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多铁性氧化物基磁电材料的制备及性能 被引量:19
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作者 林元华 姜庆辉 +2 位作者 何泓材 王瑶 南策文 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期10-21,共12页
多铁性材料由于其不但具有单一的铁性(如铁电性、铁磁性和铁弹性),而且由于铁性的耦合协同作用,会产生一些新的效应,使其可广泛应用于换能器、传感器、敏感器、多态存储等高技术领域。而氧化物基单相/复相陶瓷及其薄膜材料(如BiFeO_3,... 多铁性材料由于其不但具有单一的铁性(如铁电性、铁磁性和铁弹性),而且由于铁性的耦合协同作用,会产生一些新的效应,使其可广泛应用于换能器、传感器、敏感器、多态存储等高技术领域。而氧化物基单相/复相陶瓷及其薄膜材料(如BiFeO_3,铁氧体/锆钛酸铅等),由于其良好的铁磁、铁电性能,正成为磁电材料的研究热点。本文综合介绍了几种单相、复合磁电陶瓷、薄膜材料的制备,论述了材料的显微结构与磁电性能之间的关联,并指出了该类材料存在的问题和今后的发展方向。单相磁电材料至今还没能应用到实际中,主要是因为大部分单相材料的Neel或Curie温度较低,在很低的温度下才有磁电效应,磁也转换系数随着温度升高到室温而趋于零。具有低漏导的BiFeO_3薄膜(具有高的Curie温度)将具有铁电应用,但作为多铁性应用,还需解决弱的磁电耦合性。虽然复合磁电材料性能比单相材料性能好,但是仍然存在一些问题。磁电多铁性材料具有潜在的巨大的商业应用前景,已使其成为新的研究热点。 展开更多
关键词 多铁性 铁电 铁磁 磁电性能 陶瓷 薄膜
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高取向PZT铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备 被引量:18
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作者 鲁健 褚家如 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期748-753,共6页
采用溶胶 凝胶技术 ,在Pt/Ti/SiO2 /Si衬底上成功制备了沿 ( 1 0 0 )晶向强烈取向的Pb(Zr0 .5 3 ,Ti0 .47)O3 铁电薄膜 .通过X ray衍射分析 ,在每层膜的制备工序中 ,增加6 0 0℃热处理 1 5min的工艺 ,可有效防止烧绿石相的出现和薄膜开... 采用溶胶 凝胶技术 ,在Pt/Ti/SiO2 /Si衬底上成功制备了沿 ( 1 0 0 )晶向强烈取向的Pb(Zr0 .5 3 ,Ti0 .47)O3 铁电薄膜 .通过X ray衍射分析 ,在每层膜的制备工序中 ,增加6 0 0℃热处理 1 5min的工艺 ,可有效防止烧绿石相的出现和薄膜开裂 ,并促进薄膜沿( 1 0 0 )晶向外延生长 .制得的薄膜经 6 0 0℃退火 4h后 ,呈完全钙钛矿相 ,并沿 ( 1 0 0 )晶向强烈取向 .原子力显微照片表明 ,薄膜结构致密 ,晶粒尺寸约为 1 0 0nm .经测量 ,薄膜的相对介电常数高达 1 1 50 ,剩余极化为 2 6 μc/cm2 ,矫顽场强为 4 9kV/cm . 展开更多
关键词 PZT铁电薄膜 溶胶-凝胶法 Pb(Fr0.53 Ti0.47)O3 微机电系统 制备工艺 铁电材料 电学性能
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溅射制备铁电薄膜及其性能测试的研究 被引量:7
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作者 黄龙波 李佐宜 +1 位作者 卢德新 付焰峰 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1994年第4期291-295,共5页
本文讨论了在不加温的Pt/Ti/SiO_2/Si基片上用射频磁控溅射技术制备出的铁电PLZT(7.5/65/35)薄膜,以及研制的铁电薄膜电性能测试系统。利用X射线衍射法对原位溅射和退火处理后薄膜的结构进行了分析,结... 本文讨论了在不加温的Pt/Ti/SiO_2/Si基片上用射频磁控溅射技术制备出的铁电PLZT(7.5/65/35)薄膜,以及研制的铁电薄膜电性能测试系统。利用X射线衍射法对原位溅射和退火处理后薄膜的结构进行了分析,结果显示薄膜结晶性好,呈现钙钛矿结构。通过比较薄膜的结构,探讨了薄膜底电极对薄膜结构的影响。对退火处理后的薄膜的电性能测试结果表明,这种PLZT薄膜具有良好的铁电性能。 展开更多
关键词 铁电晶体 薄膜 溅射 性能 测试
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Study on BaTiO_3 films prepared by AC power microarc oxidation 被引量:11
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作者 HUANG WenBo, LI WenFang & HAN Bing College of Material Science and Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510640, China 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2009年第8期2195-2199,共5页
