面布置的压电传感器网络接收冲击响应信号;然后,利用连续小波变换提取冲击响应信号的窄带Lamb波信号,使用窄带Lamb波信号的包络特征,根据时间反转聚焦原理,构建以冲击位置坐标和窄带Lamb波群速度为变量的虚拟时间反转成像函数;最后,迭代计算不同群速度下对应的虚拟时间反转成像结果,根据不同群速度对应的图像最大像素曲线获得自适应时间反转聚焦图像,从而实现冲击定位。利用尺寸为800 mm×400 mm(长×宽)的加筋编织复材板进行落球冲击实验,验证该方法的有效性。结果表明该方法可以准确的识别冲击位置,且在引入噪声、传感器数量减少和变温情况下仍然具有较好的精度。 展开更多
关键词 时间反转聚焦 加筋复材板 冲击定位 LAMB波 压电传感器
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调焦调平传感器增益系数工艺相关性研究 被引量:3
11
作者 孙生生 王丹 宗明成 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期101-108,共8页
针对先进光刻调焦调平传感器系统的增益系数工艺相关性开展理论仿真与实验研究。建立了增益系数工艺相关性理论模型,仿真分析了调焦调平传感器增益系数与测量误差随不同光刻工艺材料膜层厚度的变化规律。在自研实验系统上对表面涂覆不... 针对先进光刻调焦调平传感器系统的增益系数工艺相关性开展理论仿真与实验研究。建立了增益系数工艺相关性理论模型,仿真分析了调焦调平传感器增益系数与测量误差随不同光刻工艺材料膜层厚度的变化规律。在自研实验系统上对表面涂覆不同厚度SiO_(2)薄膜的硅片样品进行了实验验证,发现实验与理论仿真得到的增益系数与测量误差随膜层厚度的变化规律一致。仿真与实验研究结果表明,调焦调平传感器的工艺相关性测量误差在SiO_(2)膜层厚度为250 nm和690 nm附近时分别出现约55.9 nm和36.6 nm的误差峰值。采用表面覆盖特定膜层的硅片来标定光刻机调焦调平传感器,可以有效减小增益系数工艺相关性的影响和测量误差。本研究结果对于光刻精密对焦控制、光刻工艺优化具有重要的参考意义。 展开更多
关键词 测量 调焦调平传感器 增益系数 工艺相关性 对焦控制
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基于参数辨识的磁聚焦式扭矩传感器模型研究
12
作者 陈杰 李志鹏 李健 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第8期6-11,共6页
为解决磁聚焦式扭矩传感器模型未知参数问题,实现其更精确地测量,文中通过对此传感器机理分析建立了数学模型与非零初始条件下的系统模型,确定了辨识参数矩阵。提出了一种预测误差法与自适应粒子群算法相结合的参数辨识方法。搭建正弦... 为解决磁聚焦式扭矩传感器模型未知参数问题,实现其更精确地测量,文中通过对此传感器机理分析建立了数学模型与非零初始条件下的系统模型,确定了辨识参数矩阵。提出了一种预测误差法与自适应粒子群算法相结合的参数辨识方法。搭建正弦激励校准实验系统对其进行验证,结果表明,该方法有效地实现了传感器参数的辨识,得到的传感器模型具有较高的精度,为其动态特性分析与误差补偿提供了可靠依据。 展开更多
关键词 磁聚焦式扭矩传感器 参数辨识 ARMAX模型 自适应粒子群算法 预测误差法 非零初始条件
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管环缝相控阵双全法超声检测 被引量:4
13
