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铁电场效应晶体管 被引量:4
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作者 王华 于军 +4 位作者 周文利 王耘波 谢基凡 周东祥 朱丽丽 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2000年第2期19-21,共3页
介绍了铁电场效应晶体管 (FFET)的基本结构、存储机制、制作方法 ,综述其结构设计的改进、铁电薄膜在 FFET中应用的进展情况 ,探讨围绕铁电薄膜材料、过渡层、结构设计、不同成膜方法及工艺对 FFET存储特性的影响 ,对
关键词 铁电薄膜 铁电场效应 晶体管
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铁电突触器件及其应用的研究进展 被引量:1
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作者 燕少安 臧俊逸 +7 位作者 徐佩 朱颖方 李刚 陈祺来 陈卓俊 张妍 唐明华 郑学军 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第3期877-894,共18页
类脑计算是后摩尔时代集成电路发展的重要方向,开发能够模拟理想突触行为的人工突触器件是构建神经元-突触-神经元连接方式的类脑计算芯片的关键.铁电薄膜材料具有独特的非易失性极化,极化的可塑性与生物突触的可塑性十分类似,因此铁电... 类脑计算是后摩尔时代集成电路发展的重要方向,开发能够模拟理想突触行为的人工突触器件是构建神经元-突触-神经元连接方式的类脑计算芯片的关键.铁电薄膜材料具有独特的非易失性极化,极化的可塑性与生物突触的可塑性十分类似,因此铁电突触器件近年来受到了广泛关注.本文从器件突触功能模拟和类脑计算应用两个方面对铁电突触器件的研究进展进行了综述.结果表明,铁电突触器件具有两端和三端两种典型结构.除了能有效模拟生物突触功能,铁电突触器件还具有结构简单、功耗低、稳定性高、开关比大及编程速度快等优点.在应用层面,基于铁电突触的神经网络在图像识别方面的研究取得了一系列进展.此外铁电突触还被应用于触觉和视觉仿生.虽然取得了丰富的研究进展,但铁电突触器件目前仍停留在原理的提出和实验验证阶段,在突触性能调控机理、可靠性评价标准、阵列结构优化设计、高密度集成工艺、神经形态计算架构设计、新颖应用场景拓展等方面的研究都存在不小的挑战,这些也是未来铁电突触研究所要聚焦的方向. 展开更多
关键词 类脑计算 非易失性 图像识别 神经网络 视觉仿生 电突触 突触功能 可靠性评价
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铁电场效应晶体管材料设计的研究进展
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作者 高武 李星星 +2 位作者 刘礼祥 张志伟 郭伟钦 《信息记录材料》 2023年第2期28-31,36,共5页
铁电场效应晶体管(FeFET)作为最有潜力的下一代非易失性存储器之一,引起研究人员的广泛关注。本文系统阐述了Fe FET的工作原理及结构设计,介绍了Fe FET结构中铁电材料和缓冲层材料的探索历程及所对应的器件性能。本文提出了一种新型Fe ... 铁电场效应晶体管(FeFET)作为最有潜力的下一代非易失性存储器之一,引起研究人员的广泛关注。本文系统阐述了Fe FET的工作原理及结构设计,介绍了Fe FET结构中铁电材料和缓冲层材料的探索历程及所对应的器件性能。本文提出了一种新型Fe FET结构设计,有望改善薄膜之间的界面效应。最后总结了Fe FET的研究进展,并对未来研究做出展望。 展开更多
关键词 铁电场效应晶体管 非易失性存储器 铁电材料 缓冲层材料 界面效应 薄膜 结构设计 器件性能
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基于铁电晶体管的存储与存算一体电路
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作者 刘勇 李泰昕 +2 位作者 祝希 杨华中 李学清 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第9期3083-3097,共15页
近年来,物联网和人工智能等技术的发展对片上存储与智能计算的能效、密度以及性能提出了更高的要求。面对传统CMOS处理器的能效与密度瓶颈,以及传统冯·诺伊曼架构的“存储墙”瓶颈,以铁电晶体管(FeFET)为代表的新型非易失存储器(N... 近年来,物联网和人工智能等技术的发展对片上存储与智能计算的能效、密度以及性能提出了更高的要求。面对传统CMOS处理器的能效与密度瓶颈,以及传统冯·诺伊曼架构的“存储墙”瓶颈,以铁电晶体管(FeFET)为代表的新型非易失存储器(NVM)提供了新的机遇。FeFET具有非易失、高能效、高开关比等特点,非常适合低功耗、高密度场景下的存储与存算一体(CiM)应用,为数据密集型应用在边缘端的部署提供支持。该文回顾了FeFET的发展历程、结构、特性以及建模相关的工作,概述了FeFET存储器在电路结构和访存机制上的探索与优化。进一步地,该文还探讨了FeFET CiM在非易失计算、存内逻辑计算、矩阵向量乘法以及内容可寻址存储器上的应用。最后,该文从不同方面分析并展望了基于FeFET的存储与CiM电路的前景与挑战。 展开更多