BaTiO3 films were prepared by microarc oxidation (MAO) with an in-house built alternating current (AC) power supply in Ba(OH)2 solution in this study. The surface morphology, combinability with the substrate and phase... BaTiO3 films were prepared by microarc oxidation (MAO) with an in-house built alternating current (AC) power supply in Ba(OH)2 solution in this study. The surface morphology, combinability with the substrate and phase composition of the films were investigated by XRD, SEM and TEM. The BaTiO3 films were annealed at a temperature range of 900 to 1200℃ and phase compositions were tested thereafter. The results showed that the BaTiO3 films were mainly composed of the primitive hexagonal phase with relatively small amount of tetragonal and amorphous phases. Moreover, the amount of amorphous phase decreased with the time of annealing. The transformation of BaTiO3 from hexagonal structure to tetragonal stucture became obvious until the annealing temperature reached 1200℃. The film consisted mainly of BaTiO3 tetragonal structure with ferroelectric property. The influence of annealing on surface morphology and mechanism of phase transformation of the films were also discussed. 展开更多
关键词 microarc OXIDATION ferroelectric film BATIO3 ANNEALING phase COMPOSITION
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钙钛矿型铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备 被引量:7
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作者 王歆 庄志强 周海牛 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期57-60,共4页
介绍了溶胶 -凝胶薄膜制备法 ,研究了浸涂法和旋涂法对薄膜质量的影响因素和控制理论 ,阐述薄膜干燥法与裂纹形成机理 ,基片因素对晶体结构的影响等问题。讨论溶胶 -凝胶法制膜过程中 。
关键词 溶胶-凝胶制膜技术 铁电体 薄膜 裂纹 钙钛矿相 定向生长
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飞秒脉冲激光沉积Si基a轴择优取向的钛酸铋铁电薄膜 被引量:8
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作者 周幼华 郑启光 +2 位作者 杨光 戴能利 陆培祥 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期832-836,共5页
在钛酸铋(Bi4Ti3O12)薄膜的制备过程中容易获得晶粒C轴垂直于基片表面的薄膜,而压电和铁电存储器主要利用a轴的自发极化分量,因而制备a轴择优取向的Bi4Ti3O12铁电薄膜具有特别的意义。采用飞秒脉冲激光作用在钛酸铋陶瓷靶上,采用Si... 在钛酸铋(Bi4Ti3O12)薄膜的制备过程中容易获得晶粒C轴垂直于基片表面的薄膜,而压电和铁电存储器主要利用a轴的自发极化分量,因而制备a轴择优取向的Bi4Ti3O12铁电薄膜具有特别的意义。采用飞秒脉冲激光作用在钛酸铋陶瓷靶上,采用Si(111)作为衬底,制备了a轴择优取向的钛酸铋薄膜。采用X射线衍射(XRD)的薄膜附件和场发射扫描电镜(FSEM)研究了薄膜的结构和形貌;采用傅里叶红外光谱仪测量了室温(20℃)下在石英基片上沉积的样品的光学特性;室温下沉积的钛酸铋薄膜呈C轴择优取向,晶粒的平均大小为20nm,其光学禁带宽度约为1.0eV。在500℃沉积的钛酸铋薄膜呈a轴择优取向,晶粒大小在30~300nm之间,薄膜的剩余极化强度P,为15μC/cm^2,矫顽力Er为48kV/cm。 展开更多
关键词 薄膜 铁电薄膜 钛酸铋 脉冲激光沉积法 飞秒
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铁电存储器和IC卡 被引量:1
7
作者 罗维根 丁爱丽 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第1期22-27,共6页
铁电薄膜与半导体集成产生了新一代非易失存储器,与传统的半导体非易失存储器比较具有突出的优点,是新一代IC卡的理想存储芯片。
关键词 铁电薄膜 存储器 IC卡 半导体存储器
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聚合物前驱体法合成铌酸锶钡铁电薄膜 被引量:7
8
作者 张贺新 赵九蓬 +1 位作者 强亮生 权茂华 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2004年第2期132-135,共4页