作者 李衍 《无损探伤》 2019年第5期1-2,6,共3页
介绍超声"双全"法-相控阵全矩阵捕获(FMC)和全聚焦法(TFM)用于管环缝检测。用相关算法和低成本传感器配置,可使具有曲面几何特征的管环缝检测,一快二准。本文意在为当今新一代相控阵法-超声"双全"法的推行,提供实... 介绍超声"双全"法-相控阵全矩阵捕获(FMC)和全聚焦法(TFM)用于管环缝检测。用相关算法和低成本传感器配置,可使具有曲面几何特征的管环缝检测,一快二准。本文意在为当今新一代相控阵法-超声"双全"法的推行,提供实用新案例。 展开更多
关键词 管环缝 相控阵 全矩阵捕获 全聚焦法 传感器配置
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基于PSD的显微镜硬件自动聚焦系统研究 被引量:3
14
作者 杨宇 赵宇 +1 位作者 杨明 孟传瑞 《机电工程》 CAS 2016年第1期47-51,共5页
针对快速、大批量自动图像采集的问题,对一种硬件聚焦方法进行了研究。结合光学原理,通过光电位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,PSD)进行了位置检测,将测量位置量转换为电量。对PSD的转换电路进行了设计,根据聚焦提出的精度... 针对快速、大批量自动图像采集的问题,对一种硬件聚焦方法进行了研究。结合光学原理,通过光电位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,PSD)进行了位置检测,将测量位置量转换为电量。对PSD的转换电路进行了设计,根据聚焦提出的精度,对所用电子元器件进行了选型,达到了控制要求。然后由MCU对实验数据进行了线性化处理,从而得到了位移变化量和PSD转换电路的输出数据之间较好的对应关系,最终获得了精准的焦点位置。研究结果表明,该硬件自动聚焦系统在聚焦精度和聚焦速度方面都有明显的优势。 展开更多
关键词 硬件自动聚焦 PSD传感器 PSD转换电路 线性化处理
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一种新的宽带Chirp信号到达角估计 被引量:2
15
作者 汤建龙 杨绍全 《信号处理》 CSCD 北大核心 2006年第2期149-152,共4页
提出了基于空问聚焦的宽带信号到达角(DOA)估计算法。该算法利用对称阵子和双线性变换可将多个宽带信号聚焦至各自的瞬时频率,再通过傅立叶变换,在信号各自的瞬时频率上构造相关矩阵,由此构造MUSIC空间谱可获得信号的DOA。分析了阵元通... 提出了基于空问聚焦的宽带信号到达角(DOA)估计算法。该算法利用对称阵子和双线性变换可将多个宽带信号聚焦至各自的瞬时频率,再通过傅立叶变换,在信号各自的瞬时频率上构造相关矩阵,由此构造MUSIC空间谱可获得信号的DOA。分析了阵元通道幅相不一致对算法的影响,并给出了基于相关矩阵Toeplitz性的校正算法。计算机仿真结果表明算法的正确性。 展开更多
关键词 到达角估计 空间聚焦 幅相不一致
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星敏感器调焦方法研究 被引量:3
16
作者 刘达 钟红军 +1 位作者 李春江 卢欣 《空间控制技术与应用》 CSCD 北大核心 2015年第1期59-62,共4页
调焦是星敏感器产品设计生产的一个关键环节.精确的调焦可以提高星敏感器的灵敏度和测量精度,保证星敏感器的性能指标.从焦点位置、光轴与芯片法线不重合、芯片安装精确度、质心稳定性等方面分析了影响调焦的各种因素,总结出调焦方法.