关键词 铁电晶体管 铁电器件 存储器 存内计算 非易失存储器
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铁电负电容场效应晶体管研究进展 被引量:4
5
作者 陈俊东 韩伟华 +4 位作者 杨冲 赵晓松 郭仰岩 张晓迪 杨富华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第13期224-252,共29页
铁电负电容场效应晶体管可以突破传统金属氧化物半导体场效应晶体管中的玻尔兹曼限制,将亚阈值摆幅降低到60 mV/dec以下,极大地改善了晶体管的开关电流比和短沟道效应,有效地降低了器件的功耗,为实现晶体管特征尺寸的减小和摩尔定律的... 铁电负电容场效应晶体管可以突破传统金属氧化物半导体场效应晶体管中的玻尔兹曼限制,将亚阈值摆幅降低到60 mV/dec以下,极大地改善了晶体管的开关电流比和短沟道效应,有效地降低了器件的功耗,为实现晶体管特征尺寸的减小和摩尔定律的延续提供了选择.本文分析总结了国内外近年来关于铁电负电容场效应晶体管代表性的研究进展,为进一步研究提供参考.首先介绍了铁电负电容场效应晶体管的研究背景及其意义;然后总结了铁电材料的基本性质和种类,并对铁电材料负电容的物理机制和铁电负电容场效应晶体管的工作原理进行了讨论;接下来从器件沟道材料维度的角度,分别总结了最近几年基于三维沟道材料和二维沟道材料且与氧化铪基铁电体结合的铁电负电容场效应晶体管的研究成果,并对器件的亚阈值摆幅、开关电流比、回滞电压和漏电流等性能的改善进行了分析概述;最后对铁电负电容场效应晶体管目前存在的问题和未来的发展方向作了总结与展望. 展开更多
关键词 铁电负电容场效应晶体管 氧化铪基铁电体 三维沟道材料 二维沟道材料
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铁电负电容场效应晶体管器件的研究
6
作者 李珍 翟亚红 《压电与声光》 CAS 北大核心 2019年第6期782-785,共4页
铁电负电容场效应晶体管作为一种新型半导体器件,利用铁电材料的负电容效应可使晶体管的亚阈值摆幅突破理论极限值60 mV/dec,是未来低功耗晶体管领域最具有前途的器件之一。该文研究并建立了铁电负电容场效应晶体管的器件模型,采用Matla... 铁电负电容场效应晶体管作为一种新型半导体器件,利用铁电材料的负电容效应可使晶体管的亚阈值摆幅突破理论极限值60 mV/dec,是未来低功耗晶体管领域最具有前途的器件之一。该文研究并建立了铁电负电容场效应晶体管的器件模型,采用Matlab软件对负电容场效应晶体管的器件特性进行了研究分析,获得了亚阈值摆幅为33.9176 mV/dec的负电容场效应晶体管的器件结构,探究了铁电层厚度、等效栅氧化层厚度及不同铁电材料对负电容场效应晶体管亚阈值摆幅的影响。 展开更多
关键词 铁电负电容场效应晶体管 低功耗晶体管 亚阈值摆幅 铁电材料 铁电电容
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Bi_4Ti_3O_(12)栅Si基铁电场效应晶体管特性研究 被引量:4
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作者 王华 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期159-163,222,共6页
采用溶胶 -凝胶工艺制备了 Si基 Ag/Bi4 Ti3O1 2 栅铁电场效应晶体管。研究了 Bi4 Ti3O1 2 铁电薄膜厚度、栅宽 /长比等器件结构参数对性能的影响。研究表明 :铁电场效应晶体管的阈值电压、击穿场强和剩余极化等并不随 Bi4 Ti3O1 2 薄... 采用溶胶 -凝胶工艺制备了 Si基 Ag/Bi4 Ti3O1 2 栅铁电场效应晶体管。研究了 Bi4 Ti3O1 2 铁电薄膜厚度、栅宽 /长比等器件结构参数对性能的影响。研究表明 :铁电场效应晶体管的阈值电压、击穿场强和剩余极化等并不随 Bi4 Ti3O1 2 薄膜厚度的增加而线性变化 ,跨导和漏 -源电流在不同的栅宽 /长比范围变化趋势不同 ,当Bi4 Ti3O1 2 厚度为 2 0 0~ 40 0 nm、Wg/Lg 取 1~ 2时 ,器件可获得较好的综合性能 ,不同栅压变化过程的 Isd-Vsd特性曲线并不重合 ,表明该器件具有源于铁电薄膜极化的场效应特性。 展开更多
关键词 铁电薄膜 铁电场效应晶体管 结构设计
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铁电晶体管近似搜索存储器的电流模测量实现
8
作者 陈雨过 王观涛 +2 位作者 黄文韬 卓成 尹勋钊 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第5期796-802,共7页
在高硬件容错性模型中,近似搜索可应对数据量与运算量需求能效提高的问题.针对三态内容寻址存储器在近似搜索模式下精度低、可扩展性差等问题,提出了一种电流模测量方案.该方案基于铁电晶体管优化了存储单元的结构设计以降低面积与功耗... 在高硬件容错性模型中,近似搜索可应对数据量与运算量需求能效提高的问题.针对三态内容寻址存储器在近似搜索模式下精度低、可扩展性差等问题,提出了一种电流模测量方案.该方案基于铁电晶体管优化了存储单元的结构设计以降低面积与功耗;将阵列搜索不匹配度由原先的电压输出改为电流输出,提高了电路可扩展性;引入了将模拟电流信号转化为数字脉冲信号的感测放大器(sense amplifier,SA)作为外围电路以检测存储阵列的不匹配度输出.通过Hspice与Virtuoso仿真平台搭建瞬态仿真电路实验,验证了该方案成功地实现了高能效三态内容寻址存储器近似搜索. 展开更多