采用聚合物前驱体法制备铌酸锶钡(SrxBa1-xNb2O6,SBN)铁电薄膜.以柠檬酸为配位剂与金属离子配合,水作为溶剂,用乙二醇加速溶液聚合形成稳定的前驱体溶胶.采用旋转法在Si/SiO2/Ti/Pt基片上镀膜.研究了柠檬酸(CA)/乙二醇(EG)(质量比)、pH... 采用聚合物前驱体法制备铌酸锶钡(SrxBa1-xNb2O6,SBN)铁电薄膜.以柠檬酸为配位剂与金属离子配合,水作为溶剂,用乙二醇加速溶液聚合形成稳定的前驱体溶胶.采用旋转法在Si/SiO2/Ti/Pt基片上镀膜.研究了柠檬酸(CA)/乙二醇(EG)(质量比)、pH值对前驱体溶胶稳定性的影响.结果表明,当Sr-Ba-Nb前驱体溶胶的pH值为7,CA/EG=40:60时,可以获得稳定性好的溶胶.薄膜经750℃热处理,可以获得单相、表面均匀、无裂纹的铌酸锶钡铁电薄膜. 展开更多
关键词 铌酸锶钡 聚合物前驱体 柠檬酸 铁电薄膜 乙二醇加速溶液 有机物化学气相沉积
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双掺杂Zn,Fe:LiNbO_3晶体的二波耦合效应的研究 被引量:8
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作者 李铭华 刘彩霞 +1 位作者 徐玉恒 孙尚文 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第4期262-264,281,共4页
在固液同成分LiNbO3中,同时掺入6%ZnO(摩尔比)和0.05%Fe2O3(摩尔比),用提拉法生长了双掺杂Zn,Fe:LiNbO3晶体,这是一种性能优良的光折变晶体材料。文章用二波耦合技术研究了晶体的耦合增益和衍... 在固液同成分LiNbO3中,同时掺入6%ZnO(摩尔比)和0.05%Fe2O3(摩尔比),用提拉法生长了双掺杂Zn,Fe:LiNbO3晶体,这是一种性能优良的光折变晶体材料。文章用二波耦合技术研究了晶体的耦合增益和衍射效率,Zn,Fe:LiNbO3的光致折射率变化值达10-5,且响应速度达到秒量级,这是双掺Zn、Fe两种杂质共同作用的结果。 展开更多
关键词 二波耦合 增益系数 衍射效率 光折变晶体 晶体
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BST铁电薄膜压控微波器件 被引量:4
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作者 陆清芳 李德红 +2 位作者 何世明 刘兴钊 李言荣 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第12期36-38,共3页
作为一种典型的钙钛矿结构铁电体,BST具有极强的非线性介电性质,其介电常数随外加直流偏压变化,同时BST薄膜易于与微带共面波导等电路集成,能有效减小电路体积,因此可广泛应用于压控变容器、滤波器、移相器、振荡器等微波器件中。该类... 作为一种典型的钙钛矿结构铁电体,BST具有极强的非线性介电性质,其介电常数随外加直流偏压变化,同时BST薄膜易于与微带共面波导等电路集成,能有效减小电路体积,因此可广泛应用于压控变容器、滤波器、移相器、振荡器等微波器件中。该类器件调谐速度极快,损耗低,工作频带宽,功率承载能力强,可调性好。介绍了BST薄膜的非线性介电性质与其在微波应用中的国外研究现状。 展开更多
关键词 BST铁电薄膜 介电性质 钙钛矿结构铁电体 压控变容器 压控微波器件
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溶胶-凝胶法Ba_2TiSi_2O_8铁电薄膜的制备及结构表征 被引量:4
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作者 朱满康 代伍坤 +3 位作者 侯育冬 严辉 邵明明 陈晓阳 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期283-287,共5页
采用溶胶-凝胶工艺在Si(100)衬底上制备了Ba2TiSi2O8(BTS)薄膜。通过XRD衍射、傅立叶红外(FT-IR)、拉曼(Raman)散射光谱和原子力显微镜(AFM)对薄膜的显微结构进行了表征。AFM分析显示,BTS薄膜表面光滑,晶粒尺寸在0.30~0.50μm。薄... 采用溶胶-凝胶工艺在Si(100)衬底上制备了Ba2TiSi2O8(BTS)薄膜。通过XRD衍射、傅立叶红外(FT-IR)、拉曼(Raman)散射光谱和原子力显微镜(AFM)对薄膜的显微结构进行了表征。AFM分析显示,BTS薄膜表面光滑,晶粒尺寸在0.30~0.50μm。薄膜结构分析表明:随着退火温度的增加,BTS薄膜的结晶度增加,薄膜结构变得更加致密。同时,随着退火温度的升高,晶胞尺寸出现了收缩,导致了BTS薄膜的四方比c/a从0.613上升到0.618,将对薄膜的压电性能产生影响。 展开更多
关键词 铁电薄膜 Ba2TiSi2O8 钡钛硅石 溶胶-凝胶法 制备方法 热释电效应
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反提拉Sol-Gel法制备PZT薄膜及热处理工艺对薄膜性能结构影响的研究 被引量:4
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作者 陈祝 张树人 +3 位作者 杨成韬 李金龙 王升 张水琴 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期377-380,384,共5页
通过醋酸铅、硝酸锆、钛酸丁酯分别制备独立稳定的前驱单体 ,采用Sol Gel反提拉涂膜技术在基片Pt/Ti/SiO2 /Si上制备PZT铁电薄膜。本文讨论了制备工艺对薄膜质量的影响 ,比较了在不同的退火速率 ,退火温度及退火气氛工艺中 ,制备的PZT... 通过醋酸铅、硝酸锆、钛酸丁酯分别制备独立稳定的前驱单体 ,采用Sol Gel反提拉涂膜技术在基片Pt/Ti/SiO2 /Si上制备PZT铁电薄膜。本文讨论了制备工艺对薄膜质量的影响 ,比较了在不同的退火速率 ,退火温度及退火气氛工艺中 ,制备的PZT铁电薄膜结构、性能的差异 ,并对其形成原因进行了分析。 展开更多
关键词 薄膜性能 PZT铁电薄膜 退火气氛 硝酸锆 SOL-GEL法 基片 SiO2 制备 钛酸丁酯 退火温度
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Toward artificial intelligent self-cooling electronic skins:Large electrocaloric effect in all-inorganic flexible thin films at room temperature 被引量:7
