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一种新型SIR交指微带带通滤波器的设计 被引量:2
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作者 杨新宇 《现代电子技术》 2023年第11期171-174,共4页
交指带通滤波器是工程应用中常用的带通滤波器,但随着产品的小型化及带外抑制性能要求的多样化,常规交指带通滤波器在使用上受到较多限制。文中设计了一种新型SIR交指型微带带通滤波器结构,对常规交指微带带通滤波器进行小型化以及抑制... 交指带通滤波器是工程应用中常用的带通滤波器,但随着产品的小型化及带外抑制性能要求的多样化,常规交指带通滤波器在使用上受到较多限制。文中设计了一种新型SIR交指型微带带通滤波器结构,对常规交指微带带通滤波器进行小型化以及抑制性能优化。这种滤波器通过引入14波长SIR结构缩小单个谐振单元尺寸进行小型化,并引入发夹结构,通过其自身谐振特性以及交叉耦合在左端引入一传输零点,达到改善抑制性能的目的。通过HFSS建模仿真比对了同指标的两种结构滤波器特性,分析得出各自适用的抑制要求。测试结果表明,设计的带通滤波器性能曲线与仿真曲线相吻合,符合设计要求。 展开更多
关键词 带通滤波器 交指结构 滤波器小型化 带外抑制 阶梯阻抗谐振器 抑制要求分析
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基于光刻工艺的阶跃滤光片式微型分光器件研制 被引量:7
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作者 王少伟 陈效双 陆卫 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1358-1362,共5页
为了消除机械掩模的尺寸限制和阴影效应,采用基于光刻掩膜的组合刻蚀法来制备阶跃滤光片,并成功地实现了16×1通道阶跃滤光片式微型分光器件的制备,该分光器件中滤光片单元的宽度只有90μm,总体尺寸不到2 mm。各滤光片通道分布在632... 为了消除机械掩模的尺寸限制和阴影效应,采用基于光刻掩膜的组合刻蚀法来制备阶跃滤光片,并成功地实现了16×1通道阶跃滤光片式微型分光器件的制备,该分光器件中滤光片单元的宽度只有90μm,总体尺寸不到2 mm。各滤光片通道分布在632.4 nm到739.6 nm之间,带宽均小于2.9 nm,透过率均高于70%,这样的阶跃滤光片最小单元尺寸可达微米量级,阴影效应可减小到微米甚至亚微米量级,与电荷耦合器件(CCD)完全匹配,可以作为微型分光器件来构建应用于空间等领域的微型光谱系统,从而促进相应光潜仪器的微型化。 展开更多
关键词 光学器件 阶跃滤光片 微型 分光 光刻
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