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扩散气体流量对单晶硅太阳电池性能的影响 被引量:3
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作者 倪玉凤 董鹏 +2 位作者 屈小勇 吴翔 代同光 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期422-424,共3页
以160 mm×160 mm规格单晶硅片为实验原材料,分别研究了小氮和氧气流量对薄层方块电阻的大小、均匀性、扩散后硅片少子寿命的影响,以及最终对单晶太阳电池开路电压(V_(oc))、短路电流(I_(sc))、转换效率(η)等电性能参数的影响。通... 以160 mm×160 mm规格单晶硅片为实验原材料,分别研究了小氮和氧气流量对薄层方块电阻的大小、均匀性、扩散后硅片少子寿命的影响,以及最终对单晶太阳电池开路电压(V_(oc))、短路电流(I_(sc))、转换效率(η)等电性能参数的影响。通过逐步改变小氮和氧气流量,找出小氮和氧气流量的最佳比值,优化了扩散工艺。实验证明,小氮流量在1 100m L/min,氧气流量在500 mL/min时,太阳电池的转化效率最高。 展开更多
关键词 小氮流量 氧气流量 方块电阻 少子寿命 转化效率
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