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作者 Ding Wang Xin Chen +5 位作者 Guoliang Yuan Yanmin Jia Yiping Wang Arif Mumtaz Yaojin Wang Jun-Ming Liu 《Journal of Materiomics》 SCIE EI 2019年第1期66-72,共7页
Intelligent robots have assisted mankind in achieving and operating thousands of functions,especially with the arrival of the artificial intelligent.However,heat dissipation and thermal management in the intelligent r... Intelligent robots have assisted mankind in achieving and operating thousands of functions,especially with the arrival of the artificial intelligent.However,heat dissipation and thermal management in the intelligent robots remain big challenges,which limit their miniaturization and performance.Electrocaloric(EC)materials,which exhibit temperature change in response to the application or withdrawal of an electric field,open a new strategy for cooling technology and have gained a flurry of research interest in recent years.Toward artificial intelligent self-cooling electronic skins,large-scale flexible materials with high EC effect near room temperature are in demand.Here,we report a large room temperature EC effect in flexible Pb_(0.82)Ba_(0.08)La_(0.1)Zr0.9Ti_(0.1)O_(3)(PBLZT)inorganic thin films via a transfer-free cost-effective sol-gel process,assisted by unique two-dimensional mica substrates.The maximum adiabatic temperature change and isothermal entropy change of the flexible PBLZT thin films reach to 22.5 K and 25.9 J K^(-1) kg^(-1) at room temperature.In particular,the flexible PBLZT thin films exhibit a stable EC effect both under bending state and after bending for 20000 times.Our flexible EC materials offer an alternative strategy to the development of cooling technologies for both artificial intelligent robots and personal wearable cooling devices. 展开更多
关键词 Electrocaloric effect ferroelectric thin film Flexible electronics MICA Wearable device
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氧化铪基铁电薄膜相结构调控的研究进展
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作者 李彦 郭媛媛 +4 位作者 梁海龙 张建婷 王兴刚 刘书棋 辛宁 《工程科学学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第4期649-656,共8页
随着微电子技术的发展,氧化铪(HfO2)因具有与Si基半导体工艺相兼容、适宜的相对介电常数、良好的热稳定性和化学稳定性以及较大的禁带宽度等优点,成为当前新型铁电材料的研究焦点.HfO2是一种典型的“相结构决定性能,性能决定应用”的材... 随着微电子技术的发展,氧化铪(HfO2)因具有与Si基半导体工艺相兼容、适宜的相对介电常数、良好的热稳定性和化学稳定性以及较大的禁带宽度等优点,成为当前新型铁电材料的研究焦点.HfO2是一种典型的“相结构决定性能,性能决定应用”的材料,其铁电性能源于薄膜中存在空间点群为Pca21的非中心对称的正交相.因此,实现HfO2薄膜铁电性能稳定与提升的前提是调控HfO2薄膜于亚稳正交相结构.以正交相的调控机理为出发点,综述了HfO2正交相的稳定因素,并分别从薄膜厚度、掺杂元素、退火工艺、晶粒取向和电极材料等方面进行归纳,例如HfO2材料的正交相含量随薄膜厚度的增加而降低;适宜含量的元素掺杂可以稳定HfO2材料的正交相;高的升温速率,极短的退火时间可抑制单斜相的形成;制备具有特定取向的正交相薄膜以及顶部电极的夹持作用都是保证HfO2材料正交相稳定的重要因素.最后,对HfO2薄膜未来发展做出展望. 展开更多
关键词 氧化铪 铁电薄膜 相调控 氧空位 膜厚
