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压电薄膜微传感器的动态特性分析 被引量：1
1
作者 娄利飞 杨银堂 +1 位作者 李跃进 张军琴 《机械设计与研究》 CSCD 北大核心 2005年第3期65-67,共3页
论述了压电薄膜微传感器的结构和工作原理,应用有限元方法对压电膜微传感器进行了动力学分析。利用有限元软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器结构的振动模态进行了仿真,并拟合了感应电压和动态外力幅度、频率以及结构几何参数之间的关系,... 论述了压电薄膜微传感器的结构和工作原理,应用有限元方法对压电膜微传感器进行了动力学分析。利用有限元软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器结构的振动模态进行了仿真,并拟合了感应电压和动态外力幅度、频率以及结构几何参数之间的关系,这些分析为此类微传感器的设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 压电薄膜 有限元分析 微传感器
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