关键词 存内计算 三态内容寻址存储器 铁电场效应晶体管 近似搜索
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基于免疫算法的铁电场效应晶体管多态门设计方法
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作者 张立宁 胡伟晨 +1 位作者 王新安 崔小乐 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第9期3157-3165,共9页
应用于硬件安全领域的多态电路对于除金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)外的新器件的研究较少,往往只有少数几个设计实例,缺乏一般化的研究方法和多态门设计平台。面向铁电场效应晶体管(FeFET)器件,该文提出一种多态门设计方法。该... 应用于硬件安全领域的多态电路对于除金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)外的新器件的研究较少,往往只有少数几个设计实例,缺乏一般化的研究方法和多态门设计平台。面向铁电场效应晶体管(FeFET)器件,该文提出一种多态门设计方法。该方法利用免疫算法,将基于FeFET的多态门电路生成问题归结为生物代际演化过程。该文利用C++语言平台和Hspice仿真工具实现了完整的FeFET多态门设计算法,结合具体的工艺和电路模型搭建了多态门的设计平台。实验结果表明,该设计方法可有效地生成出基于FeFET的多态电路,其所生成的多态门电路可实现温度、电源电压和外部信号多种控制方式。 展开更多
关键词 多态门 铁电场效应晶体管 免疫算法 硬件安全
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基于铁电材料的人工突触器件的研究进展 被引量:2
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作者 赵兰天 刘晨鹤 +3 位作者 任青华 刘强 陈玲丽 俞文杰 《功能材料与器件学报》 CAS 2020年第3期160-168,共9页
神经形态计算因具有解决传统冯诺依曼架构的瓶颈问题的潜力,已经被深入研究。在众多人工突触器件材料系统中,铁电材料有独特的极化和非易失性特性,其在神经形态计算中应用前景巨大。本文总结了有关于铁电突触器件的最新研究进展,梳理了... 神经形态计算因具有解决传统冯诺依曼架构的瓶颈问题的潜力,已经被深入研究。在众多人工突触器件材料系统中,铁电材料有独特的极化和非易失性特性,其在神经形态计算中应用前景巨大。本文总结了有关于铁电突触器件的最新研究进展,梳理了铁电材料的基本性质,分析了两种铁电突触器件—铁电隧穿结(FTJ)和铁电场效应晶体管(FeFET)的工作原理以及研究成果,并对基于铁电材料的人工突触器件目前的研究状况以及未来的发展分别做出了总结与展望。 展开更多
关键词 神经形态计算 人工突触器件 铁电材料 铁电隧穿结 铁电场效应晶体管
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HfO2基铁电场效应晶体管读写电路的单粒子翻转效应模拟 被引量:2
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作者 黎华梅 侯鹏飞 +2 位作者 王金斌 宋宏甲 钟向丽 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期270-279,共10页
使用器件-电路仿真方法搭建了氧化铪基铁电场效应晶体管读写电路,研究了单粒子入射铁电场效应晶体管存储单元和外围灵敏放大器敏感节点后读写数据的变化情况,分析了读写数据波动的内在机制.结果表明:高能粒子入射该读写电路中的铁电存... 使用器件-电路仿真方法搭建了氧化铪基铁电场效应晶体管读写电路,研究了单粒子入射铁电场效应晶体管存储单元和外围灵敏放大器敏感节点后读写数据的变化情况,分析了读写数据波动的内在机制.结果表明:高能粒子入射该读写电路中的铁电存储单元漏极时,处于"0"状态的存储单元产生的电子空穴对在器件内部堆积,使得栅极的电场强度和铁电极化增大,而处于"1"状态的存储单元由于源极的电荷注入作用使得输出的瞬态脉冲电压信号有较大波动;高能粒子入射放大器灵敏节点时,产生的收集电流使处于读"0"状态的放大器开启,导致输出数据波动,但是其波动时间仅为0.4 ns,数据没有发生单粒子翻转能正常读出.两束高能粒子时间间隔0.5 ns先后作用铁电存储单元漏极,比单束高能粒子产生更大的输出数据信号波动,读写"1"状态的最终输出电压差变小. 展开更多
关键词 铁电场效应晶体管 单粒子瞬态 单粒子翻转
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Determining the influence of ferroelectric polarization on electrical characteristics in organic ferroelectric field-effect transistors
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作者 浮宗元 张剑驰 +3 位作者 胡静航 蒋玉龙 丁士进 朱国栋 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第5期597-605,共9页