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Enhanced ferroelectric and improved leakage of BFO-based thin films through increasing entropy strategy
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作者 Dongfei Lu Guoqiang Xi +5 位作者 Hangren Li Jie Tu Xiuqiao Liu Xudong Liu Jianjun Tian Linxing Zhang 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第10期2263-2273,共11页
BiFeO_(3)(BFO)has received considerable attention as a lead-free ferroelectric film due to its large theoretical remnant polariza-tion.However,BFO suffers from a large leakage current,resulting in poor ferroelectric p... BiFeO_(3)(BFO)has received considerable attention as a lead-free ferroelectric film due to its large theoretical remnant polariza-tion.However,BFO suffers from a large leakage current,resulting in poor ferroelectric properties.Herein,the sol-gel method was used to deposit a series of BFO-based thin films on fluorine-doped tin oxide substrates,and the effects of the substitution of the elements Co,Cu,Mn(B-site)and Sm,Eu,La(A-site)on the crystal structure,ferroelectricity,and leakage current of the BFO-based thin films were invest-igated.Results confirmed that lattice distortion by X-ray diffraction can be attributed to the substitution of individual elements in the BFO-based films.Sm and Eu substitutions contribute to the lattice distortion in a pseudo-cubic structure,while La is biased toward pseudo-tet-ragonal.Piezoelectric force microscopy confirmed that reversible switching of ferroelectric domains by nearly 180°can be realized through the prepared films.The ferroelectric hysteresis loops showed that the order for the polarization contribution is as follows:Cu>Co>Mn(B-site),Sm>La>Eu(A-site).The current density voltage curves indicated that the order for leakage contribution is as follows:Mn<Cu<Co(B-site),La<Eu<Sm(A-site).Scanning electron microscopy showed that the introduction of Cu elements facilitates the formation of dense grains,and the grain size distribution statistics proved that La element promotes the reduction of grain size,leading to the increase of grain boundaries and the reduction of leakage.Finally,a Bi_(0.985)Sm_(0.045)La_(0.03)Fe_(0.96)Co_(0.02)Cu_(0.02)O_(3)(SmLa-CoCu)thin film with a qualitative leap in the remnant polarization from 25.5(Bi_(0.985)Sm_(0.075)FeO_(3))to 98.8µC/cm^(2)(SmLa-CoCu)was prepared through the syner-gistic action of Sm,La,Co,and Cu elements.The leakage current is also drastically reduced from 160 to 8.4 mA/cm^(2)at a field strength of 150 kV/cm.Thus,based on the increasing entropy strategy of chemical engineering,this study focuses on enhancing ferroelectricity and 展开更多
关键词 increasing entropy SYNERGISTIC ferroelectric film remnant polarization leakage current