关键词 调焦 星敏感器 测量精度
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应用于绝缘子污秽放电监测方法中聚焦声传感器装置的研究 被引量:2
17
作者 邵翠玲 杨振 田双双 《电测与仪表》 北大核心 2015年第18期10-15,共6页
采用基于声发射技术的绝缘子污秽放电在线监测方法来实现对绝缘子污闪的预测是当前国内外输电线路检修技术新的发展方向,文章在绝缘子污秽放电声发射信号的产生及传播特性的基础上,研制出一套运用于此监测方法的聚焦声传感器装置,并经... 采用基于声发射技术的绝缘子污秽放电在线监测方法来实现对绝缘子污闪的预测是当前国内外输电线路检修技术新的发展方向,文章在绝缘子污秽放电声发射信号的产生及传播特性的基础上,研制出一套运用于此监测方法的聚焦声传感器装置,并经过现场安装调试及运行,证明了装置的有效性及实用性。 展开更多
关键词 绝缘子 污秽放电 聚焦声传感器 声吸收层
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激光位移传感器在晶圆检测中的应用研究 被引量:2
18
作者 熊显名 王秀秀 任星晓 《自动化与仪器仪表》 2022年第8期7-12,共6页
由于极高的光学分辨要求,导致焦深日益减小,为适应十分有限的焦深,探索一种可以应用于晶圆检测设备中的调焦技术。主要研究内容包括激光位移传感器检焦测量原理、调焦工作原理、调焦流程以及利用最小二乘法拟合晶圆面型。采用Tenengrad... 由于极高的光学分辨要求,导致焦深日益减小,为适应十分有限的焦深,探索一种可以应用于晶圆检测设备中的调焦技术。主要研究内容包括激光位移传感器检焦测量原理、调焦工作原理、调焦流程以及利用最小二乘法拟合晶圆面型。采用Tenengrad梯度函数和Sobel算子提取像素点水平方向和垂直方向的梯度值,以此来评判图像清晰度,验证激光位移传感器在晶圆检测工作中调焦得可行性,从而提供一种更加通用便捷的工程解决方案。 展开更多
关键词 调焦 曲面拟合 晶圆检测 激光位移传感器
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航空光电遥感器高精密紧凑型调焦机构的设计 被引量:1
19
作者 张洪伟 陈卫宁 +2 位作者 曲锐 丁亚林 武力 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第10期253-258,共6页
针对航空光电遥感器在不同工作环境下会产生离焦这一问题,采用移动镜组方式进行调焦,以保证其成像质量。该调焦机构采用消间隙丝杠螺母副作为传动机构,采用六个精密轴承及弹性预紧组件作为导向机构,同时采用一对电涡流传感器及一个菱形... 针对航空光电遥感器在不同工作环境下会产生离焦这一问题,采用移动镜组方式进行调焦,以保证其成像质量。该调焦机构采用消间隙丝杠螺母副作为传动机构,采用六个精密轴承及弹性预紧组件作为导向机构,同时采用一对电涡流传感器及一个菱形被检测件作为测位移传感器,在有限包络尺寸下最大程度保证其调焦精度。从传动误差和传感器组件误差两方面对调焦机构进行精度分析,并且搭建实验平台对其进行了传动定位精度实验和晃动精度实验。实验结果表明,该调焦机构的传动定位精度在±6μm以内,晃动精度在±4″以内,满足光学系统提出的调焦精度设计要求。 展开更多
关键词 航空光电遥感器 调焦机构 消间隙丝杠螺母副 电涡流传感器
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Temperature stability of magnetic field for periodic permanent-magnet focusing system 被引量:1
20
作者 Li Li Jian-Ya Chen Yun-Jie Liu 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第2期180-184,共5页
In this study, finite element analysis based on an Ansoft Maxwell software was used to reveal the temperature stability of a magnet ring and the equivalent structural periodic permanent-magnet(PPM) focusing system. ... In this study, finite element analysis based on an Ansoft Maxwell software was used to reveal the temperature stability of a magnet ring and the equivalent structural periodic permanent-magnet(PPM) focusing system. It is found that with the temperature increasing, the decrease rate of magnetic induction peak(Bz)maxof single magnet ring is greater than that of remanence Brof magnet in the range from room temperature to 200 °C, however,the PPM focusing system do have the same temperature characteristics of permanent-magnet materials. It indicates that the magnetic temperature properties of the PPM system can be effectively controlled by adjusting the temperature properties of the magnets. Moreover, the higher permeability of the magnets indicates the less Hcb, giving rise to lower magnetic induction peak (Bz)′max: Finally, it should be noted that the magnetic orientation deviation angle θ(/15°) of permanent magnets has little effect on the focusing magnetic field of the PPM system at different temperatures and the temperature stability. The obtained results are beneficial to the design and selection of permanent magnets for PPM focusing system. 展开更多
关键词 Periodic permanent-magnets focusing system Rare earth permanent magnets Finite element simulation Temperature stability Wireless underground sensor network
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