Organic ferroelectric field-effect transistors (OFeFETs) are regarded as a promising technology for low-cost flexible memories. However, the electrical instability is still a critical obstacle, which limits the comm... Organic ferroelectric field-effect transistors (OFeFETs) are regarded as a promising technology for low-cost flexible memories. However, the electrical instability is still a critical obstacle, which limits the commercialization process. Based on already established models for polarization in ferroelectrics and charge transport in OFeFETs, simulation work is performed to determine the influence of polarization fatigue and ferroelectric switching transient on electrical characteristics in OFeFETs. The polarization fatigue results in the decrease of the on-state drain current and the memory window width and thus degrades the memory performance. The output measurements during the ferroelectric switching process show a hysteresis due to the instable polarization. In the on/off measurements, a large writing/erasing pulse frequency weakens the polarization modulation and thus results in a small separation between on- and off-state drain currents. According to the electrical properties of the ferroelectric layer, suggestions are given to obtain optimal electrical characterization for OFeFETs. 展开更多
关键词 organic ferroelectric field-effect transistors polarization fatigue ferroelectric switching
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存算一体电路与跨层次协同设计优化:从SRAM到铁电晶体管
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作者 尹勋钊 岳金山 +5 位作者 黄庆荣 李超 蔡嘉豪 杨泽禹 卓成 刘明 《中国科学:信息科学》 CSCD 北大核心 2022年第4期612-638,共27页
人工智能与物联网时代,大数据模型驱动的应用场景和计算任务层出不穷,极大促进了国家数字化发展.然而,传统冯·诺依曼(John von Neumann)体系架构的硬件系统由于存算分离的结构特点导致存储墙瓶颈,在数据密集型应用中消耗了大量的... 人工智能与物联网时代,大数据模型驱动的应用场景和计算任务层出不穷,极大促进了国家数字化发展.然而,传统冯·诺依曼(John von Neumann)体系架构的硬件系统由于存算分离的结构特点导致存储墙瓶颈,在数据密集型应用中消耗了大量的数据搬运成本,抑制了能效性能提升.存算一体技术是后摩尔(Moore)时代背离传统架构系统的新型计算范式,利用存储单元器件、电路内在特性,将基本的计算逻辑任务融入存储单元之中,从而消除数据搬运开销,有望实现智能计算硬件平台能效性能的显著提升.本文以契合存算一体技术的存储器件电路为切入点,概述基于传统互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor,CMOS)和新型非易失存储器件代表铁电晶体管的存算一体电路,并从器件、架构芯片、算法应用等层次讨论存算一体电路的跨层次协同设计优化方法. 展开更多
关键词 存内计算 静态随机访问存储器 铁电晶体管 交叉阵列 内容寻址存储器
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基于SILVACO的铁电场效应管性能分析
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作者 张振娟 王强 +1 位作者 施敏 陆健 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 北大核心 2011年第6期863-866,共4页