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溶胶-凝胶法制备(Ba,Sr)TiO_3薄膜的新技术路线研究 被引量:3
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作者 李桂英 余萍 +2 位作者 于光龙 王欢 肖定全 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期343-345,共3页
碳酸钡和碳酸锶是无机盐化工基础原料,钡、锶的醇盐或醋酸盐都需通过其碳酸盐制备而得,本文探索了一种有利于降低成本的新实验路线和更为原子经济的新工艺。直接采用碳酸盐为原料,采用 sol gel法制备了 Ba0.8 Sr0.2 TiO3 (BST)薄膜;并利... 碳酸钡和碳酸锶是无机盐化工基础原料,钡、锶的醇盐或醋酸盐都需通过其碳酸盐制备而得,本文探索了一种有利于降低成本的新实验路线和更为原子经济的新工艺。直接采用碳酸盐为原料,采用 sol gel法制备了 Ba0.8 Sr0.2 TiO3 (BST)薄膜;并利用 X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱分析(XPS)等对 BST 薄膜的晶体结构和表面形貌及化学组态进行了分析。结果表明,利用碳酸盐代替醋酸盐为原料,采用 sol gel 技术制备 BST 铁电薄膜,能制备出均匀清澈的溶胶;所制备的 BST薄膜均匀致密,几乎为全钙钛矿结构。化学组态分析也表明所制备的薄膜中的钡、锶、钛、氧 4 种元素都以钙钛矿相结构中各元素相应的化学态存在。 展开更多
关键词 碳酸盐 SOL-GEL法 Ba0.8 Sr0.2 TIO3 铁电薄膜
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铁酸铋薄膜柔性化微纳制造及铁电性能
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作者 乔骁骏 李雅青 丑修建 《半导体技术》 北大核心 2024年第2期138-142,共5页
研究了铁酸铋薄膜的柔性化可控制造方法及其电畴调控动态。利用脉冲激光沉积法制备了周期性畴结构的铁酸铋薄膜,结合可控剥离技术,完成了铁酸铋薄膜从刚性基底到柔性基底的制备过程。利用原子力显微镜和压电力显微镜技术对柔性化铁酸铋... 研究了铁酸铋薄膜的柔性化可控制造方法及其电畴调控动态。利用脉冲激光沉积法制备了周期性畴结构的铁酸铋薄膜,结合可控剥离技术,完成了铁酸铋薄膜从刚性基底到柔性基底的制备过程。利用原子力显微镜和压电力显微镜技术对柔性化铁酸铋薄膜的微观形貌和铁电特性进行表征。结果表明,柔性化后的铁酸铋薄膜保持完整的表面形貌特征(粗糙度保持不变),电畴反转特性保持可调,且保持良好的铁电特性及电畴反转响应。该研究为铁酸铋薄膜的柔性化制备提供了一种新思路。 展开更多
关键词 铁电薄膜 柔性 铁酸铋 极化 电畴反转
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Microwave characterization of two Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_(3) dielectric thin films with out-of-plane and in-plane electrode structures 被引量:2
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作者 Hanchi Ruan Theo Graves Saunders +7 位作者 Henry Giddens Hangfeng Zhang Achintha Avin Ihalage Jonas Florentin Kolb Matthew Blunt Sajad Haq Haixue Yan Yang Hao 《Journal of Advanced Ceramics》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第8期1521-1532,共12页
Ferroelectric(FE)thin films have recently attracted renewed interest in research due to their great potential for designing novel tunable electromagnetic devices such as large intelligent surfaces(LISs).However,the me... Ferroelectric(FE)thin films have recently attracted renewed interest in research due to their great potential for designing novel tunable electromagnetic devices such as large intelligent surfaces(LISs).However,the mechanism of how a polar structure in the FE thin films contributes to desired tunable performance,especially within the microwave frequency range,which is the most widely used frequency range of electromagnetics,has not been illustrated clearly.In this paper,we described several straightforward and cost-effective methods to fabricate and characterize Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_(3)(BST)thin films at microwave frequencies.The prepared BST thin films here exhibit