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基于二维半导体材料浮栅存储器的研究进展:从材料到结构
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作者 李浩宇 李文庆 +1 位作者 蒋昌忠 肖湘衡 《物理实验》 2023年第5期1-14,共14页
半导体浮栅存储器在半导体存储器乃至整个数据存储行业都占据着较大的市场份额,目前在计算机、便携式设备存储器等领域都有广泛应用.随着存储器件进一步小型化和集成化,在未来需要新材料和新结构对浮栅存储器进行革新以延续摩尔定律的发... 半导体浮栅存储器在半导体存储器乃至整个数据存储行业都占据着较大的市场份额,目前在计算机、便携式设备存储器等领域都有广泛应用.随着存储器件进一步小型化和集成化,在未来需要新材料和新结构对浮栅存储器进行革新以延续摩尔定律的发展.具有原子级厚度的二维层状半导体材料具有优异的电学性能和稳定性,被广泛认为是极具潜力的新型半导体材料之一,可用于下一代半导体浮栅存储器.本文主要介绍近年来二维半导体材料在浮栅存储器领域的应用,并对其未来的发展趋势进行了思考和展望. 展开更多
关键词 浮栅存储器 二维材料 异质结构 闪存
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Flash存储器总剂量辐射损伤效应和退火特性 被引量:3
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作者 张兴尧 郭旗 +3 位作者 张乐情 卢健 吴雪 于新 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期20-24,共5页
针对一款商用浮栅型Flash存储器进行60Coγ总剂量试验和退火试验,分析了器件失效的机理。使用超大规模集成电路测试系统测试了Flash的DC、AC、功能参数,利用Shmoo测试扩展了辐射敏感参数的范围和辐射损伤分析手段,分析了辐射敏感参数在... 针对一款商用浮栅型Flash存储器进行60Coγ总剂量试验和退火试验,分析了器件失效的机理。使用超大规模集成电路测试系统测试了Flash的DC、AC、功能参数,利用Shmoo测试扩展了辐射敏感参数的范围和辐射损伤分析手段,分析了辐射敏感参数在辐射和退火过程中的变化规律。实验结果表明:强场下氧化物陷阱电荷和界面态陷阱电荷的加速积累使电荷泵电路的性能恶化造成器件的功能失效。由于氧化物陷阱电荷在数量上多于界面态陷阱电荷,使得器件功能和辐射敏感参数在退火过程中恢复。 展开更多
关键词 浮栅型flash存储器 最高工作频率 电荷泵
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电离总剂量效应对浮栅型Flash存储器擦写耐久与数据保持特性的影响研究 被引量:2
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作者 刘岐 沈鸣杰 董艺 《航天器环境工程》 2019年第3期264-270,共7页
文章通过电离总剂量效应、擦写循环和数据保持试验及其叠加试验,研究了总剂量效应对浮栅型Flash存储器擦写耐久和数据保持特性的影响。对较高总剂量(150 krad(Si))和含动态偏置在内的多种偏置条件进行了评估。结果表明:总剂量效应对擦... 文章通过电离总剂量效应、擦写循环和数据保持试验及其叠加试验,研究了总剂量效应对浮栅型Flash存储器擦写耐久和数据保持特性的影响。对较高总剂量(150 krad(Si))和含动态偏置在内的多种偏置条件进行了评估。结果表明:总剂量效应对擦写特性的影响较小,甚至可以忽略;总剂量效应对数据保持的影响主要表现在辐射致电荷泄漏,若总剂量效应试验后刷新数据,则其影响几乎可以忽略。为了减小辐射致电荷泄漏对数据保持的影响,在系统级应用上建议增加数据刷新次数。 展开更多
关键词 浮栅型flash存储器 电离总剂量效应 擦写耐久 数据保持 可靠性 试验研究
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P-flash串扰机制和解决方案的研究 被引量:1
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作者 田志 殷冠华 +3 位作者 顾珍 钟林健 秦佑华 陈昊瑜 《中国集成电路》 2018年第1期27-34,40,共9页
随着集成电路技术的快速发展,通过对作为将来低功耗和高速度读取的重要候选者的2T P-flash串扰结果的分析,从结构和功能方面出发找寻串扰产生的机制,进而在工艺和设计上提出相应的改善方法。通过在浅槽隔离下方注入合适的浓度,使以浅槽... 随着集成电路技术的快速发展,通过对作为将来低功耗和高速度读取的重要候选者的2T P-flash串扰结果的分析,从结构和功能方面出发找寻串扰产生的机制,进而在工艺和设计上提出相应的改善方法。通过在浅槽隔离下方注入合适的浓度,使以浅槽隔离区氧化硅为栅极氧化硅的选择晶体管可以承受更高的电压,从而改善编程单元造成的串扰。通过设计上的改进:(a)编程串扰:降低编程强度或是编程的时间,(b)擦除串扰:降低非选择区块的源端电压,(c)读操作串扰:降低读操作电压。通过改进的串扰措施,使P-flash的抗串扰能力增强,为2T P-flash作为低功耗,高速度的嵌入式闪存提供强有力的基础。 展开更多
关键词 闪存 浮栅极 2T闪存存储单元 选择管 存储管 串扰
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A 65-nm 1-Gb NOR floating-gate flash memory with less than 50-ns access time
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作者 Yu Wang Zongliang Huo +8 位作者 Huamin Cao Ting Li Jing Liu Liyang Pan Xing Zhang Yun Yang Shenfeng Qiu Hanming Wu Ming Liu 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2014年第29期3935-3942,共8页
This paper presents a 65-nm 1-Gb NOR-type floating-gate flash memory,in which the cell device and chip circuit are developed and optimized.In order to solve the speed problem of giga-level NOR flash in the deep submic... This paper presents a 65-nm 1-Gb NOR-type floating-gate flash memory,in which the cell device and chip circuit are developed and optimized.In order to solve the speed problem of giga-level NOR flash in the deep submicron process,the models of long bit-line and word-line are first given,by which the capacitive and resistive loads could be estimated.Based on that,the read path and key modules are optimized to enhance the chip access property and reliability.With the measurement results,the flash memory cell presents good endurance and retention properties,and the macro is operated with 1-ls/byte program speed and less than 50-ns read time under 3.3 V supply. 展开更多
关键词 NOR闪存 访问时间 GB 浮栅 NS 深亚微米工艺 芯片电路 速度问题
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