针对铁电器件制备过程中,由铁电材料对工艺的敏感性导致铁电器件难以进行系统研究的困难,提出了应用SILVACO软件以铁电材料的实际测试结果为仿真基准,通过材料参数有限且系统的变化,研究不同的材料参数对器件性能的影响的研究方法。通... 针对铁电器件制备过程中,由铁电材料对工艺的敏感性导致铁电器件难以进行系统研究的困难,提出了应用SILVACO软件以铁电材料的实际测试结果为仿真基准,通过材料参数有限且系统的变化,研究不同的材料参数对器件性能的影响的研究方法。通过应用该仿真方法研究基于PZT栅极材料的MIFIS结构的铁电场效应晶体管的最佳漏极电流与铁电栅材料参数关系。仿真结果表明,铁电栅极材料剩余极化强度越大,材料的不饱和度越大,铁电场效应晶体管漏极电流越大。这说明要提高器件的漏极电流仅仅提高剩余极化强度是不够的,提高材料的不饱和度也非常重要。 展开更多
关键词 仿真设计 铁电场效应晶体管 铁电材料
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一种嵌入铁电晶体管内容寻址存储器的高能效浮点运算结构 被引量:2
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作者 张力 高迪 +5 位作者 陈烁 卢旭东 庞展曦 陈闯涛 尹勋钊 卓成 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第6期1518-1524,共7页
随着数据密集型应用的日益增多,内存墙问题已成为制约计算效率的瓶颈。该文提出一种新型的浮点数(FP)运算结构,该结构嵌入了基于铁电场效应晶体管(FeFET)的三元内容寻址存储器(TCAM)以实现高效的计算。通过特定规则设计的超高密度TCAM结... 随着数据密集型应用的日益增多,内存墙问题已成为制约计算效率的瓶颈。该文提出一种新型的浮点数(FP)运算结构,该结构嵌入了基于铁电场效应晶体管(FeFET)的三元内容寻址存储器(TCAM)以实现高效的计算。通过特定规则设计的超高密度TCAM结构,可以用能效更高的TCAM搜索操作代替部分传统浮点运算,从而节约整体能耗。仿真实验证明,该文所提结构和运算执行流程,与常规浮点运算单元(FPU)相比,可以降低多达33%的能耗。 展开更多
关键词 铁电场效应晶体管 三元内容寻址寄存器 浮点运算 能效
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铁电存储场效应晶体管I-V特性的物理机制模拟 被引量:1
16
作者 周志刚 王耘波 +5 位作者 于军 谢基凡 徐静平 刘刚 王华 朱丽丽 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期109-112,共4页
文章讨论的模型主要描述了铁电存储场效应晶体管 ( FEMFET)的 I- V特性。从理论结果可反映出几何尺寸效应和材料参数对晶体管电特性的影响。传统的阈值电压的概念己不再适用 ,由于铁电层反偏偶极子的开关作用 ,自发极化的增加对存储器... 文章讨论的模型主要描述了铁电存储场效应晶体管 ( FEMFET)的 I- V特性。从理论结果可反映出几何尺寸效应和材料参数对晶体管电特性的影响。传统的阈值电压的概念己不再适用 ,由于铁电层反偏偶极子的开关作用 ,自发极化的增加对存储器的工作状态产生很小的影响。该模型可用于设计和工艺参数的优化 。 展开更多
关键词 铁电存储 场效应晶体管 FEMFET I-V特性 极化 直观原型
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用于MFIS的ZrO_2薄膜的制备及特性研究
17
作者 颜雷 汤庭鳌 +1 位作者 黄维宁 姜国宝 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2000年第4期419-423,共5页
新型不挥发非破坏性读出铁电存储器金属 /铁电 /半导体器件结构中 ,存在着铁电薄膜与半导体衬底之间相互扩散、离子陷阱密度高、铁电薄膜难于直接淀积在硅衬底上、电荷注入等问题 ,因此在铁电薄膜与半导体之间增加一层合适的介质材料作... 新型不挥发非破坏性读出铁电存储器金属 /铁电 /半导体器件结构中 ,存在着铁电薄膜与半导体衬底之间相互扩散、离子陷阱密度高、铁电薄膜难于直接淀积在硅衬底上、电荷注入等问题 ,因此在铁电薄膜与半导体之间增加一层合适的介质材料作为阻挡层是制备不挥发非破坏性读出铁电存储器的关键。文中研究了运用 SOL- GEL方法制备 Zr O2 介质层的方法 ,并且对制备的介质层的成份、结构、电特性进行了分析 ,为研制 MFIS作了准备。 展开更多
关键词 铁电薄膜 ZrO薄膜 半导体材料
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Two dimensional analytical model for a negative capacitance double gate tunnel field effect transistor with ferroelectric gate dielectric 被引量:1
18
作者 Huifang Xu 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2018年第10期39-45,共7页