homogenous structures and great tunability(h)in a wide frequency and temperature range when the applied field is in the out-of-plane direction.The high tunability can be attributed to high concentration of polar nanoclusters.Their response to the applied direct current(DC)field was directly visualized using a novel non-destructive near-field scanning microwave microscopy(NSMM)technique.Our results have provided some intriguing insights into the application of the FE thin films for future programmable high-frequency devices and systems. 展开更多
关键词 ferroelectric(FE) MICROWAVE TUNABILITY polarization thin film
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Enhanced Ferroelectric Properties of Predominantly (100)-oriented Ca_(0.4)Sr_(0.6)Bi_4Ti_4O_(15) Thin Films on Pt/Ti/SiO_2/Si Substrates 被引量:4
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作者 Suhue Fan Quande Che Fengqing Zhang Ran Yu Wei Hu 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第11期981-985,共5页
Predominantly (100)-oriented Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15 (C0.4S0.6BTi) thin films were prepared on Pt (111)/Ti/SiO2/Si substrates by a sol-gel method at annealing temperatures ranging from 650 to 850 ℃.The growth mode ... Predominantly (100)-oriented Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15 (C0.4S0.6BTi) thin films were prepared on Pt (111)/Ti/SiO2/Si substrates by a sol-gel method at annealing temperatures ranging from 650 to 850 ℃.The growth mode of the predominantly (100)-oriented C0.4S0.6 BTi thin films fabricated by the sequential layer annealing was discussed based on the structure evolution with the annealing temperature.The remnant polarization and coercive field of the C0.4S0.6 BTi film annealed at 800 ℃ are 16.1 μC/cm 2 and 85 kV/cm,respectively.No evident fatigue can be observed after 10 9 switching cycles. 展开更多
关键词 Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15 ferroelectric film ORIENTATION
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膜厚对Nd掺杂钙锶铋钛铁电薄膜结构及性能的影响 被引量:5
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作者 范素华 张伟 +3 位作者 王培吉 张丰庆 冯博楷 马建平 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期466-470,共5页
采用Sol-gel法和层层快速退火工艺在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了厚度不同Nd掺杂的钙锶铋钛(C0.4S0.6NT)铁电薄膜。研究了单层膜厚和总膜厚对于薄膜的(200)择优取向、显微结构及铁电性能的影响。发现:恰当的单层膜厚度,有助于薄膜(200)峰... 采用Sol-gel法和层层快速退火工艺在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了厚度不同Nd掺杂的钙锶铋钛(C0.4S0.6NT)铁电薄膜。研究了单层膜厚和总膜厚对于薄膜的(200)择优取向、显微结构及铁电性能的影响。发现:恰当的单层膜厚度,有助于薄膜(200)峰的择优取向和铁电性能;单层膜厚度约为60 nm,总厚度约为420 nm时,C0.4S0.6NT薄膜的I(200)/[I(119)+I(00l)]相对强度较大,a轴取向的晶粒较多,具有较好的铁电性能,剩余极化(Pr)和矫顽场(Ec)分别为13.251μC/cm2,85.248 kV/cm。 展开更多
关键词 钙锶铋钛薄膜 ND掺杂 铁电性能 SOL-GEL法 膜厚
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