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针对曲面光学元件的五轴表面形貌测量系统结构参数标定
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作者 杨俊 沈毅君 +3 位作者 刘嘉宇 温荣贤 任明俊 苏榕 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第17期204-212,共9页
针对曲面光学元件的表面形貌测量,将自研扫描白光干涉测头集成到Moore五轴运动平台上构建了一套五轴白光干涉测量系统。为了实现自动化测量,研究了该系统的运动学模型并解得逆运动学方程组。对于逆运动学方程组中的未知参数,提出一种使... 针对曲面光学元件的表面形貌测量,将自研扫描白光干涉测头集成到Moore五轴运动平台上构建了一套五轴白光干涉测量系统。为了实现自动化测量,研究了该系统的运动学模型并解得逆运动学方程组。对于逆运动学方程组中的未知参数,提出一种使用已知表达式的高精度非球面标定件的标定方法。最后进行了标定精度验证实验,结果表明,自动调焦调平后实际对焦点坐标与理论对焦点坐标误差不超过±3μm,满足测头的测量需求,能够对曲面光学元件表面形貌进行自动化测量。 展开更多
关键词 扫描白光干涉技术 表面形貌测量 五轴白光干涉测量系统 运动学模型 参数标定
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