Analytical models are presented for a negative capacitance double-gate tunnel field-effect transistor(NC DG TFET) with a ferroelectric gate dielectric in this paper. The model accurately calculates the channel poten... Analytical models are presented for a negative capacitance double-gate tunnel field-effect transistor(NC DG TFET) with a ferroelectric gate dielectric in this paper. The model accurately calculates the channel potential profile by solving the Poisson equation with the Landau-Khalatnikov(LK) equation. Moreover, the effects of the channel mobile charges on the potential are also taken into account. We also analyze the dependences of the channel potential and the on-state current on the device parameters by changing the thickness of ferroelectric layer,ferroelectric material and also verify the simulation results accord with commercial TCAD. The results show that the device can obtain better characteristics when the thickness of the ferroelectric layer is larger as it can reduce the shortest tunneling length. 展开更多
关键词 ferroelectric gate dielectric double-gate tunnel field-effect transistor analytical model
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全耗尽绝缘体上硅氧化铪基铁电场效应晶体管存储单元单粒子效应计算机模拟研究
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作者 沈睿祥 张鸿 +6 位作者 宋宏甲 侯鹏飞 李波 廖敏 郭红霞 王金斌 钟向丽 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期363-370,共8页
铁电场效应晶体管具有非挥发性、低功耗、读写速度快等优异的存储性能,是最有前景的新型半导体存储器件之一.为促进铁电场效应晶体管在辐射环境中的应用,本文利用计算机辅助设计软件对全耗尽绝缘体上硅氧化铪基铁电场效应晶体管存储单... 铁电场效应晶体管具有非挥发性、低功耗、读写速度快等优异的存储性能,是最有前景的新型半导体存储器件之一.为促进铁电场效应晶体管在辐射环境中的应用,本文利用计算机辅助设计软件对全耗尽绝缘体上硅氧化铪基铁电场效应晶体管存储单元的单粒子效应进行研究,分析了重离子不同入射位置及角度和漏极偏置电压对存储单元相关特性的影响.结果表明:重离子入射位置改变不会使氧化铪铁电层中相应的极化状态发生反向,但会影响存储单元输出电压瞬态变化,最敏感区域靠近漏-体结区域;随着重离子入射角度减小,存储单元输出电压峰值增大,读数据“0”时入射角度变化的影响更为明显;存储单元输出电压峰值受漏极偏置电压调制,读数据“1”时调制效应更为明显.本工作为全耗尽绝缘体上硅氧化铪基铁电场效应晶体管存储单元抗单粒子效应加固设计提供理论依据和指导. 展开更多
关键词 全耗尽绝缘体上硅 铁电场效应晶体管 单粒子效应 计算机辅助设计
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MFS和MFOS结构的C-V特性研究
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作者 于军 周文利 +1 位作者 曹广军 谢基凡 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1996年第1期79-81,共3页
采用SOL-GEL方法分别在Si和含有SiO2的衬底上制备出PZT铁电薄膜,并获得了MFS和MFOS结构.利用MOS结构常用的C-V特性分析方法,对MFS和MFOS结构进行了高频C-V特性测试分析,研究了F/(O)S... 采用SOL-GEL方法分别在Si和含有SiO2的衬底上制备出PZT铁电薄膜,并获得了MFS和MFOS结构.利用MOS结构常用的C-V特性分析方法,对MFS和MFOS结构进行了高频C-V特性测试分析,研究了F/(O)S的界面特性,结果表明,金属/PZT/SiO2/Si的MFOS结构具有较低的界面态,可实现极化存储,并可望制成铁电场效应晶体管. 展开更多
关键词 场效应晶体管 MFOS结构 C-V特性 铁电薄膜
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